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- [发明专利]高速并行写入读取系统及方法-CN202310772032.2有效
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曹子峥;周延;皮雅稚;余少华
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鹏城实验室
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2023-06-28
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2023-10-27
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G11B7/14
- 本发明公开了一种高速并行写入读取系统及方法,系统包括:片上集成光子芯片系统;片上集成光子芯片系统包括:光源、多个阵列化单元以及探测器,各阵列化单元独立控制,多个阵列化单元划分为近场作用像素区和距离校准像素区;近场作用像素区内的阵列化单元根据写入需求和/或读取需求将控制信号调制至光载波或调制光信号上,从而对待测样品各空间点写入,和/或,读取待测样品各空间点返回的光信号;距离校准像素区内的阵列化单元探测写入和读取过程中与待测样品的垂直距离;由于本发明中通过高速并行超分辨成像与曝光技术,同时对待测样品进行写入和读取,从而能够提高扫描速度,并加入实时垂直测距反馈功能,从而能够调控扫描时的最佳垂直距离。
- 高速并行写入读取系统方法
- [发明专利]连续旋转曝光系统及方法-CN202310772029.0有效
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曹子峥;周延;皮雅稚;余少华
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鹏城实验室
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2023-06-28
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2023-10-27
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G03F7/20
- 本发明公开一种连续旋转曝光系统及方法,系统包括:片上集成光子芯片系统;片上集成光子芯片系统包括:位移设备、片上集成高速并行读写头,片上集成高速并行读写头包括多个阵列化单元,所述多个阵列化单元划分为近场作用像素区和距离校准像素区;位移设备用于根据写入需求和/或读取需求进行旋转移动;近场作用像素区内的阵列化单元用于在位移设备进行旋转移动时,根据写入需求和/或读取需求将调制信号投射至位于所述位移设备上的待测样品进行重复曝光和/或全功率曝光,和/或读取所述待测样品反射的光信号,本发明根据位置设备对旋转移动的待测样品进行重复曝光和/或全功率曝光,基于旋转的曝光方式从一步曝光到多步曝光,从而提高曝光精度。
- 连续旋转曝光系统方法
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