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[发明专利]一种磁存储器的制造方法-CN202210366451.1在审
发明人： 郑枝源;彭泰彦;杨宇新;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H10N50/01 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种磁存储器的制造方法，对磁隧穿结叠层进行刻蚀至金属层，对自由层和固定层的侧壁以及金属层进行氧化或氮化，得到保护层，对保护层和氧化层的侧壁进行刻蚀，以去除氧化层侧壁的污染物。在刻蚀去除氧化层侧壁的污染物时，利用保护层保护自由层和固定层的侧壁，自由层和固定层的刻蚀残渣不会附着在氧化层上，同时也能刻蚀去除氧化层侧壁的污染物，并且金属层被保护层覆盖，会首先刻蚀保护层，对金属层的刻蚀量较低，避免在刻蚀去除氧化层侧壁的污染物时，对金属层的较大损伤甚至刻穿金属层的情况，既能够实现刻蚀去除氧化层侧壁的污染物，提高器件的性能和良率，又能够避免金属层被过度刻蚀，进一步提高器件的良率。
一种磁存储器制造方法

[发明专利]一种离子束刻蚀腔颗粒的去除方法-CN202111669411.6在审
发明人： 郑枝源;蒋中原;李佳鹤;杨宇新;彭泰彦;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子束刻蚀腔颗粒的去除方法。一种离子束刻蚀腔颗粒的去除方法包括以下步骤：离子束刻蚀晶圆工艺结束后，采用反应离子束在预定的离子能量、离子束流和气体存在下刻蚀离子束刻蚀腔后抽真空。本发明采用反应离子束刻蚀离子束刻蚀腔，可以减少离子束刻蚀腔室内的颗粒数量，改善离子束刻蚀腔室内环境，提高离子束刻蚀稳定性和产品良率。
一种离子束刻蚀颗粒去除方法

[发明专利]一种离子束刻蚀腔内栅网的沾污的清洗方法-CN202111404887.7在审
发明人： 郑枝源;杨宇新;李佳鹤;彭泰彦;李雪冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2021-11-24 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子束刻蚀腔内栅网的沾污的清洗方法，使用离子束刻蚀的工艺菜单进行清洗，设置施加在第一层栅网的正电压、正电流和施加在第二层栅网上的负电压，使等离子体通过第一层栅网，且不形成具有方向性离子束，利用等离子体之间的排斥碰撞作用，对栅网的沾污进行清洗。本发明中的清洗方法不用通过开腔等其他物理操作，直接以离子束刻蚀腔的工艺菜单的方式在不开腔的情况下达到清洗IBE grid的目的，且清洗效果好，清洗前后工艺参数稳定。
一种离子束刻蚀腔内栅网沾污清洗方法

[发明专利]一种1,2-戊二醇的生产方法-CN201911107004.9有效
发明人：黄龙;郑枝源;陈建华;贾松禹;高乐;常锦;周围 -专利权人：北京石油化工学院;北京弗莱明科技有限公司
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： C07C29/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种1,2‑戊二醇的生产方法，该方法是将糠醇在复合载体负载的贵金属催化剂的催化作用下选择性加氢生成1,2‑戊二醇；复合载体负载的贵金属催化剂所采用的复合载体是由二氧化硅、二氧化锆、二氧化钛、氧化铝、分子筛中的任一种或多种与氧化锰共混而成的氧化物混合物，氧化锰的质量分数为20～90％。该方法可用于间歇釜、固定床、连续浆态床等反应器，实现糠醇高效催化转化。采用的复合载体负载的贵金属催化剂可在H2压力为1～10Mpa,温度为100～300℃的条件下实现糠醇的定向催化转化。该催化剂具有性质稳定，容易从反应体系中分离回收的特点，催化产物易于分离，主要副产物价值高，处理简单，工业化生产价值高。
一种戊二醇生产方法

[发明专利]一种减少银刻蚀副产物团聚的方法-CN202110709703.1在审
发明人： 郑枝源;杨宇新;李佳鹤;彭泰彦;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B01D36/00 文献下载
摘要：本发明的一种减少银刻蚀副产物团聚的方法，包括如下步骤：步骤1，在连接干泵和IBE腔室的真空管中设置若干组过滤网组，相邻过滤网组之间间隔50‑500mm；每组过滤网组包括1‑3层过滤网，相邻过滤网之间间隔0.5‑5mm；步骤2，在过滤网之间填充化学吸附剂。本发明能够过滤或者吸附大部分的银副产物。
一种减少刻蚀副产物团聚方法

[发明专利]一种氨基吡咯烷类的制备方法-CN202010448733.7有效
发明人：黄龙;周围;刘策;郑枝源 -专利权人：北京石油化工学院
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C07D207/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种氨基吡咯烷类的制备方法，首先以2‑甲基四氢呋喃为原料，与氨气或有机胺类R‑NH2经过胺化反应并经过精馏提纯后得到2‑甲基吡咯烷类；其中，所述有机胺类R‑NH2中的R选自甲基、乙基中的一种；所得到的2‑甲基吡咯烷类再经过氨氧化反应后得到2‑氰基吡咯烷类；所得到的2‑氰基吡咯烷类再经过加氢反应后得到2‑氨甲基吡咯烷类。上述方法能够大幅提高氨基吡咯烷类产品的收率，且工艺过程更加环保安全。
一种氨基吡咯烷制备方法