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[发明专利]一种半导体暖机工艺任务的执行方法和半导体工艺设备-CN202310395819.1在审
发明人：唐凯;尤艳艳;钟晨玉;孔令帅;孙运东 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G06Q10/0633 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种半导体暖机工艺任务的执行方法和半导体工艺设备，该方法应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括伪片装载端口，所述伪片装载端口用于装载多片伪片，该方法包括：从伪片装载端口可用的伪片中选取执行暖机工艺任务需要的伪片；确定所选取的伪片中每一片伪片的当前已使用次数；根据各个伪片的当前已使用次数，预测各个伪片在执行完暖机工艺任务之后的使用次数是否超过预设使用次数阈值；在所选取的伪片均未超过预设使用次数阈值的情况下，执行暖机工艺任务。从而可以在机台内部的伪片装载端口处直接执行暖机工艺任务，提高了装载端口的利用率和产能，缩短了工艺腔室恢复的时间，并且对伪片的使用次数进行管控，降低了人力成本。
一种半导体机工任务执行方法工艺设备

[发明专利]静电卡盘的温度控制方法及半导体工艺设备-CN202210339811.9有效
发明人：宋攀;陈星;钟晨玉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种静电卡盘的温度控制方法及半导体工艺设备，上述方法包括：确定静电卡盘ESC的温度控制模式，其中所述温度控制模式包括升温控制模式或降温控制模式；确定所述温度控制模式所对应的初始加热功率、稳态功率和功率转换时间，其中所述功率转换时间为所述ESC的温度达到所述温度控制模式所对应的预设目标温度时的时间；通过所述初始加热功率对所述ESC进行温度控制，并在所述ESC的温度达到所述预设目标温度时通过所述稳态功率对所述ESC进行温度控制。本实施例提高了温度控制的效率。
静电卡盘温度控制方法半导体工艺设备

[发明专利]一种下射频电源的电压控制方法及半导体工艺设备-CN202210748872.0在审
发明人：杨波;卫晶;韦刚;陈星;宋博文;阮永豪;钟晨玉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请公开了一种下射频电源的电压控制方法及半导体工艺设备，预先获取馈电至静电卡盘的下射频电源的电压设定值，并根据预设电压修正策略对电压设定值进行修正，得到目标电压值；获取与静电卡盘连接的射频电压传感器输出的第一电压信号，并根据第一电压信号，及表征射频电压传感器的平均输入输出对应关系的传感器变换系数，得到射频电压传感器理论上输入的第二电压信号；比较目标电压值和第二电压信号，并根据比较结果调整下射频电源的输出功率，以使第二电压信号等于目标电压值。可见，本申请对下射频电源的电压设定值进行修正，以使下射频电源达到稳态时，静电卡盘上的实际电压值等于未修正的电压设定值，从而提高了下射频电源的电压控制精度。
一种射频电源电压控制方法半导体工艺设备

[发明专利]一种校准值确定方法和半导体工艺设备-CN202210490450.8在审
发明人： 钟晨玉;卫晶 -专利权人：西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种校准值确定方法，应用于半导体工艺设备，半导体工艺设备包括目标工艺腔室、上射频电源和下射频电源，目标工艺腔室中设置有用于承载晶圆的基座，上射频电源用于激发目标工艺腔室中的工艺气体形成等离子体，下射频电源用于向基座加载射频偏压，该方法包括：获取在预设工艺条件下，多个共同激励CEX锁相角度的预设值对应的等离子体偏压VDC的实测值；对预设值和实测值进行数据拟合，确定实测值随预设值变化的连续函数；根据连续函数，确定CEX锁相角度的校准值，校准值为在预设工艺条件下晶圆表面的VDC值最小时对应的CEX锁相角度值。根据本发明的实施例，可以提升校准值确定的准确性。
一种校准确定方法半导体工艺设备

[发明专利]功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备-CN202111121238.6在审
发明人：杨京;钟晨玉;尤艳艳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H01J37/248 文献下载
摘要：本发明提供一种功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备，其包括：获取到达匹配器前端的预设输入功率值；根据到达匹配器前端的预设输入功率值和预先拟合出的函数关系查找与该预设输入功率值相对应的功率源的输出功率校准值；其中，函数关系为非线性函数，用于表示到达匹配器前端的输入功率与功率源的输出功率的对应关系；将功率源的输出功率调节至功率源的输出功率校准值，以使到达匹配器前端的实际输入功率值与前述预设输入功率值相对应。本发明提供的功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备，能够降低馈入至工艺腔室中的射频功率与射频源的实际输出功率之间的误差，从而能够提高工艺腔室中进行的工艺精度。
功率输出功率控制方法装置半导体加工设备

[发明专利]下射频电源的功率控制方法和装置、半导体工艺设备-CN202111126996.7在审
发明人：卫晶;陈星;张宇;韦刚;单国道;钟晨玉;尤艳艳;杨京 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-09-26 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H01J37/248 文献下载
摘要：本发明提供一种下射频电源的功率控制方法和装置、半导体工艺设备，该方法包括：在工艺腔室开始进行半导体工艺时，利用预设的功率补偿关系式，并根据预先获取的参照腔室的第一射频回路参数组和进行半导体工艺的当前工艺腔室的第二射频回路参数组，获得获得当前工艺腔室相对于参照腔室的功率补偿系数；根据功率补偿系数和当前工艺腔室的下射频电源的功率设定值，计算获得当前工艺腔室相对于参照腔室的功率补偿值；控制下射频电源输出功率补偿值。本发明的技术方案可以提高不同工艺腔室的工艺结果一致性。
射频电源功率控制方法装置半导体工艺设备

[发明专利]匹配器输出功率调试方法及调试系统-CN202110436064.6在审
发明人：岳昕;钟晨玉;卫晶 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种匹配器输出功率调试方法及调试系统。该调试方法具体包括：在射频电源开启时，检测匹配器的输入端的输入功率值和匹配器的输出端的输出功率值；计算匹配器的实际效率值，实际效率值等于匹配器的输出功率值与输入功率值的比值；判断实际效率值是否在预设效率范围内，若否，则计算效率补偿值，效率补偿值等于预设效率值与实际效率值的比值，并根据效率补偿值调节匹配器的输入功率。本发明提供一种匹配器输出功率调试方法及调试系统能够通过进行较少的调试次数得到所需的输出功率，从而能够减少用于调试的资源消耗，并能够缩短调试时间。
配器输出功率调试方法系统

[发明专利]工艺腔室环境稳定性监控方法、半导体工艺设备-CN202011509279.8在审
发明人：杨光;钟晨玉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请实施例提供了工艺腔室环境稳定性监控方法、半导体工艺设备，该方法包括：基于目标工艺参数的当前参数值和目标工艺参数的历史参数值统计数据，确定是否满足工艺报警条件，其中，目标工艺参数为用于确定工艺腔室环境是否发生变化的工艺参数，目标工艺参数的历史参数值统计数据基于目标工艺参数的多个历史参数值确定；若满足工艺报警条件，则生成指示工艺腔室环境发生变化的报警信息。本申请实施例提供的技术方案可以及时监控到工艺腔室环境发生变化，生成指示工艺腔室环境发生变化的报警信息，以提示工程师进行相关的用于保证工艺腔室环境的稳定性的措施。
工艺环境稳定性监控方法半导体工艺设备

[发明专利]半导体工艺设备和等离子体启辉方法-CN202011336795.5在审
发明人：杨京;钟晨玉;韦刚;陈星 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01J37/24 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺设备和等离子体启辉方法，其中，半导体工艺设备包括：反应腔室；进气组件，用于向所述反应腔室中通入反应气体；上电极组件，用于将所述反应气体激发成等离子体；监测器，用于在所述等离子体点火时，监测所述反应腔室中等离子体的电磁辐射强度；控制器，用于判断所述监测器监测到的电磁辐射强度是否达到预设强度，若是，则确定等离子体点火成功；在等离子体点火成功后，控制所述上电极组件进行第一预设时长的阻抗匹配。本发明可以提高刻蚀效果的一致性。
半导体工艺设备等离子体方法

[实用新型]一种防盗安全多功能任务保障平台-CN202021172374.9有效
发明人：赵洋;钟晨玉;刘锟 -专利权人：北京计算机技术及应用研究所
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： H05K5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种防盗安全多功能任务保障平台，其中，包括：便携处理终端置于携行办公箱内部；携行办公箱内部设置可以折叠的终端支架，终端支架支撑便携处理终端，终端支架通过变换与携行办公箱顶部的夹角，使得支撑便携处理终端的显示屏处于不同的角度；打印扫描一体机设置在携行办公箱的下部，打印扫描一体机与携行办公箱之间设置滑轨。本实用新型分别将打印扫描模块、电源模块合理的布置在箱体中，计算机控制模块集成在方便分离操作的便携处理平台中，增强了对环境的适应性与实用性。
一种防盗安全多功能任务保障平台

[发明专利]半导体设备的射频起辉控制方法及装置-CN202010766431.4在审
发明人：杨京;钟晨玉;韦刚;卫晶 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-08-03 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本说明书一个或多个实施例公开了一种半导体设备的射频起辉控制方法及装置，用以解决现有技术中射频起辉时间波动大导致工艺结果不稳定的问题。所述方法包括：在控制半导体设备的腔室参数满足预设参数稳定条件的过程中，判断上射频电源SRF的加载功率是否大于或者等于预设的第一电源开启功率；若是，则开启上射频电源SRF；当上射频电源SRF开启后的时长达到第一延迟时间时，判断下射频电源BRF的加载功率是否大于或者等于预设的第二电源开启功率；若是，则开启下射频电源BRF；当下射频电源BRF开启后的时长达到第二延迟时间时，控制半导体设备执行后续工艺。该技术方案能够减小射频起辉时间波动，从而能够保证工艺结果的稳定性，提高批量生产率。
半导体设备射频控制方法装置

[发明专利]半导体设备的串口数据采集方法、装置及设备-CN202010426776.5在审
发明人： 钟晨玉;杨京 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-05-19 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： G06F13/40 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种半导体设备的串口数据采集方法、装置及设备，用以解决半导体设备的串口数据采集速率慢、导致工艺稳定性差的技术问题。所述方法包括：向半导体设备发送针对多个第一通道的数据读取指令；半导体设备用于根据所述数据读取指令读取各所述第一通道的通道数据，以及将各所述通道数据打包为数据包发送至系统控制端；接收半导体设备返回的所述通道数据对应的所述数据包；对所述数据包进行解析，得到各所述第一通道的通道数据；将各所述第一通道的通道数据分别存储至各所述第一通道对应的缓存空间。该技术方案提高了数据采集速率，确保系统控制端工艺的稳定性，为系统控制端的相关工艺问题和优化工艺结果提供有效的数据支撑。
半导体设备串口数据采集方法装置设备

[发明专利]基于多瓣轮模型的车轮尺寸检测方法和系统-CN201710294272.0有效
发明人：贾利民;李鲲鹏;常江波;李洋;钟晨玉 -专利权人：北京锦鸿希电信息技术股份有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于多瓣轮模型的车轮尺寸检测方法和系统，其中，基于多瓣轮模型的车轮尺寸检测方法包括：获取待检测车辆的每个车轮的轮廓圆上的N组点的坐标值，其中，每组点包含至少3个点，上述N为大于等于2的整数；根据每组点的坐标值，获取每组点对应的半径值；根据上述N组点在上述轮廓圆上的分布位置，获取分布位置相邻的每两组点对应的半径值的差值；获取大于等于预设值的差值的个数；根据上述个数确定上述车轮的瓣的个数；根据上述车轮的瓣的个数确定上述车轮的形状。本发明提供的基于多瓣轮模型的车轮尺寸检测方法，可以解决现有的车轮检测方法不能及时获知车轮更为精确的磨损情况的问题。
基于多瓣轮模型车轮尺寸检测方法系统

[发明专利]基于开心果物理结构撞击声特性的开闭口分拣设备-CN201610242968.4在审
发明人：冯涛;臧富瑶;钟晨玉 -专利权人：北京工商大学
申请日： 2016-04-20 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本发明涉及农产品无损检测分拣领域，是一种能够根据开心果的撞击声特性将闭口开心果分拣开来的自动化设备。它包括分拣速度测试器、开心果喂料器、撞击腔体、声传感器加持装置、被撞击装置、支撑架、控制分析装置、分拣执行装置。分拣速度测试器和开心果喂料器可通过转接头安装在撞击腔体顶端，分别实现分拣速率测试和自动分拣功能；被撞击装置、撞击腔体可控制开心果撞击角度及下落路径。控制分析装置可通过参数调节控制开心果喂料器、分拣执行装置的反应速度，并通过内置的基于开心果物理结构发声特性的判别算法准确识别开心果的开闭口状态。本发明有分拣效率高、节省人工成本、无损分拣等诸多优点，大大提高了开心果的开口比率和分拣效率。
基于开心果物理结构撞击特性开闭分拣设备

[发明专利]车轮尺寸检测系统和方法-CN201710294359.8在审
发明人：贾利民;李鲲鹏;常江波;李洋;钟晨玉 -专利权人：北京锦鸿希电信息技术股份有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种车轮尺寸检测系统和方法，其中，车轮尺寸检测系统包括至少三个设置在单侧轨道的同一侧的激光位移传感器，至少两个对称设置在单侧轨道的两侧的激光位移传感器，控制器局域网络CAN采集卡和工控主机；激光位移传感器用于获取待检测车辆的车轮的坐标信息，并向CAN采集卡发送待检测车辆的车轮的坐标信息；CAN采集卡用于接收激光位移传感器获取的待检测车辆的车轮的坐标信息,并向工控主机发送待检测车辆的车轮的坐标信息；工控主机用于根据待检测车辆的车轮的坐标信息，在线计算获取车轮的尺寸。通过本发明提供的车轮尺寸的检测系统和方法在线检测车轮的尺寸，提高了检测效率。
车轮尺寸检测系统方法

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