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[实用新型]新风控制系统-CN202021575925.6有效
发明人：王栋;黄执祥 -专利权人：深圳市龙图光电有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： F24F11/89 文献下载
摘要：本实用新型属于净化房新风控制领域，尤其涉及一种新风控制系统，包括：导风通道；风机；过滤组件；进风调节阀；出风调节阀；温湿度监控组件，包括至少一个房内温湿传感器以及至少一个通道温湿传感器；加湿器；温度控制组件，包括用于加热导风通道内的空气的加热装置以及用于冷却导风通道内的空气的冷却装置，加热装置和冷却装置均由新风控制器控制，冷却装置包括引水管以及设于引水管上的水量调节阀；新风控制器。本实用新型的新风控制系统相对于中央空调能够降低能够，而相对于分体空调又能够提高空气控制精度，以及避免了因净化房内空气不流通而危害工作人员的身体健康。
新风控制系统

[实用新型]一种掩膜版清洗用水恒流缓压供水装置-CN201922121652.1有效
发明人： 黄执祥;谢超 -专利权人：深圳市龙图光电有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： E03B7/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜版清洗用水恒流缓压供水装置，包括储水箱、进水管、过滤设备、纯水箱、清洗槽装置、清洗管、供水泵、压力传感器和控制单元。进水管一端用于与水源连通，另一端与储水箱连通。过滤设备与储水箱连通，纯水箱与过滤设备连通。清洗管一端与纯水箱连通，另一端与清洗槽装置连通，供水泵与清洗管连通。压力传感器设置在清洗管内，当压力传感器感应到清洗管内的管道压力大于预定值时，发出减速感应信号，当压力传感器感应到清洗管内的管道压力小于预定值时，发出加速感应信号。控制单元接收到加速感应信号时，控制供水泵的电机加快转速，控制单元接收到减速感应信号时，控制供水泵的电机减慢转速。
一种掩膜版清洗用水恒流缓压供水装置

[发明专利]一种掩模板及其制作方法-CN201811360960.3在审
发明人：叶小龙;黄执祥 -专利权人：深圳市龙图光电有限公司
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩模板及其制作方法，掩模板包括：基板和阻光层；阻光层铺设在基板上；阻光层上排布有多个透光通孔，所述透光通孔沿垂直于阻光层的方向贯穿阻光层，透光通孔的孔径a为：0.8um≤a≤4um。透光通孔的孔径小于对准式曝光系统的最小分辨率，进行曝光时，透过通孔的光线不再以直射的方式照射到产品原材料上，而是以光衍射的辐射能量的形式存在于产品原材料表面的感光材料内，从而起到改变阻光层的光学透过率的效果，阻光层的透过率可以改变为0(不透光)至100％(透光)间的任意值，使得阻光层的不同部位可以具有不同的光学透过率。
阻光层透光通孔掩模板产品原材料光学透过率基板感光材料最小分辨率辐射能量曝光系统不透光对准式光衍射透过率透光直射排布通孔制作照射垂直铺设曝光贯穿申请

[实用新型]用于生产掩模版的辅助装置-CN201520154505.3有效
发明人： 黄执祥 -专利权人：深圳市龙图光电有限公司
申请日： 2015-03-18 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：一种用于生产掩模版的辅助装置，包括一硬质基板，其具有相对的一上表面和一下表面；该硬质基板的上表面凹设有一收容槽，用于搁置一掩模版；该硬质基板的上表面还凹设有至少一取放槽，该至少一取放槽与该收容槽连通，用于相对该收容槽取放该掩模版；该硬质基板还设有贯通该上表面与下表面的至少一通气孔，用于从该硬质基板的下表面一侧对搁置于该收容槽中的掩模版进行吸附。能够很好地解决小版厚度补偿定位问题。
用于生产模版辅助装置

[实用新型]为掩模版贴附保护膜的装置-CN201220106657.2有效
发明人： 黄执祥;侯广杰 -专利权人：深圳市龙图光电有限公司
申请日： 2012-03-20 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种为掩模版贴附保护膜的装置，包括：用于安装保护膜的出膜轴、用于平整拉平保护膜并能够将其贴附到掩膜版上的贴膜辊轴、以及用于驱动出膜轴和贴膜辊轴运转的驱动装置，出膜轴和贴膜辊轴之间由保护膜连接。本实用新型所述为掩模版贴附保护膜的装置，通过设置出膜轴、贴膜辊轴、以及驱动装置，使得保护膜可以自动贴附到掩膜版上。克服了背景技术中所述手工贴附保鲜膜时不易操作且容易在保鲜膜和掩膜版之间形成气泡的弊端。又由于本实用新型所述装置贴附的保护膜是保护膜，克服了背景技术中所述贴附保鲜膜的弊端。
模版保护膜装置