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- [实用新型]一种磷化铟晶片加工用存储装置-CN202320872971.X有效
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张强;王鑫;高翔
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青岛华芯晶电科技有限公司
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2023-04-19
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2023-10-27
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B65D81/26
- 本实用新型涉及磷化铟晶片加工技术领域，公开了一种磷化铟晶片加工用存储装置，所述存储盒的盒体内侧位于中部位置处开设有干燥腔，且存储盒的盒体内侧正对于干燥腔的前后两侧对称开设有两组存储腔，所述干燥腔的腔体内部插合有干燥盒，所述存储腔的腔体内部排布设置有多组堆叠收纳机构，且存储腔的腔口插合有启闭门。本实用新型通过利用存储腔内堆叠收纳机构中启闭料板的相互堆叠设置，能够对磷化铟晶片进行相互堆叠形式的存储工作，其一方面能够提高磷化铟晶片的存储数量，另一方面能够确保堆叠存储放置的紧凑性、稳定性，且通过在干燥腔内干燥盒内放入干燥剂，能够对存储的磷化铟晶片进行防潮、干燥保护处理。
- 一种磷化晶片工用存储装置
- [实用新型]快速测量大尺寸晶片平坦度装置-CN202321263954.2有效
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张秀芳;孙士龙;张强
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青岛华芯晶电科技有限公司
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2023-05-22
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2023-10-27
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G01B5/28
- 本实用新型公开了快速测量大尺寸晶片平坦度装置，涉及测量平坦度技术领域，包括支撑座结构，所述支撑座结构的顶部固定连接有测量结构，所述支撑座结构的内部设置有吹风结构。本实用新型通过伸缩杆三底部固定连接的测量探头来对晶片的厚度进行测量，多组测量探头的设置可以一次测量多个点，同时将测量数据传输至千分表进行显示，在进行测量大尺寸晶片时，可通过调节伸缩杆三使多组测量探头之间的间隔增大，便于测量大尺寸晶片，解决了在对晶片进行测量时，通常为使用多次测量不同位置的方式来减小测量误差，但是在进行测量时，多次测量需要时间过长，同时多次手动测量操作繁琐，不利于测量人员进行快速测量的工作的问题。
- 快速测量尺寸晶片平坦装置
- [实用新型]一种磷化铟晶片加工用退火装置-CN202321348689.8有效
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张秀芳;王鑫;张强
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青岛华芯晶电科技有限公司
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2023-05-31
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2023-10-24
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C30B29/40
- 本实用新型涉及磷化铟晶片加工技术领域，具体为一种磷化铟晶片加工用退火装置，所述固定架的顶部安装有退火组件，所述固定架的上部对应退火组件位置处设置有传输组件，所述退火组件包括安装于固定架上部的加热仓，所述加热仓的顶部安装有退火炉，所述传输组件包括安装于固定架上部的传输机，且传输机设置在加热仓的内侧，所述固定架的外部固定安装有传动电机，且传动电机的输出轴与传输机的输入端连接，所述固定架的上部对应传输机位置处安装有调节连接架。本实用新型所述的一种磷化铟晶片加工用退火装置，能够使得整体装置实现更便捷的上料，提高加工时效果和安全性，提高整体装置的实用性，带来更好的使用前景。
- 一种磷化晶片工用退火装置
- [实用新型]单研用金刚石液桶防空吸报警装置-CN202321263928.X有效
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郑东;高翔;张强
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青岛华芯晶电科技有限公司
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2023-05-22
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2023-09-08
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G08B21/24
- 本实用新型公开了单研用金刚石液桶防空吸报警装置，涉及自动化生产加工技术领域，包括储料罐，所述储料罐的底部固定连接有装置底座，所述储料罐的外壁固定连接有第一输料管，所述第一输料管的一端固定连接有防空吸罐，所述防空吸罐的一侧固定连接有第二输料管，所述第二输料管的一端固定连接有水泵，所述水泵的顶部固定连接有第三输料管。本实用新型通过液位感应警报器预防桶内单研用金刚石液量过低，在会致使空吸状况的发生之前发出警报，有效避免了空吸状况的出现，开启上阀门与下阀门，防空吸罐内的单研用金刚石液就会有由于连通器原理一部分流入液位显示管中，此时就可以直观地看到桶内液体所剩余的高度。
- 单研用金刚石防空报警装置
- [实用新型]一种晶片减薄装置-CN202223222249.6有效
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郑东;王鑫
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青岛华芯晶电科技有限公司
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2022-12-01
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2023-06-06
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B24B7/22
- 本实用新型涉及晶片技术领域，且公开了一种晶片减薄装置，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有龙门架，工作台的上方放置有横梁，龙门架的上部和横梁的内部均开设有T形滑槽，两个T形滑槽的内部均滑动连接有T形滑块，位于上方的T形滑块与横梁的上表面固定连接。该晶片减薄装置，通过设置冷水桶，冷水桶内部的冷水能够进入空腔内，从右侧的多个通孔流出，冷水能够将打磨产生的热量进行降温，通过设置气泵，能够将气体输送至左侧的空腔内，从左侧的多个通孔内喷出气体，进一步对晶片进行风冷，提高了散热速率，通过设置两组通孔分别位于金刚砂轮底面的左右侧，金刚砂轮转动时，能够提高冷却范围。
- 一种晶片装置
- [发明专利]一种晶圆片表面杂质污染程度检测系统-CN202110099524.0有效
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刘波
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青岛华芯晶电科技有限公司
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2021-01-25
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2022-11-22
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H01L21/66
- 本发明公开了一种晶圆片表面杂质污染程度检测系统，包括主控器，和包括红外发射器、红外接收器，以及包括串行数据检测电路和污染程度分析电路；红外接收器将当前时刻的红外线接收情况以高低电平的形式输入给串行数据检测电路处理；所述串行数据检测电路的输出端电性连接所述污染程度分析电路的输入端；所述串行数据检测电路将限定时间内连续检测到的红外线接收情况以高低电平的形式传递给所述污染程度分析电路进行分析；所述污染程度分析电路分析由所述串行数据检测电路传递的电平信号并通过三个输出端分别输出三种不同的红外线接收程度来表现不同的杂质污染程度。本发明能够给工作人员对不同污染程度的晶圆片进行差别性清洗提供直观提示。
- 一种晶圆片表面杂质污染程度检测系统
- [实用新型]一种点对点量表工装顶头组件-CN202220384834.7有效
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郑东;肖迪
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青岛华芯晶电科技有限公司
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2022-02-24
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2022-10-14
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F16B1/04
- 本实用新型公开了一种点对点量表工装顶头组件，涉及量表工装技术领域，包括顶头和顶筒，所述顶头和顶筒的内部均放置有第一固定盘和第二固定盘，第一固定盘和第二固定盘的正面分别开设有螺纹槽和第一插孔，第一插孔的内部插接有活动杆，螺纹槽的内部螺纹连接有螺纹杆，活动杆的后端套接有活动筒，且活动筒的后端设为密闭状态。该点对点量表工装顶头组件，通过向前拉动手柄能够实现解除四个限位杆对限位盘的限位效果，通过设置四个第一限位槽和四个第一限位块，转动手柄能够使螺纹杆从螺纹槽内取出，通过设置四个第一弹簧均处于压缩状态，保证了顶头能够自动弹出，从而解决了更换顶头时比较费时费力的问题。
- 一种点对点量表工装顶头组件
- [实用新型]一种晶片加工用自动冲洗测厚装置-CN202221337215.9有效
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赵俊竹;郑东
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青岛华芯晶电科技有限公司
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2022-05-31
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2022-10-14
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶片加工用自动冲洗测厚装置，涉及晶片加工技术领域，包括固定盒体，固定盒体顶端中部固定安装有固定架，固定盒体内部开设有固定内腔，固定内腔内壁底端边部等距安装有水泵，水泵一侧穿过固定盒体外部安装有水管，固定架顶端边部转动安装有若干高压水龙头，高压水龙头一端与水管相连接，固定盒体顶端中部开设有放置内腔，放置内腔内壁底端中部安装有伺服电机，伺服电机输出轴顶端中部安装有连接转轴，连接转轴穿过固定盒体位于固定架内部处安装有放置架，本实用新型具有提高晶片生产效率的效果，降低了人们检测晶片厚度时的劳动强度，提高了晶片在检测时的效率，解决了晶片在厚度测量时效率不高的问题。
- 一种晶片工用自动冲洗装置
- [实用新型]一种晶片厚度分选装置-CN202221345202.6有效
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高志冰;肖迪
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青岛华芯晶电科技有限公司
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2022-05-31
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2022-10-11
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B07B13/04
- 本实用新型公开了一种晶片厚度分选装置，涉及晶片技术领域，包括框架，所述框架的内底壁固定连接有两个相对称的支撑块，两个支撑块之间通过轴承转动连接有多个等距离排列的第一转动轴，每个第一转动轴的前端均固定套接有滚轮，位于最右侧的第一转动轴的后端与外界的电机连接。该晶片厚度分选装置，通过设置多个滚轮同时转动，既能够平稳输送晶片，又能够避免晶片出现划伤的情况，通过设置多个分离筒的高度从左到右依次递减，当分离筒转动时便于对多种厚度的晶片进行分离，通过设置多个海绵凸块，既能够有效将晶片拨出，又能够避免晶片受损，通过设置弹簧，能够为海绵凸块提供缓冲力，避免晶片出现划伤的情况，解决了背景技术中提出的问题。
- 一种晶片厚度分选装置
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