钻瓜专利网为您找到相关结果
14 个，建议您
升级VIP 下载更多相关专利
[发明专利] 一种晶圆键合动态标定方法及装置 -CN202210055323.5 在审
发明人：
赵雄峰 张豹
- 专利权人：
北京华卓精科科技股份有限公司
申请日：
2022-01-18
-
公布日：
2022-06-03
-
主分类号：
H01L21/68 文献下载
摘要： 本发明公开一种晶圆键合动态标定方法及装置，方法包括：传送晶圆至对应的晶圆载片装置上，获取晶圆信息，晶圆信息包括晶圆坐标系下的对准标记位置；判断对准标记识别装置、标定标记的位置是否都与对应晶圆的对准标记位置对齐，如果不对齐则分别控制对准标记识别装置和标定标记移动到都与对应晶圆的对准标记对齐，然后分别通过标定标记来标定对准标记识别装置的偏差量；对准标记识别装置分别识别晶圆的对准标记获得对准标记的偏差量，综合对准标记识别装置的偏差量，以及对准标记的偏差量来控制晶圆移动，使得一对晶圆的对准标记对准。本发明提前将标定标记和对准标记识别装置同步移动到对准标记相同的位置，可以大大降低对准误差，从而提高晶圆键合精度。一种 晶圆键合 动态 标定 方法 装置
[发明专利] 一种晶圆对准方法及装置 -CN202210055768.3 在审
发明人：
赵雄峰 张豹
- 专利权人：
北京华卓精科科技股份有限公司
申请日：
2022-01-18
-
公布日：
2022-05-10
-
主分类号：
H01L21/68 文献下载
摘要： 本发明提供了一种晶圆对准方法、装置、存储介质及电子设备，涉及半导体集成电路技术领域，所述方法包括：获取第一晶圆表面的第一预设对准标记与第一晶圆表面的第二预设对准标记之间的连线作为第一对准线；获取第二晶圆表面的第三预设对准标记与第二晶圆表面的第四预设对准标记之间的连线作为第二对准线；将所述第一对准线映射至所述第二晶圆表面所在的坐标系，获得映射线；获取所述映射线与所述第二对准线在所述坐标系中的位置偏差；基于所述位置偏差，执行所述第一晶圆与所述第二晶圆之间的对准操作。本发明提供的技术方案，能够大大简化晶圆对准操作，并提高晶圆对准精度。一种 对准 方法 装置
[实用新型] 一种新能源充电桩的防护结构 -CN202120947355.7 有效
发明人：
吴敏娇 ;丁福军 ;赵雄峰
- 专利权人：
兰州资源环境职业技术学院
申请日：
2021-05-06
-
公布日：
2021-11-05
-
主分类号：
B60L53/31 文献下载
摘要： 本实用新型涉及充电桩技术领域，且公开了一种新能源充电桩的防护结构，包括安装座和充电桩，安装座后侧内壁的中部与支撑板底部后侧固定连接，支撑板底部与液压缸的底部螺接，液压缸的输出端与推板的后侧固定连接，推板的前侧底部与第一连接轴的两端固定连接，第一连接轴外表面的中部分别与两组偏转杆的顶端转动连接。该新能源充电桩的防护结构，通过液压缸的输出端带动推板向上移动，以及偏转杆和组合杆的角度变换，使得两组防护罩能够相互接近并将充电桩遮罩，方便对充电桩整体进行防护，减少了意外撞击对充电桩造成的破坏，通过外护垫的缓冲作用，以及填充槽对基壳的填充，使得防护罩较抗撞击，且能够对撞击进行缓冲。一种 新能源 充电 防护 结构
[实用新型] 一种机械加工中心支撑调高夹具 -CN202023293617.7 有效
发明人：
吴敏娇 ;赵雄峰
- 专利权人：
兰州资源环境职业技术学院
申请日：
2020-12-31
-
公布日：
2021-09-28
-
主分类号：
B23Q3/00 文献下载
摘要： 本实用新型属于调高夹具技术领域，具体涉及一种机械加工中心支撑调高夹具，包括支撑板，支撑板的顶部固定连接有固定板，滑槽内壁的顶部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出轴上固定连接有螺纹柱，所述螺纹柱的表面螺纹连接有螺纹套,所述螺纹套的表面固定连接有移动板，所述腔体内固定连接有第二电机，第二电机的输出轴穿过第二轴承并固定连接有第二夹板，凹槽内壁的底部固定连接有电动推杆，所述电动推杆的顶端固定连接有第一夹板，所述支撑板的顶部固定连接有多节液压推杆，所述多节液压推杆的顶端通过螺栓固定连接有集尘框，本实用新型通过各个结构之间的配合，实现了对夹具的调高同时达到了对废屑进行收集的目的，结构合理，使用方便。一种 机械 加工 中心 支撑 夹具
