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[实用新型]一种提升晶圆曝光质量的装置-CN202320297707.8有效
发明人： 陈礼梅;马成鸿;陈林;顾军魏 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种提升晶圆曝光质量的装置，属于集成电路制造技术领域。包括承片台，所述承片台设有mask板，所述mask板与承片台之间形成间隙，为工作腔体；晶圆设于承片台上，所述晶圆上盖设掩模版，所述掩模版搭设于mask板上；所述工作腔体与氮气管路和真空管路连通；所述氮气管路上设有三通电磁阀，所述真空管路上设有二通电磁阀；所述三通电磁阀和二通电磁阀分别与选择开关电连接，所述选择开关拨至接触式曝光时，氮气经氮气管路流入工作腔体，且工作腔体内的空气经真空管路抽离；所述选择开关拨至接近式曝光时，氮气经真空管路流入工作腔体底部。本申请一键切换，操作便捷，保证作业腔体保留了氮气，防止设备受损；提高了晶圆的曝光质量。
一种提升曝光质量装置

[实用新型]火罐烘干机-CN202220899037.2有效
发明人：何宁;曹仁辉;吴积良;陈礼梅 -专利权人：郴州市中医医院
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了火罐烘干机，其包括固定于移动座上的烘干箱，所述烘干箱的顶部内壁上带有导气腔，导气腔的底部均布有出气管，所述烘干箱的一侧固定有安装箱，安装箱内设置有热气生成机构，热气生成机构的出气端通过三通固定并连通有第一通气管和第二通气管，第二通气管与导气腔连通，第一通气管与烘干箱的下部连通，所述烘干箱内设置有可从烘干箱内部抽出的放置板。本实用新型中整个烘干机不仅能够用于对多个罐体进行烘干，且烘干时，罐体的内侧和外侧可以同时得到烘干，进而使得干燥速度快效率好，且设置的干燥管能够反复插入罐体内进行干燥，如此，可以使得罐体内侧干燥均匀，效果好，另外，还能够自动控制烘干温度。
火罐烘干机

[实用新型]一种对水路流量实时监测的电极冷却装置-CN202120204355.8有效
发明人： 陈礼梅;顾军魏 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H05B6/54 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，属于电极冷却装置技术领域。包括多组水路监测单元，多组所述水路监测单元并列布置，多组所述水路监测单元进口并联后通过出水总管与冷水机出口连通，多组所述水路监测单元出口并联后通过进水总管与冷水机进口连接；所述水路监测单元上分别设置腔体压力传感器，且所述腔体压力传感器分别通过对应的第一连接管与主机连接，所述第一连接管还与水路监测单元连接；所述主机通过信号线与特气柜连接，所述特气柜通过第二连接管与进水总管连通。本申请第一水流量传感器分别对对应的腔体内的水流量进行实时检测，主机终止对应的腔体执行工艺程序，避免了腔体真空异常的情况发生，提高了产品质量。
一种水路流量实时监测电极冷却装置