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[发明专利]一种工件台动态性能检测方法-CN202110390099.0有效
发明人：魏劲松;刘星;郑金轮;高天宇;王璐 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：一种工件台动态性能检测方法,工件台动态性能检测装置，包括蓝光激光刻写模块、照明与成像模块、计算机、反射镜、透蓝反红二向色镜片、反红蓝透白光二向色分光平片、刻写物镜、红光激光测距模块、反射镜、调焦机构、压电陶瓷、测试片、工件台、控制器。将测试片放置于工件台上，通过调焦机构将蓝光聚焦到测试片的表面。同步控制工件台与控制器，完成工件台动态特性的速度、加速度、直线度、最小步距、往复运动特性、垂直度检测及重复定位精度检测。本发明将工件台的多种动态特性静态化表征，方便测量，检测精度高、检测灵敏度高。
一种工件动态性能检测方法

[实用新型]一种手提袋护手握持器-CN202220420869.1有效
发明人： 郑金轮 -专利权人： 郑金轮
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： A45F5/00 文献下载
摘要：一种手提袋护手握持器，包括手握柄（1），其特征在于：所述手握柄（1）的中部开设有穿手孔（3），手握柄（1）的上部手握部分设置有弹性手握层（2），手握柄（1）的下部活动安装有管型连接件（5），管型连接件（5）的外壁上端开设有上端开口（6），手握柄（1）的两侧分别开设有安装槽（4），管型连接件（5）的上端开口（6）两内侧分别设置有连接凸台（7），连接凸台（7）安装在安装槽（4）内，管型连接件（5）为波纹管、直管或圆弧管，本实用新型结构合理，方便而快速的将手提袋的提手套入管型连接件或半环连接件中，通过手握在手握柄上部的握杆即可将手提袋提起，避免了手提袋提手对手的压迫，减轻了手的疼痛感。
一种手提袋护手握持器

[实用新型]一种激光热模光刻用抗氧化保护装置-CN202123213473.4有效
发明人：王璐;魏劲松;郑金轮;高天宇;王阳;周圣明 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海科技大学
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种激光热模光刻用抗氧化保护装置，包括惰性气体钢瓶和透明保护罩箱体，透明保护罩箱体侧壁上方设有进口孔，侧壁下方设有出口孔，惰性气体钢瓶通过管路依次经第一节流阀、压力表、第二节流阀和进口孔通入所述透明保护罩箱体内，所述的出口孔外接设有呼吸阀的管路；透明保护罩箱体内侧壁上还设置有干燥室，供干燥剂放置；透明保护罩箱体上设有取样窗口，用于无掩膜激光直写光刻系统中样品的取放，该取样窗口外设有透明门板。本实用新型可以有效减少空气中的水分子和氧气分子与无机相变薄膜材料发生反应，进而减小对后续显影的影响。作为无机相变光刻胶曝光用抗氧化保护装置，大大提高了激光热模光刻曝光和显影工艺的良品率。
一种激光光刻氧化保护装置

[发明专利]微纳结构图形试样的高速跟踪方法-CN202110390170.5有效
发明人：刘星;魏劲松;陈国东;郑金轮;赵培均 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H04N5/232 文献下载
摘要：微纳结构图形试样的高速跟踪方法,包括计算机、照明成像模块、二向色棱镜、调焦机构、压电陶瓷、物镜、待跟踪的微纳结构图形试样、工件台、探测器、象散模块、分光模块、扩束镜、激光器和控制器。将待跟踪的微纳结构图形试样放置于工件台上，通过调焦机构的上下移动，使得待跟踪的微纳结构图形试样的表面在照明成像模块清晰成像。调节扩束镜，使得激光器发出的激光聚焦在待跟踪的微纳结构图形试样的表面，同步控制工件台与控制器，完成待跟踪的微纳结构图形试样的运动与跟踪。本发明微纳结构图形试样的高速跟踪方法可以高速、高精度、高灵敏度的对微纳结构图形试样进行自动跟踪，保证微纳结构图形清晰成像，为后续的读取与检测提供保证。
结构图形试样高速跟踪方法

[发明专利]提高激光热模光刻图形保真度工艺稳定性方法及抗氧化保护装置-CN202111564094.1在审
发明人：王璐;魏劲松;郑金轮;陈国东;王阳;周圣明 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海科技大学
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L45/00 文献下载
摘要：本发明提供一种提高激光热模光刻图形保真度工艺稳定性的方法，其主要特征在于所述发明在使用无机热模光刻胶薄膜进行任意图形曝光刻写时，通过抗氧化保护装置提高工艺稳定性。首先对高透明基底分别进行丙酮、乙醇、去离子水的超声清洗，然后利用高真空磁控溅射系统在清洗干净的基底上表面沉积一层无机相变光刻胶材料薄膜，通过激光直写光刻系统进行曝光，形成特定的微纳图形，在刻写过程中使用加入惰性气体的抗氧化保护罩进行抗氧化保护，将保护刻写后的样品，利用显影液显影出相应的微纳图形结构，完成特定微纳图形的高保真度制备。本发明作为提高无机相变光刻胶图形保真度工艺稳定性的方法，有效地解决了曝光过程中氧化造成的曝光显影工艺不稳定的问题，该方法是激光热模光刻技术实现曝光显影工艺稳定的有力支撑。
提高激光光刻图形保真度工艺稳定性方法氧化保护装置

[发明专利]一种多光束扫描式激光直写装置及其刻写方法-CN202111104342.4在审
发明人： 郑金轮;魏劲松 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种多光束扫描式激光直写装置及其刻写方法。该激光直写光刻装置中的光学扫描部分能够扫描出N束互相平行且相邻光束间距相同的刻写光束。实施刻写时，将待刻写样品固定于该装置中的二轴工件台上，二轴工件台中的刻写轴运行在特定的速度时，配合该激光直写光刻装置的扫描光束后就能刻写出等周期光栅状轨迹。本专利探索了激光直写光刻装置中刻写光束数量N、光束扫描速度和刻写轴速度三个变量与光栅状轨迹的周期的关系，发明了一种能够扫描出N束互相平行且相邻光束间距相同的刻写光束的多光束扫描式激光直写光刻装置，同时提出了利用该装置刻写出等周期光栅轨迹的刻写方法。该方法相比传统多光束方法能有效降低对扫描透镜大口径的需求。
一种光束扫描激光装置及其刻写方法

[发明专利]电机垂直度的检测装置及检测方法-CN201910255465.4有效
发明人： 郑金轮;白震;王正伟;魏劲松 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：电机垂直度的检测装置包括激光器、扩束准直器、二维扫描振镜、两个半透半反镜片、手动调焦装置、显微物镜、辅助测试样品、扩束准直器、白光照明光源、聚焦镜片、CCD探测器、第一控制器、计算机、第二控制器和待测电机的二维平台，及检测方法。本发明可以充分利用平台已有资源快速检测电机垂直度以方便后续的校正，提高刻写质量，具有很高的应用价值。
电机垂直检测装置方法

[发明专利]微缩式模拟信息存储方法-CN202011268199.8在审
发明人：莫之畅;魏劲松;郑金轮;王正伟;陈国东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G11B7/0045 文献下载
摘要：一种微缩式模拟信息存储方法，包括步骤：S1)采用激光热模光刻技术进行信息记录，具体是：S1.1选择超薄透明基片，在上面沉积一层相变材料作为信息记录材料；S1.2根据激光能量、运动平台速率控制数据信息的笔画、纹理特性，实现信息在微观尺度(百纳米级)的原貌复制；S2)将步骤S1)光刻后的样品浸没至清晰剂中，使刻写区薄膜保留，非刻写区薄膜剥离，所述的刻写区的信息结构与非刻写区域的基底产生较高的光学对比度所述，所述的清晰剂为采用主要成分为强氧化剂的无机溶液，用于非刻写区域的信息材料的去除；步骤S3)将经步骤S2)处理后的样品片叠放封装；S4)通过光学技术直接读取信息。
微缩模拟信息存储方法

[发明专利]样品中心的检测装置及检测方法-CN201910000509.9在审
发明人： 郑金轮;白震;王正伟;魏劲松 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2019-01-02 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：样品中心的检测装置及检测方法，包括检测光路的构建，自动检测，电机运动控制算法的实现。通过改变显微物镜、柱面镜、光电探测器之间的距离，来改变末端光强信号分布随前端物镜和样品间距变化的灵敏度。当显微物镜出射光斑脱离样品表面时，反射到探测器上的光斑形状发生显著变化，形成的离焦误差信号发生变化，确定样品的边沿位置，再通过控制电机的运动找到多个不同的样品边沿位置，最后将多个边沿位置的坐标用代数法联立方程组求解，从而得到样品几何中心的位置。在集成电路掩膜版的制造中，掩膜版本身的形状固定，通过该方法的定位功能可以在激光光刻过程中帮助系统精确锁定待刻写区域，增大刻写区域面积，提高刻写率，具有很高的应用价值。
刻写边沿位置检测装置显微物镜样品中心掩膜版电机运动控制算法光电探测器联立方程组光斑帮助系统定位功能光斑形状光强信号几何中心间距变化控制电机误差信号显著变化形状固定样品表面自动检测代数法激光光检测光灵敏度柱面镜检测求解探测器出射构建离焦物镜反射集成电路锁定脱离制造应用

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