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[实用新型]一种缺陷检测装置-CN202222562853.7有效
发明人： 陆志毅;郑军 -专利权人：聚时科技（上海）有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种缺陷检测装置，包括交替作业的明场照明系统以及暗场照明系统，分别用于产生被测物使用的明场光和暗场光，并通过第一光路将携带有被测物信息的明场光和暗场光投射至第一相机和第二相机内；第一光路包括第一分光棱镜和第二分光棱镜，第一分光棱镜接收由被测物反射的明场光和暗场光，后将明场光和暗场光投射至第二分光棱镜，第二分光棱镜将明场光分至第一相机和第二相机。本实用新型通过准直镜减小明场光源产生的光扩散，并通过中继透镜使得携带信息的光投射到第一相机和第二相机上时更加的均匀，进而使得第一相机和第二相机拍摄的画面更加的清晰。
一种缺陷检测装置

[实用新型]一种照明装置及量测装置-CN202223436994.0有效
发明人：曾晶;陆志毅;郑军 -专利权人：聚时科技(上海)有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： F21V8/00 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种照明装置及量测装置，涉及照明设计技术领域。其中量测装置包括该照明系统，照明装置包括发光件及导光管，导光管内设置有多根光纤，导光管具有输入端及输出端，输入端用于与发光件连接，多根光纤靠近输出端的端部呈阵列排布，通过多根光纤作为光分束器件，以将光源发出的光分通过多根光纤传输，进而将光分为多束，能够有效避免由于数字微镜器件出现的干涉现象。
一种照明装置

[实用新型]一种耦合光路以及线光谱共聚焦检测系统-CN202222685252.5有效
发明人： 陆志毅;郑军 -专利权人：聚时科技（上海）有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耦合光路以及线光谱共聚焦检测系统，包括耦合光路、色散物镜装置、pinhole、第二准直组、光栅、聚焦组和探测器，探测器设置在分光棱镜的一侧，pinhole、第二准直组、光栅和聚焦组从左至右依次设置在分光棱镜和探测器之间，且pinhole靠近分光棱镜设置，聚焦组靠近探测器设置在匀光腔的下方，本实用新型通过对照明光路的优化设计，提高了光能利用效率，从而可以保证相机在较短积分时间下满足检测要求，提高检测速度，增大产率，切换式物镜设计可以满足在较低成本下改变量程范围和检测分辨率的需求，pinhole遮光可以避免杂光串扰，提高非扫描向分辨率。
一种耦合以及光谱聚焦检测系统

[实用新型]一种高轴向分辨率的线性色散物镜装置-CN202222685274.1有效
发明人：曾晶;陆志毅;郑军 -专利权人：聚时科技（上海）有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请一种高轴向分辨率的线性色散物镜装置，包括物方和像方，还包括从物方一侧到像方一侧依次排列的平面透镜、前组、光阑和后组，前组用于控制物方远心并对侦测光进行初步色散，光阑用于限制色散物镜的最大通光孔径，后组用于控制像方远心并对侦测光进行二次色散，本申请实施例提供的技术方案中色散物镜光路，由于其使用双远心光路产生色散，当其配合大尺寸的线阵光源时时，可在保证投射到被测物的光斑亮度和精度一致性的同时，尽量提高系统投射的线长长度，通过增大物方孔径光阑数值者配合，实现系统大线长的情况下，保证了线上所有的点在均匀性和精度上一致，该色散物镜组对有效波长范围内的光源，具有较好的线性度。
一种轴向分辨率线性色散物镜装置

[实用新型]一种电火花线切割机床的床身结构-CN202220405404.9有效
发明人：邹尧;陆志毅;刘叶箐 -专利权人：江苏南航来创科技有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电火花线切割机床的床身结构，包括工作台，所述工作台安装有切割装置，工作台设有工作区，所述工作区固定连接有围栏；所述围栏固定连接有固定侧板，固定侧板铰接有正板，所述围栏铰接有活动侧板，所述活动侧板和固定侧板设有侧透明板，侧透明板固定连接有侧安装框，所述正板设有正透明板，正透明板设有正安装框。本实用新型使用时，拔动拔销，便于拆下正安装框和侧安装框，并连带拆下正透明板和侧透明板，相对于在工作台上直接对其清洗，拆卸这种方式更便于工作人员对其进行集中清洗，清洗更加方便。
一种电火花切割机床床身结构

[实用新型]一种电火花线切割机床的导丝装置-CN202220208020.8有效
发明人：邹尧;陆志毅;刘叶箐 -专利权人：江苏南航来创科技有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B23H7/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电火花线切割机床的导丝装置，包括导丝座，导丝座的上侧设有进丝辊，进丝辊的下侧转动连接弹簧阻尼器一，弹簧阻尼器一的下侧连接升降杆，升降杆的下端连接蜗轮蜗杆组件，蜗轮蜗杆组件中的蜗杆连接旋钮，旋钮位于导丝座的侧面，所述导丝座的右侧为弧形面，弧形面上滑动连接有运输带，运输带的上侧连接上辊轮，运输带的下侧连接下料板，本实用新型通过可转的运输带，帮助电极丝运动，避免与导丝座直径的摩擦，大大减少了电极丝的磨损，提高电极丝的寿命，本实用新型通过弹簧阻尼器一吸收进料端的振动，弹簧阻尼器二吸收出料端的振动，降低两侧的影响，并通过可伸缩的进丝辊和下料板，可以适应不同角度的进出料。
一种电火花切割机床装置

[实用新型]电火花线切割机床的工作液定量喷液控制装置-CN202220213935.8有效
发明人：邹尧;陆志毅;刘叶箐 -专利权人：江苏南航来创科技有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B23H7/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了电火花线切割机床的工作液定量喷液控制装置，包括储液箱，储液箱上端中部设有加压组件，加压组件通过多个弹性软管连接有喷液组件，喷液组件的一侧设有调节机构；调节机构包括上固定板和下固定板，上固定板和下固定板均固定安装在喷液组件上，且下固定板上端安装有旋转座，旋转座内安装有螺纹套，且螺纹套内螺纹安装有螺杆，螺杆的顶部与上固定板的下端连接，上固定板和下固定板之间位于螺纹套的一侧设有限位组件。本实用新型的控制装置在初步安装时或者在使用过程中，都可根据实际的需求来使用调节机构调节上储液板和下储液板之间的距离，从而提高其适应性，同时也可避免固定安装后需要调整时还需要拆卸的麻烦。
电火花切割机床工作液定量控制装置

[发明专利]基底缺陷检测装置及基底缺陷检测方法-CN202110602528.6在审
发明人： 陆志毅;于大维;李运锋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种基底缺陷检测装置及基底缺陷检测方法，由于将光源部件发出的至少一束测量光经检测光调整器调整后形成至少两个平行的测量光束。如此一来，可通过至少两个测量光束经一次或少次扫描即可获得基底上的多个缺陷的缺陷参数，以提升对位于基底上的缺陷的检测效率。
基底缺陷检测装置方法

[发明专利]凸块高度的检测装置及方法-CN202110605161.3在审
发明人： 陆志毅;于大维;李运锋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种凸块高度的检测装置和方法，包括：光源、照明光路、探测光路、线扫相机及高度检测单元，光源发射的检测光束经照明光路入射到带有凸块的晶圆，经反射进入探测光路并在线扫相机上形成光强信号图像，由于检测光束入射到晶圆时在扫描方向的宽度覆盖所述凸块，故光强信号图像中形成有与凸块对应的阴影区，高度检测单元根据阴影区的光强信号和位置数据获取凸块的高度信息。本发明采用线扫相机进行成像，线扫相机的扫描视场和扫描速度均远高于面阵相机，提高了凸块高度的检测效率，另外，线扫相机扫描方向视场只有单像素对应的物方大小，水平分辨率不受检测光束大小影响，降低了检测光束的制造难度，节约成本，并提高水平检测精度。
高度检测装置方法

[实用新型]基底背面缺陷检测装置-CN202121481660.8有效
发明人：于大维;朱振朋;陆志毅;王婷婷;周许超;李运锋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基底背面缺陷检测装置，包括照明单元，调焦单元和探测单元；所述照明单元发出光束经过所述调焦单元反射后到达基底背面，经所述基底背面反射后经所述调焦单元进入所述探测单元，所述调焦单元实时调焦以使得所述基底背面位于焦面位置，所述探测单元获得所述基底背面的缺陷。通过实时调整调焦单元调整焦面的位置，以使得基底的背面位于焦面位置，从而能够解决了基底高速旋转状态下背面缺陷检测准确性低的问题。
基底背面缺陷检测装置

[发明专利]一种投影反射屏幕涂料及其制备方法-CN202010266549.0在审
发明人： 陆志毅;张红秀;王霖;李屹 -专利权人：深圳光峰科技股份有限公司
申请日： 2020-04-07 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： C09D133/04 文献下载
摘要：本申请涉及成像显示技术领域，具体公开一种投影反射屏幕涂料及其制备方法，该投影反射屏幕涂料所形成的涂层对波长范围为400‑700nm的可见光的平均反射率为10‑30％，按质量百分比计，投影反射屏幕涂料包括：成膜树脂10‑70％、交联剂0‑5％、铝银浆3‑10％、黑色浆料3‑10％、促排剂5‑15％、流平剂0.5‑1％、分散剂0.5‑3％、消泡剂0‑0.5％、第一溶剂10‑75％。通过上述方式，本申请能够明显提高投影幕布的亮度与对比度，在保持屏幕可观增益的同时，减少了杂乱反射光对屏幕对比度的影响。
一种投影反射屏幕涂料及其制备方法

[发明专利]透明投影屏幕及其制造方法-CN202010131577.1在审
发明人：张红秀;陆志毅;王霖;李屹 -专利权人：深圳光峰科技股份有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： G03B21/60 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种透明投影屏幕及其制造方法，该透明投影屏幕用于接收投影光线并透射环境光线，其包括第一基底层、菲涅尔结构层、表面扩散层、纳米金属镀层以及贴合胶层；菲涅尔结构层设置于第一基底层，菲涅尔结构层包括棱镜面，表面扩散层设置于至少部分棱镜面，纳米金属镀层设置于表面扩散层，贴合胶层设置于纳米金属镀层，并填平棱镜面；投影光线经第一基底层入射至棱镜面并被棱镜面反射，环境光线依次经贴合胶层、纳米金属镀层、表面扩散层、第一基底层层出射。本申请实施例提供的透明投影屏幕可用于超短焦投影，大大节省了投影空间，在保持较好透明度的同时，能够清晰地投影图像，具有一定的增益和视角。
透明投影屏幕及其制造方法

[实用新型]基于通用变频器往复走丝电火花线切割机床电气控制系统-CN201821669856.8有效
发明人：邱明波;邹尧;晁龙;刘志东;陆志毅 -专利权人：南京航空航天大学无锡研究院;江苏南航来创科技有限公司
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： B23H7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基于通用变频器往复走丝电火花线切割机床电气控制系统，属于线切割变频器领域。它包括输入模块、输出模块、人机交互模块、丝筒、高频板、主控模块和通用变频器模块，输入模块和人机交互模块与主控模块的输入端口连接，主控模块的输出端口与高频板、通用变频器模块和输出模块连接，通用变频器模块与丝筒连接，主控模块包括单片机模块和光耦隔离模块，输入模块将输入信号经过光耦隔离模块处理后发送至单片机模块，人机交互模块直接与单片机模块之间进行传输。该控制系统将现有的专用变频器模块化，增加了主控制模块和通用变频器模块，集成了通用变频器的优越性和专用变频器的多功能性，提高了变频器的使用寿命和控制性能。
通用变频器主控模块人机交互模块单片机模块输入模块电火花线切割机床电气控制系统光耦隔离模块专用变频器输出模块往复走丝变频器高频板输入端口连接本实用新型主控制模块控制系统控制性能使用寿命输出端口模块化线切割发送传输

[实用新型]用于往复走丝电火花线切割加工工作液定量喷液控制装置-CN201821767295.5有效
发明人：邱明波;刘志东;潘红伟;邹尧;陆志毅 -专利权人：南京航空航天大学无锡研究院;江苏南航来创科技有限公司
申请日： 2018-10-30 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于往复走丝电火花线切割加工工作液定量喷液控制装置，涉及电火花线切割加工技术。它包括工作液箱、水泵、流量阀和喷水板，水泵、流量阀和喷水板之间由管路相连，流量阀采用定流量控制阀，该阀用于流量调节，并且在流量异常时发出警报，流量低于设定的报警阈值时关断高速往复走丝电火花线切割机床电源。通过使用本实用新型，能够有效地对线切割加工中的工作液流量进行准确控制和调节，并在喷液流量异常时发出警报，保证加工持续稳定进行，同时改善工件表面质量。
电火花线切割加工流量阀喷液控制装置本实用新型往复走丝工作液喷水板水泵警报电火花线切割机床高速往复走丝工作液流量线切割加工工件表面工作液箱流量调节流量异常喷液流量准确控制定流量控制阀有效地阈值时关断电源报警加工保证

[发明专利]用于往复走丝电火花线切割加工工作液定量喷液控制装置-CN201811274399.7在审
发明人：邱明波;刘志东;潘红伟;邹尧;陆志毅 -专利权人：南京航空航天大学无锡研究院;江苏南航来创科技有限公司
申请日： 2018-10-30 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：本发明公开一种用于往复走丝电火花线切割加工工作液定量喷液控制装置，涉及电火花线切割加工技术。它包括工作液箱、水泵、流量阀和喷水板，水泵、流量阀和喷水板之间由管路相连，流量阀采用定流量控制阀，该阀用于流量调节，并且在流量异常时发出警报，流量低于设定的报警阈值时关断高速往复走丝电火花线切割机床电源。通过使用本发明，能够有效地对线切割加工中的工作液流量进行准确控制和调节，并在喷液流量异常时发出警报，保证加工持续稳定进行，同时改善工件表面质量。
电火花线切割加工流量阀喷液控制装置往复走丝工作液喷水板水泵警报电火花线切割机床高速往复走丝工作液流量线切割加工工件表面工作液箱流量调节流量异常喷液流量准确控制定流量控制阀有效地阈值时关断电源报警加工保证

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