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- [实用新型]一种光刻胶生产用原料取样装置-CN202020671396.3有效
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陈炳添
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厦门恒坤新材料科技股份有限公司
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2020-04-28
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2020-11-27
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G01N1/14
- 本实用新型涉及光刻胶生产技术领域,尤其涉及一种光刻胶生产用原料取样装置,包括输送管道,输送管道的一端设计为取料管头、另一端设计为出料管头,输送管道的管路上设置有氮气真空发生器,所述输送管道由入料管道和出料管道组成,入料管道的端口与出料管道的端口之间通过节流调节箱保持连通,所述节流调节箱的内部设置有可转动的阀板,阀板为圆形板,阀板的板面上开设出通孔,通过阀板调节原料抽取量,本实用新型解决了光刻胶取料量无法实时调整,会影响到光刻胶产品的生产质量的问题,通过本取样装置的应用,工作人员可以根据实际需要来调整原料的抽取量,且调整过程简单可靠,保证了光刻胶产品的品质,对生产工艺起到了明显的优化作用。
- 一种光刻生产原料取样装置
- [实用新型]一种匀胶显影机用光刻胶回收装置-CN202020671612.4有效
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陈炳添
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厦门恒坤新材料科技股份有限公司
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2020-04-28
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2020-10-20
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G03F7/30
- 本实用新型涉及匀胶显影机技术领域,尤其涉及一种匀胶显影机用光刻胶回收装置,解决了现有技术在匀胶显影机的工作过程中会使用到较多的光刻胶,而这些光刻胶在旋转匀胶的过程中,会被甩落较多,造成资源的浪费的缺点,包括匀胶机,其外表面设置有控制面板,且匀胶机的底部设置有多个支脚,匀胶罐设置于匀胶机的顶部,且匀胶罐的内部安装有作业盘,所述匀胶罐的内部两侧均开设有安装槽及装载口,支板一侧设置有回收柜。本实用新型利用T型结构的安装杆及安装槽,实现支板与匀胶罐的组装连接,对晶圆片旋转匀胶过程中甩出的光刻胶进行回收二次利用,且通过装载口可方便的对安装杆进行分离组装,保持光刻胶的回收工作持续性进行。
- 一种显影用光回收装置
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