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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]气体喷射装置-CN202310244234.X在审
发明人：金相俌;金秀雄;崔承大 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体喷射装置。气体喷射装置包括：供应块体，包括用于供应从气体供应源提供过来的工艺气体的中心气体排出口；扩散罩，配置在所述供应块体的下部，并且配备有与所述中心气体排出口连通并从中心向外侧分支的分支管道；喷嘴，安装在所述扩散罩的下侧面，通过与所述分支管道连通而喷射所述工艺气体；以及，喷淋头，配置在所述喷嘴的下部，为了使通过所述喷嘴喷射出来的工艺气体均匀地喷射而配备有沿上下方向开放的多个喷射孔其中，在所述扩散罩的上侧面形成有与所述中心气体排出口相向且从所述扩散罩的上侧面向下方凹入的凹入部，所述凹入部包括对所述中心气体排出口进行覆盖的基本区域以及从所述基本区域向半径方向延长的延长区域。
气体喷射装置

[发明专利]气体供应装置-CN202310189369.0在审
发明人：徐东源;李奎范;千珉镐 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种气体供应装置，包括：清洁气体供应源，用于供应清洁气体；工程气体供应源，用于供应工程气体；第一流路，可供所述清洁气体流动；闸式阀，通过安装在所述第一流路内的第一位置而对所述第一流路进行开闭，从而使得所述清洁气体通过或阻断；第二流路，可供所述工程气体流动并在与所述第一位置相比处于下游的第二位置与所述第一流路汇流；以及，喷淋头单元，用于将通过所述闸式阀的清洁气体或所述工程气体喷射到腔室内部。
气体供应装置

[发明专利]配备有挡环以及边环的基板处理装置-CN202310220310.3在审
发明人：徐东源;姜东锡;申正燮;金釉成 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种配备有挡环以及边环的基板处理装置，包括：工程腔室，用于执行基板处理工程；基板支撑台，安装在所述工程腔室内部且用于安置基板，在所述基板处理工程中以中心轴为基准进行旋转；喷淋头单元，用于将从工程气体供应源供应过来的工程气体喷射到所述基板上；边环，在所述基板支撑台的外侧圆周方向上围绕所述基板支撑台，与所述基板支撑台一起旋转；挡环，固定到所述工程腔室的一侧，形成有与所述边环的外周面对应形状的内周面，在所述边环的外周面与所述内周面之间形成有间隙空间；以及，吹扫气体提供部，为了防止所述工程气体通过所述间隙空间渗透到所述工程腔室的下部空间，将从吹扫气体供应源供应过来的吹扫气体排出到所述间隙空间的上侧。
配备有挡环以及处理装置

[发明专利]用于处理信号的方法、装置和程序-CN201880063004.0有效
发明人：李真在;李昞勳;金珍秀 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2018-09-27 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G06F13/14 文献下载
摘要：一种使用机器人控制装置的N(N是正整数)个端口来处理N个或更多个控制信号的方法可包括如下步骤：定义由所述N个端口中的每个端口的逻辑信号组成的N位信号帧；通过参照根据信号帧的端口的顺序，生成用于确定是否使用所述N个端口中的每个端口的端口设置位；通过对根据信号帧的所述N个端口中的每个端口的逻辑信号和端口设置位执行位运算来生成结果位；以及基于结果位处理信号。
用于处理信号方法装置程序

[发明专利]基材搬运手、基材搬运装置及基材搬运方法-CN202280006749.X在审
发明人：金光日;卢芝焕;金兑炅 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B66F9/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种搬运手、包括该搬运手的基材搬运装置及利用该基材搬运装置的基材搬运方法。根据本发明的一实施例的搬运手作为从相对装置接收基材或将基材传送到所述相对装置的搬运手，包括：手体；手驱动电机，设置于所述手体的一侧；导向部，随所述手驱动电机而移动；推动件，设置于所述导向部的一侧以对所述基材加压；及夹持部，设置于所述手体的另一侧以保持所述基材的位置，其中，若所述手驱动电机操作，则所述导向部移动的同时所述推动件和所述夹持部联动地操作。
基材搬运装置方法

[发明专利]基材搬运手、基材搬运装置及基材搬运方法-CN202280006765.9在审
发明人：金光日;卢芝焕;金东贤;金兑炅 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B66F9/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种基材搬运装置及利用该基材搬运装置的基材搬运方法。根据本发明一实施例的基材搬运装置作为从相对装置接收基材或者将基材传送到所述相对装置的装置，包括：无人搬运车，沿着预定路径移动；本体，设置在所述无人搬运车上；及搬运手，设置于所述本体的内部且至少一部分向所述本体的外部突出，装载或卸载所述基材，并且在一侧设有定位传感器，所述定位传感器检测设置在所述相对装置上的标记以确认与所述相对装置的位置差，其中，根据所述定位传感器所确认的位置差而校正所述搬运手的位置。
基材搬运装置方法

[发明专利]机器人控制系统和控制机器人的方法-CN201811612648.9有效
发明人：林俊圭;宋昌禹 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B25J13/00 文献下载
摘要：提供一种机器人控制系统和控制机器人的方法。所述机器人控制系统包括：碰撞检测器，被配置为在机器人的移动期间检测机器人与外部对象之间发生的碰撞；驱动控制器，被配置为控制致动器；位置计算器，被配置为计算指示发生碰撞的碰撞位置的碰撞位置坐标信息和指示机器人被从碰撞产生的碰撞力推动到的推动位置的推动位置坐标信息中的至少一个；重新开始坐标设置器，被配置为基于由位置计算器计算的结果，将碰撞位置或包括在机器人的预设移动路径中并与碰撞位置间隔开的位置设置为用于重新开始机器人的移动操作的重新开始位置。
机器人控制系统控制方法

[发明专利]具有改进的手臂结构的协作机器人及其控制方法-CN202280007914.3在审
发明人：洪韩娜;李锺源 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B25J18/00 文献下载
摘要：根据本发明一实施例的协作机器人为包括驱动部、手臂部和控制部的协作机器人，其中，所述手臂部包括第一板；连接器，其设置在所述第一板的一表面上并连接所述协作机器人和所述手臂部；第二板，其设置成在第一方向上与所述第一板间隔开以具有面对所述第一板的另一表面的一表面；载荷传感器，其设置成接触所述第一板的另一表面和所述第二板的一表面，并测量在所述第一方向上施加的荷重并将其所述荷重传送到所述控制部；至少一个支撑轴，其设置于所述第一板与所述第二板之间且沿所述第一方向延伸；以及紧抓器，其紧抓物体。
具有改进手臂结构协作机器人及其控制方法

[发明专利]薄膜沉积装置以及利用其的薄膜沉积方法-CN202211707817.3在审
发明人：禹蓝;李承俊;金相烨;李镇焕;金相俌 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜沉积装置以及利用其的薄膜沉积方法。一种薄膜沉积装置包括：腔室，对多个基板进行处理；多个加热器部件，通过在所述腔室内以分别对应于所述多个基板的下侧面的方式配置而对所述多个基板进行加热；起模顶杆，以分别贯通所述多个加热器部件的方式升降并对所述基板的下侧面进行支撑；多个支撑板，可供所述起模顶杆的下端安置；多个支撑柱，在对所述多个加热器部件进行结合的同时提供支撑；以及，多个喷射口，向所述多个基板供应工艺气体；所述多个支撑板被搁置在形成于所述腔室的一侧的安置部，并在所述多个加热器部件上升时一起上升。
薄膜沉积装置以及利用方法

[发明专利]薄膜沉积装置-CN202211708966.1在审
发明人：禹蓝;金相俌;李镇焕;千珉镐;李承俊 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜沉积装置。多层薄膜沉积装置包括：腔室，对多个基板进行处理；多个加热器部件，通过以分别对应于所述多个基板的下部的方式配置而对所述多个基板进行加热；起模顶杆，以分别贯通所述多个加热器部件的方式升降并对所述多个下侧面进行支撑；多个隔热板，可供所述起模顶杆的下端安置且具有所述多个加热器部件之间的隔热功能；以及，多个支撑柱，在将所述多个加热器部件结合成一体的同时提供支撑。
薄膜沉积装置

[发明专利]机器人控制装置的编码方法、程序及机器人控制装置-CN201780023550.7有效
发明人：丁海郁;姜仁柱;朴钟和 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2017-12-05 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G06F8/41 文献下载
摘要：根据本发明的一实施例的根据标准化(Standardization)编码格式(Coding Format)的机器人控制装置的编码方法可以包括以下步骤：以组件(Component)为单位显示要输入的语法(Syntax)的格式；针对构成所述语法的各个组件，显示能够作为各个组件的值输入的一个以上的候选组件值；以及基于用户针对各个所述组件的候选组件值的选择而完成所述语法。
机器人控制装置编码方法程序

[发明专利]用于控制协作机器人的装置和方法-CN201780088838.2有效
发明人：李允;宋昌禹 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2017-11-06 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：作为本发明的一个优选实施例，一种用于控制协作机器人的装置包括：碰撞检测单元，用于检测协作机器人的碰撞；控制单元，被配置为：当碰撞检测单元感测到碰撞时，控制协作机器人的操作模式；以及碰撞对抗单元，被配置为：当碰撞检测单元感测到碰撞时，将碰撞补偿值应用于协作机器人中的多个关节件中的每个，以改变施加到所述多个关节件中的每个的力的行进方向。
用于控制协作机器人装置方法

[发明专利]对空隙或接缝的发生进行抑制的基板处理装置以及方法-CN202110888229.3在审
发明人：李白朱;黄载淳;徐东源 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明的基板处理装置，可以包括：基板，形成有段差；以及，腔室，在内部对基板进行处理；段差可以被膜沉积填充，还可以供应用于对膜的生长速度进行调节的抑制剂。本发明的基板处理方法，可以包括：在基板上生成内部形成有屈曲的段差的段差步骤；在段差中通过原子膜沉积(ALD，Atomic Layer Deposition)或等离子体强化原子层沉积(PEALD，Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition)方式沉积膜的沉积步骤；以及，供应对膜的生长速度进行调节的抑制剂的抑制剂步骤。
空隙接缝发生进行抑制处理装置以及方法

[发明专利]配备聚焦环的基板处理装置及方法-CN202110886684.X在审
发明人：李白朱;徐东源 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明的基板处理装置，可以包括：腔室，用于执行处理工程；卡盘，安装在腔室内部，用于对所述晶圆进行支撑；以及，聚焦环，与所述卡盘的边缘相向。本发明的基板处理方法，可以包括：第一工程，用于执行对晶圆的工程；以及，第二工程，用于执行对聚焦环的工程。
配备聚焦处理装置方法

[发明专利]通过使用S型曲线生成运动轮廓的方法及计算装置-CN201780064913.1有效
发明人：裵商辰 -专利权人： 韩华株式会社
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G05B19/19 文献下载
摘要：提供一种基于S型曲线生成运动轮廓的方法及其计算装置。基于S型曲线生成运动轮廓的方法包括：在一个或多个约束条件下，计算加速区间、最大加速区间、最大速度区间、减速区间和最大减速区间中的每个区间的时间段；通过将计算的时间段和加加速度应用到针对每个区间定义的多项式表达式来生成运动轮廓；以及生成两个或更多个运动轮廓彼此重叠的重叠运动轮廓，其中，前一运动的最终速度是下一运动的初始速度。
通过使用曲线生成运动轮廓方法计算装置

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