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- [发明专利]半导体结构制备方法及半导体结构-CN202011380582.2在审
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钱忠健;陈晓亮;陈天
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无锡华润微电子有限公司
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2020-11-30
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2022-06-03
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H01L21/762
- 本申请涉及一种半导体结构制备方法及半导体结构,包括:提供衬底,于所述衬底内形成浅沟槽;采用热氧化工艺形成覆盖所述浅沟槽的底部和侧壁的衬垫层;采用沉积工艺于所述衬垫层的表面形成第一氧化层;填充所述浅沟槽。本申请中采用热氧化工艺形成覆盖所述浅沟槽的底部和侧壁的衬垫层,可以消除刻蚀浅沟槽的过程形成的损伤;采用沉积工艺于所述衬垫层的表面形成第一氧化层,可以与所述衬垫层一起为后续填充所述浅沟槽时提供保护层。由于沉积工艺形成第一氧化层的过程中不会消耗衬底中的硅,避免在沟槽底部的拐角处形成较厚的氧化硅对有源区施加应力,同时避免导致STI结构产生顶部翘曲现象,从而有效地提高了制备半导体器件结构的性能。
- 半导体结构制备方法
- [实用新型]一种市政道路施工用安防护栏-CN202122596127.2有效
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陈晓亮
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吕阳
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2021-10-27
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2022-05-27
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E04H17/14
- 本实用新型公开了一种市政道路施工用安防护栏,包括竖架A、竖架B和竖架C,所述竖架A右侧安装有连接环A和连接环B,且连接环A位于连接环B上方,所述连接环A内侧可拆卸连接有挂钩A,所述挂钩A右侧安装有支杆A,所述支杆A右侧安装有挂钩D,所述支杆A一侧安装有旋转轴,所述旋转轴一侧安装有支杆B,所述支杆B左侧安装有挂钩B,所述支杆B右侧可拆卸连接有挂钩C,所述竖架B左侧安装有连接环C和连接环D,且连接环C位于连接环D上方,所述竖架B右侧开设有凹槽,所述竖架B内部安装有支架。本实用新型通过安装的拉块、支架、弹簧、移动杆、凹槽、固定块、定位块和定位孔,便于对护栏进行拼接。
- 一种市政道路施工用安防护栏
- [实用新型]一种高铁候车厅入站行李安检装置-CN202122596122.X有效
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陈晓亮
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陈晓亮
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2021-10-27
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2022-05-24
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G01V9/00
- 本实用新型公开了一种高铁候车厅入站行李安检装置,包括底架,所述底架内侧可拆卸连接有传送带,所述底架一侧安装有连接架,所述连接架上方安装有检测器,所述连接架一侧可拆卸连接有帘带,所述底架一侧可拆卸连接有固定板A,所述固定板A一侧安装有电动伸缩杆A,所述电动伸缩杆A一侧安装有移动板A,所述底架远离固定板A的一端安装有固定板B。本实用新型通过安装的电动伸缩杆A、电动伸缩杆B、移动板A、移动板B、海绵层A和海绵层B,便于将传送带上的物品进行整理,避免物品杂乱影响检测效率,同时移动板A内侧安装的海绵层A和移动板B内侧安装的海绵层B避免物品受到损坏。
- 一种候车厅入站行李安检装置
- [实用新型]一种工程施工用打孔装置-CN202220042846.1有效
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杨锦威;陈超毅;陈君波;储德志;肖团;许春国;陈晓亮
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杨锦威
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2022-01-10
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2022-05-13
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E21B7/02
- 本实用新型公开了一种工程施工用打孔装置,包括一底板,在所述底板的底部均布有多个万向轮,在所述底板的一侧螺丝固定有一支撑板,在所述支撑板的一侧设置有一矩形槽,在所述支撑底板的前后端面竖向均布有多个矩形状的通槽,所述通槽连通带动矩形槽,在其中对应的两个所述通槽内均设置有一连接板,所述连接板的一端延伸至所述矩形槽内,在所述连接板远离所述矩形槽的那一端设置有一限位板,本装置通过丝杠和固定块的配合,使钻头在钻孔时便于控制进给速度,提高打孔的质量,通过万向轮,方便移动至下一个打孔的位置,无需人工搬运打孔设备,节省体力,其结构简单,操作方便,适合推广。
- 一种工程施工打孔装置
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