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- [发明专利]晶圆涂胶装置及方法-CN202310706109.6在审
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高满;刘巍;刘应军;汪嵚
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武汉敏芯半导体股份有限公司
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2023-06-13
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2023-10-27
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B05C13/02
- 本申请提供了一种晶圆涂胶装置及方法,包括盛具、取料部、动力部和加热部,盛具用于盛放光刻胶,取料部用于固定晶圆,加热部设置在取料部上,用于加热晶圆,取料部设置在盛具的上方,动力部与取料部相连接,用于带动取料部上下移动,以使晶圆接触光刻胶和脱离光刻胶,动力部还用于带动取料部以晶圆的中轴线为旋转中心转动,可使晶圆底面光刻胶的涂布更为均匀,尤其可使不规则的晶圆的边角有相同的胶厚。通过带动晶圆旋转,避免晶圆底面的光刻胶出现中间厚边缘薄以及正面涂胶造成的边缘堆胶和背面残胶的问题,还能将多余光刻胶甩至盛具中,提高光刻胶利用率,还可避免使用边胶清洗剂,节约工艺成本。通过设置加热部,在甩胶的过程中实现软烘。
- 涂胶装置方法
- [发明专利]一种改进的径流退水速率估算和流域综合退水参数推求方法-CN202211442077.5在审
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高满;陈喜;李光轩;王禹懿
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天津大学
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2022-11-17
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2023-09-08
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G06F30/23
- 本发明公开了一种改进的流域河川径流退水速率估算和流域综合退水曲线推求方法,选择无降水期间合适的流量过程线退水段数据,计算并筛选出符合要求的退水时间步长m(i),并结合水位流量关系曲线及流量观测误差Δq,基于推导的理论公式,精确估算出每个时段径流退水速率(‑dQ/dt),以及‑dQ/dt~Q关系;根据流域多个场次退水过程的‑dQ/dt~Q数据点,基于log(‑dQ/dt)变化范围进行区间分段,点绘每个子区间log(‑dQ/dt)~log(Q)数据点的中位值,拟合获取流域综合退水曲线。本发明用于径流退水速率估算和流域综合退水参数推求,相比较传统的退水速率估算和流域综合退水参数推求方法,本方法精度更高,刻画的退水过程更合理,为更准确分析流域蓄‑泄关系以及精确预测枯季径流提供技术支撑。
- 一种改进径流速率估算流域综合参数推求方法
- [实用新型]一种塑料膜的热封切机构-CN202222088647.7有效
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高满
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高满
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2022-08-09
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2022-12-09
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B65H35/06
- 本实用新型公开了一种塑料膜的热封切机构,包括箱体,所述箱体的内侧壁设置有输送辊,所述箱体的上表面固定安装有压紧机构和收卷辊,所述箱体的内侧壁固定连接有第一热切刀,所述箱体的内顶壁固定连接有液压缸,所述液压缸的前端固定连接有第二热切刀。本装置通过利用第二电动推杆能够推动第二L型夹板进行移动,通过第二L型夹板和第一L型夹板的配合,可以对塑料膜进行夹紧固定,避免塑料模切断之后向下掉落,通过设置有第一电动推杆,利用第一电动推杆可以推动支撑板向上移动,同时可以使夹取的塑料膜上升,进而可以通过出料口将其移动至箱体的上方,从而方便了工作人员更换收卷辊时的操作,有效提高了工作人员的工作效率。
- 一种塑料膜热封切机构
- [外观设计]电机-CN202230587363.5有效
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高满
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高满
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2022-09-06
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2022-12-09
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13-01
- 1.本外观设计产品的名称:电机。2.本外观设计产品的用途:用于电器或各种机械的动力源。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图1。
- 电机
- [发明专利]一种聚醚改性环氧固化剂及其在硅棒切割的应用-CN202210783701.1在审
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刘远立;李世颖;郭颂;高满;赵含
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桂林理工大学
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2022-07-05
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2022-11-15
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C08G59/50
- 本发明公开了一种聚醚改性环氧固化剂及其在硅棒固定胶的应用,该应用方向在光伏硅棒切割领域,聚醚改性环氧固化剂包括以下几种组分:端氨基聚氧化丙烯醚,苯甲醇,二叔丁基对甲酚,环氧树脂,乙二胺等。聚醚改性环氧固定胶包括A组分和B组分。A组分包括环氧树脂、填料、消泡剂、防沉剂;B组分包括聚硫醇、端氨基聚氧化丙烯醚改性固化剂、填料、促进剂、稀释剂、消泡剂、防沉剂。本发明提供的聚醚改性环氧固化剂,其应用于硅棒金属线切割时硅棒与塑料板临时粘接固定时使用的环氧固定胶,本发明能够使硅片切割过程中,保证切割顺利完成,不掉片,不掉棒,而且通过通过添加一定量的用聚醚改性环氧固化剂,实现温水脱胶,不仅对环境、操作人员有益,还能能保证较低的崩边率。
- 一种改性固化剂及其切割应用
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