专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]互补金属氧化物半导体薄膜晶体管的制造方法-CN200710141862.6有效
  • 黄义勋 - 三星SDI株式会社
  • 2007-08-14 - 2008-02-20 - H01L21/8238
  • 本发明提供了一种利用数量减少的掩模来制造互补金属氧化物半导体(CMOS)TFT的方法,该方法包括:在基底的整个表面上形成缓冲层;在基底的具有缓冲层的整个表面上形成多晶硅层和光致抗蚀剂层;将光致抗蚀剂层曝光并显影,以形成第一光致抗蚀剂图案;利用第一光致抗蚀剂图案作为掩模来蚀刻多晶硅层,以将第一TFT的半导体层和第二TFT的半导体层图案化;对第一光致抗蚀剂图案执行第一灰化工艺,以形成第二光致抗蚀剂图案;利用第二光致抗蚀剂图案作为掩模向第二TFT的源极区和漏极区中注入第一杂质;对第二光致抗蚀剂图案执行第二灰化工艺,以形成第三光致抗蚀剂图案;利用第三光致抗蚀剂图案作为掩模向第二TFT中注入第二杂质,以对第二TFT执行沟道掺杂。
  • 互补金属氧化物半导体薄膜晶体管制造方法
  • [发明专利]制造薄膜晶体管阵列基底的方法-CN200710140306.7有效
  • 黄义勋 - 三星移动显示器株式会社
  • 2007-08-09 - 2008-02-13 - H01L21/84
  • 本发明提供了一种制造具有改进的可靠性的薄膜晶体管(TFT)阵列基底的方法。通过在形成TFT的栅电极之后执行用于离子注入的光刻工艺,根据本发明示例性实施例的制造TFT阵列基底的方法可通过TFT的栅电极来防止可移动离子从光致抗蚀剂移动到TFT的沟道,另外,通过由用于PMOS TFT的沟道掺杂工艺来形成存储电容器的下电极,根据本发明另一示例性实施例的制造TFT阵列基底的方法可以省略用于形成存储电容器的下电极的光刻工艺。
  • 制造薄膜晶体管阵列基底方法
  • [发明专利]有机发光显示器以及制造方法-CN200710001984.5无效
  • 黄义勋;崔雄植 - 三星SDI株式会社
  • 2007-01-16 - 2007-12-05 - H01L27/02
  • 本发明提供了一种有机发光显示器,在该有机发光显示器中,简化了形成存储电容器的工艺,防止了TFT的性能和可靠性的劣化。有机发光显示器包括:基底;薄膜晶体管,形成在基底的一部分上,该薄膜晶体管具有有源层、栅电极以及置于有源层和栅电极之间的栅极绝缘层;存储电容器,形成在基底的另一部分上。该存储电容器具有形成在与形成有源层的表面相同的表面上的第一电极、形成在与形成栅电极的表面相同的表面上的第二电极以及位于第一电极和第二电极之间的栅极绝缘层。有源层和第一电极由本征多晶硅层制成。
  • 有机发光显示器以及制造方法
  • [发明专利]薄膜晶体管及有机发光显示装置的制造方法-CN200610093263.7有效
  • 黄义勋;李相杰 - 三星SDI株式会社
  • 2006-06-23 - 2006-12-27 - H01L21/84
  • 提供了TFT和采用所述TFT的OLED的制造方法。所述CMOS TFT的制造方法包括:制备具有第一和第二薄膜晶体管区域的基板;在所述基板上形成栅电极;在包括所述栅电极的所述基板的整个表面上形成栅极绝缘层;在所述栅极绝缘层的预定区域上利用掩模形成半导体层;利用所述栅电极对所述掩模的背部曝光;利用受到背部曝光的掩模向所述第一和第二薄膜晶体管区域的所述半导体层内注入n型杂质离子,形成沟道区以及源极区和漏极区;对所述背部曝光掩模的两侧进行灰化;利用所述灰化掩模向所述第一和第二薄膜晶体管区域的所述半导体层内注入低浓度杂质离子,形成LDD区;以及向所述第二薄膜晶体管区域的半导体层内注入p型杂质离子,形成源极区和漏极区。
  • 薄膜晶体管有机发光显示装置制造方法
  • [发明专利]互补金属氧化物半导体薄膜晶体管和制造其的方法-CN200510082118.4有效
  • 黄义勋 - 三星SDI株式会社
  • 2005-06-29 - 2006-01-04 - H01L21/8238
  • 本发明涉及一种制造CMOS薄膜晶体管(TFT)的方法和使用该方法制造的CMOS TFT。该方法包括:提供具有第一区和第二区的衬底;分别在所述第一和第二区上形成第一半导体层和第二半导体层;形成栅极绝缘层,具有位于所述第一半导体层的端部分上的第一部分和位于所述第二半导体层上的端部分上的第二部分;在所述栅极绝缘层上形成离子掺杂掩模图案;利用所述离子掺杂掩模图案作为掩模在所述第一半导体层的端部中掺杂第一杂质,且利用所述离子掺杂掩模作为掩模在所述第二半导体层的端部中掺杂第二杂质,所述第二杂质的导电类型不同于所述第一杂质。因此,可以减少掩模的数量且简化制造CMOS TFT所需的工艺。
  • 互补金属氧化物半导体薄膜晶体管制造方法
  • [发明专利]平板显示器及其制造方法-CN200410095822.9有效
  • 金得钟;黄义勋 - 三星SDI株式会社
  • 2004-11-26 - 2005-06-01 - H05B33/12
  • 本发明公开一种平板显示器及其制造方法。所述平板显示器包括基底。信号线以阵列形式设置在所述基底上,由所述信号线的交叉设置所限定的单位像素区域具有像素驱动电路区域和发射区域。定位在所述像素驱动电路区域中的像素驱动TFT包括半导体层和对应于所述半导体层预定部分的栅极。所述栅极与所述信号线形成在相同的层中。电连接到所述像素驱动TFT的像素电极被定位在所述发射区域中。
  • 平板显示器及其制造方法

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