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- [发明专利]抗反射涂层组合物-CN99800881.8无效
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高野祐辅;田中初幸;高野圣史;桥本丰
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克拉瑞特国际有限公司;大日本油墨化学工业株式会社
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1999-05-27
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2000-11-08
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C09D5/00
- 本发明公开了一种减少反射涂层组合物,其包含(A)由通式CnF2n+1SO3H表示的全氟烷基磺酸,其中,n为整数4~8,(B)有机胺,(C)水溶性聚合物,(D)由通式CnF2n+1SO2NH2表示的全氟烷基磺酰胺,其中,n为整数1~8和(E)水,组合物的pH值为1.3~3.3。通过在基片上形成的光致抗蚀剂膜上涂敷所述组合物而获得抗蚀剂图案以形成减少反射的涂层,然后进行曝光和显影。这种用于减少反射涂层的组合物可均匀涂敷于光致抗蚀剂膜上,而与抗蚀剂的类型及基片的表面形状无关,可采用该组合物以提供不存在曝光后随时间变化而引起的驻波影响、多重反射作用和T型图案及尺寸变化等缺陷的抗蚀剂图案。
- 反射涂层组合
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