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[发明专利]一种真空规的膜片的处理方法-CN202311064038.0在审
发明人： 鞠子辰;吕志鹏;冯鹏 -专利权人：拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司
申请日： 2023-08-21 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种真空规的膜片的处理方法，所述方法包括：将真空规的壳体加工成预设形状；利用该预设形状的至少一部分作为预加工膜片；向该壳体的内部空腔通入不可压缩流体或设置一加工模具；对该壳体的底部采用卡钳密封；对该预加工膜片进行切削打磨，直至该预加工膜片被打磨至一预设厚度。
一种真空膜片处理方法

[发明专利]静电吸盘及其制备方法-CN202310684509.1在审
发明人：冯鹏;鞠子辰;谈太德;牛新平 -专利权人：拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种静电吸盘及其制备方法，静电吸盘包括电极、第一绝缘层、第二绝缘层、第一薄膜电极和第二薄膜电极，第一绝缘层附着在电极的表面；第一薄膜电极附着于第一绝缘层；第二薄膜电极附着于第一绝缘层，其中，第二薄膜电极和第一薄膜电极接触，并形成至少一个用于测温的接触点；第二绝缘层附着于第一绝缘层，并使第一薄膜电极和第二薄膜电极位于第一绝缘层和第二绝缘层之间。该静电吸盘能够可靠地检测温度，且其整体结构较小，静电吸盘原本的结构也不容易被破坏。
静电吸盘及其制备方法

[发明专利]气箱、气箱的控制方法、半导体薄膜沉积设备及存储介质-CN202310467323.0在审
发明人： 鞠子辰;张晓玉;姜崴;陶海龙;孙明远 -专利权人：拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了一种气箱、气箱的控制方法、半导体薄膜沉积设备及存储介质。所述气箱设于半导体薄膜沉积设备，其中包括多条气体管道、测温装置、至少一个风扇、排气阀及控制器。所述多条气体管道用于传输薄膜沉积反应所需的反应气体和/或载气，其中的至少一条所述气体管道中串接有质量流量计。所述测温装置用于采集所述质量流量计的实测温度。所述至少一个风扇用于将所述气箱内部的气体排出所述气箱。所述排气阀设于所述气箱的排气口。所述控制器被配置为：获取所述质量流量计的实测温度；以及根据所述实测温度，调节所述风扇的转速和/或所述排气阀的开度，以使所述质量流量计的温度保持在目标温度。
控制方法半导体薄膜沉积设备存储介质

[实用新型]气路系统及反应器-CN202223503358.5有效
发明人：费腾;鞠子辰;周伟杰 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气路系统及反应器，涉及半导体反应设备的技术领域。本实用新型提供的一种气路系统，包括：气源、第一控制阀以及系统主体。系统主体包括多个阀门，全部阀门均与气源连通，气源能够向阀门输送高压气体并打开阀门。第一控制阀设置于气源与系统主体之间，并控制气源与系统主体之间的通断。通过设置气源以及控制气源与系统主体之间通断的第一控制阀，当反应器断电后，在气源的作用下，系统主体的阀门仍能够处于打开状态，使得反应汽能够在系统主体内流动，相比于现有技术，能够避免因反应汽在系统主体内冷凝而污染系统主体，降低反应器的维护时间和成本。
系统反应器

[实用新型]管件性能测试装置-CN202223391634.3有效
发明人：张铁彪;鞠子辰;兰舰;吕志鹏 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种管件性能测试装置，涉及测试装置技术领域。该管件性能测试装置包括供液组件和伸缩驱动组件；供液组件通过供液管路与待测管件的一端连通，供液组件用于向待测管件内供送测试用液体；伸缩驱动组件与待测管件的一端连接，伸缩驱动组件用于在待测管件弯曲时驱动待测管件的与伸缩驱动组件连接的端部沿待测管件的轴向往复移动。该管件性能测试装置不仅可以通过供液组件可以向待测管件供送经过加热、降温或加压的腐蚀性液体，从而对管件的耐热、耐冷、耐压和耐腐蚀性能进行检测，且可以通过伸缩驱动组件驱动弯曲的待测管件的一端沿待测管件的轴向往复移动，从而检测管件的抗弯曲性能。
性能测试装置

[发明专利]一种机械式的气体压力报警开关及半导体工艺设备-CN202211424786.0在审
发明人： 鞠子辰;姜崴;张晓玉 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01H35/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种机械式的气体压力报警开关及半导体工艺设备，包括：压力开关本体，用于检测当气体压力到达预设阈值时触发报警；与该压力开关本体配合连接的进气管路，气体通过该进气管路传输至该压力开关本体；以及截流孔板，设于该压力开关本体与该进气管路的连接处的管路内以减小由该进气管路传输并累积至该压力开关本体的气体压力。
一种机械式气体压力报警开关半导体工艺设备

[发明专利]一种半导体输送管路-CN202211374118.1在审
发明人： 鞠子辰;谈太德;吕志鹏;王婷 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： F16L9/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种半导体输送管路。本发明提供了一种半导体输送管路，包括内层管路和外层管路：所述内层管路为防腐蚀层；所述外层管路为导热层；所述内层管路与外层管路通过镀膜工艺进行紧密贴合。本发明提供了一种半导体输送管路，通过在不锈钢管路上增加导热性更高的金属镀层以及在金属管路内部增加防腐蚀材料镀层，使得管路在耐腐蚀的基础上各段温度均匀性显著提高。
一种半导体输送管路

[发明专利]一种半导体气体输送系统零件测试装置-CN202211405051.3在审
发明人： 鞠子辰;吕志鹏;张铁彪 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： G01N17/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体零件测试技术领域，更具体的说，涉及一种半导体气体输送系统零件测试装置。本发明提供的半导体气体输送系统零件测试装置，包括输入支路、测试支路以及尾气处理装置：所述输入支路，可通断地与测试支路相连接，输入用于测试零件的气体；所述测试支路，提供多种接口与待测零件连接，对待测零件进行测试；所述尾气处理装置，可通断地与测试支路相连接，对剩余气体进行处理。本发明提出的半导体气体输送系统零件测试装置，综合考虑半导体薄膜沉积设备应用气体复杂、接口形式多变、气体温度需求、测试时间成本、安全需求等特点，可以测试薄膜沉积设备气体输送系统中所有零件的耐腐蚀性能，排除零件带来的颗粒污染问题。
一种半导体气体输送系统零件测试装置

[发明专利]混合气体分流系统及控制分流气体流量的方法-CN202211151542.X在审
发明人： 鞠子辰;姜崴;谈太德;荒见淳一;张健 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种混合气体分流系统，包括：混气装置；分流装置，所述分流装置包含容器、分流管线及压力计，所述分流管线与所述容器的输出侧连通；所述混气装置与所述分流装置由一连通管线彼此连通，而所述容器设置于所述连通管线与所述分流管线之间，所述压力计连通于所述容器或所述连通管线，用来量测所述容器或所述连通管线的压力。解决了现有技术中存在的无法精确地在每次使用混合气体时进行分流和控制的技术问题，达到了提升制程均匀性，提升良率及特性的技术效果。
混合气体分流系统控制气体流量方法

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