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- [发明专利]氧化膜形成方法和用于该方法的装置-CN200780031642.6有效
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西口哲也;龟田直人;齐藤茂;野中秀彦;一村信吾
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株式会社明电舍;独立行政法人产业技术综合研究所
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2007-08-22
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2009-08-12
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H01L21/316
- 本发明提供了一种用于氧化膜形成的装置(1)。在该装置(1)中,紫外光范围内的光被应用到基板(7)上,以及同时,有机硅的起动气体(G1)和臭氧气体(G2)被供应给基板(7)以在基板(7)的表面上形成氧化膜。基板(7)被存放于处理炉(2)中。管道布置(3)起着在室温下将起动气体(G1)和臭氧气体(G2)混合在一起以制备随即被供应给处理炉(2)中的基板(7)的混合物的作用。光源(5)放射出紫外光范围内的具有长于210nm的波长的光以及将其应用到了基板(7)上。被供应到管道布置(3)内的与起动气体(G1)混合的臭氧气体(G2)的量被设置成至少是为完全氧化起动气体(G1)所需的化学当量或更高的值。根据氧化膜形成的装置(1),起动气体的利用率被提高了,以及同时,具有卓越特性的氧化膜能够通过200℃或200℃以下的膜形成过程来形成。
- 氧化形成方法用于装置
- [发明专利]光纤熔接连结机和熔接连结方法-CN02121829.3有效
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齐藤茂;川西纪行;窪敏喜
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株式会社藤倉
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2002-06-06
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2003-02-26
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G02B6/255
- 本发明涉及光纤熔接连结机和光纤熔接连结方法。本发明的光纤熔接连结机具有获得来自光纤10、20侧面方向的光透过图像的电视摄像头32,由该图像的光纤横断方向的辉度分布演算各光纤的模场直径、同时求出它们的径差的图像处理装置33,通过电弧放电进行放电加热的放电电极41、42,使光纤对接部对放电束位置相对移动的可移动基座57及驱动装置35,和对于在对上述对接部进行熔接用放电加热后、使放电束位置朝着被判定为模场直径小的光纤侧移动并且进行追加放电加热的对驱动装置35及放电用电源装置36进行控制的控制装置34。
- 光纤熔接连结方法
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