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- [实用新型]一种电子束蒸镀设备及其电子枪盖板-CN202320521861.9有效
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金伟军
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上海积塔半导体有限公司
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2023-03-17
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2023-09-08
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C23C14/30
- 本申请提供一种电子束蒸镀设备及其电子枪盖板。电子枪盖板设置于电子束蒸镀设备的蒸镀腔体中，腔体中还设置有坩埚和电子枪。电子枪盖板包括：底板，设置在电子枪的上方，底板与坩埚之间具有第一间隙，电子枪的电子枪枪头暴露于第一间隙处；以及第一挡板，第一挡板与底板靠近坩埚的一侧连接，并自底板向坩埚方向延伸，第一挡板靠近坩埚一侧的外边沿与坩埚之间具有第二间隙，其中，第二间隙的间隙值小于第一间隙的间隙值、且第一挡板在第一间隙处的正投影基本覆盖电子枪枪头。本申请将第一挡板自底板向坩埚的外边沿延伸，以及限制第二间隙的间隙值小于第一间隙的间隙值，实现遮挡电子枪枪头，从而实现阻挡金属碎屑掉落至电子枪枪头，避免电子枪短路。
- 一种电子束设备及其电子枪盖板
- [实用新型]一种建筑板材同步剪切装置-CN202020918501.9有效
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曹海杰;张标;金伟军
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新天一集团有限公司
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2020-05-26
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2021-01-29
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B26D1/147
- 本实用新型公开了一种建筑板材同步剪切装置，包括底座，所述底座顶部一端固定连接有支撑板，所述支撑板后侧固定连接有夹具后板，所述底座顶部另一端固定连接有固定板，所述固定板靠近支撑板的一侧滑动连接有滑动支座，所述滑动支座顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机顶部固定设置有保护板，所述驱动电机远离固定板的一侧中心处转动连接有刀具主轴，所述刀具主轴中间固定设置有刀具后卡，所述刀具后卡远离驱动电机的一侧固定连接有切割刀具。本实用新型通过丝杠和夹具活动板的配合使用，可以保证切割装置对各种板材进行切割，同时支撑板山设置两个夹具活动板，可以对不规则板材进行切割。
- 一种建筑板材同步剪切装置
- [实用新型]坩埚传动装置-CN201922306599.2有效
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金伟军;张伟;赵鹏飞
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上海先进半导体制造有限公司
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2019-12-19
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2020-08-04
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F16H1/20
- 本实用新型提供一种坩埚传动装置，包括坩埚、传动轴、支座和第一轴承，所述传动轴能绕自身轴线转动，所述传动轴带动所述坩埚绕自身的中心线旋转；所述支座上设有第一安装孔，所述传动轴与所述第一安装孔同轴设置；所述第一轴承的外周面与所述第一安装孔的内周面相配合，所述第一轴承的内周面与所述传动轴的外周面相配合。上述坩埚传动装置，通过支座支撑传动轴，在传动轴较长时，为传动轴提供了一个支撑，使传动轴转动过程中能保持稳定，从而使整个传动装置的传动保持稳定，避免了传动不稳定和传动部件的磨损，保证坩埚的旋转的稳定性。
- 坩埚传动装置
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