专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]批次型衬底处理装置-CN202310086403.1在审
  • 姜盛晧;金苍乭;金濬;柳锡范;郑春植 - 株式会社尤金科技
  • 2023-02-09 - 2023-08-11 - H01J37/32
  • 提供一种通过多个电极产生等离子体以对衬底执行处理工艺的批次型衬底处理装置。批次型衬底处理装置包括反应管、设置成彼此间隔开的多个电极及配置成保护多个电极的电极保护部。多个电极包括彼此间隔开的第一及第二电力供应电极及设置在第一及第二电力供应电极之间的接地电极。电极保护部包括分别设置在第一及第二电力供应电极中的多个第一电极保护管、设置在接地电极中的第二电极保护管以及配置成将多个第一电极保护管中的每一者连接到第二电极保护管的多个连接管以使多个第一电极保护管中的每一者与第二电极保护管彼此连通。
  • 批次衬底处理装置
  • [发明专利]在具有高纵横比的凹陷部上蒸镀绝缘膜的方法-CN201580037489.2有效
  • 金海元;申昌勋;金锡允;郑春植 - 株式会社EUGENE科技
  • 2015-06-16 - 2019-06-25 - H01L21/31
  • 根据本发明的一实施例,在形成有具有5:1以上的纵横比的凹陷部的基板上,在上述凹陷部上蒸镀绝缘膜的方法包括:绝缘膜层蒸镀步骤,重复执行绝缘膜蒸镀步骤,该绝缘膜蒸镀步骤执行在装载有上述基板的腔的内部注入硅前驱体而在上述基板上吸附硅的吸附步骤、在上述腔的内部去除未反应的硅前驱体及反应副产物的第1净化步骤、在上述腔的内部供给第1反应源而将被吸附的上述硅形成为含硅的绝缘膜的反应步骤以及在上述腔的内部去除未反应的第1反应源和反应副产物的第2净化步骤;以及致密化步骤,施加RF电源而在上述腔的内部形成等离子体气氛,利用上述等离子体气氛将上述含多个绝缘膜的绝缘膜层变得致密,其中,上述RF电源频率是2MHz。
  • 具有纵横凹陷部上蒸镀绝缘方法
  • [发明专利]安装热管的床垫取暖装置-CN201110376346.8无效
  • 郑春植 - 青岛立德热能设备有限公司
  • 2011-11-23 - 2013-06-05 - A47C21/04
  • 本发明涉及一种安装热管的床垫取暖装置,尤其是涉及通过热管加热床垫内部、使床垫达到取暖效果的、安装热管的床垫取暖装置。本发明的安装热管的床垫取暖装置包括:床垫;安装于所述床垫内部的热管;设于所述热管一端的发热部;以及连接外部电源且通过电来调节所述发热部发热温度的温度调节器;所述热管包括:在内部填充工作液体的中空形管体;以及安装在所述管体内部的杆状管芯。
  • 安装热管床垫取暖装置

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