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[发明专利]应用于极紫外光刻光源的CO2-CN202311171796.2在审
发明人：潘其坤;郭劲;于德洋;陈飞;张冉冉;赵崇霄 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-09-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体提供一种应用于极紫外光刻光源的CO2激光功率稳定方法及装置，激光放大器在重复频率放电激励条件下，由于上能级气体分子弛豫无辐射跃迁，在一个脉冲周期内，停止放电激励后CO2激光增益将逐渐降低，所以利用与种子激光相同重复频率的激光放大器对种子激光进行放大，在不改变激光放大器放电激励功率的条件下，通过精密闭环控制相同频率种子激光注入到激光放大器内的时间延迟，可显著提高种子激光的增益提取效率，提升主振荡功率放大CO2激光器的功率稳定性。本发明在未打破激光系统热平衡的前提下，解决了现阶段脉冲体制主振荡功率放大器功率稳定性调节精度差的难题。
应用于紫外光刻光源 co base sub

[发明专利]湍流稳定的放电管-CN202211443479.7在审
发明人：张冉冉;潘其坤;赵崇霄;郭劲;陈飞;于德洋;张鲁薇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明提供一种湍流稳定的放电管，包括：折转段、进气管和放电段；所述折转段的内径为圆形，所述折转段的内径表面设置有湍流发生器，所述湍流发生器为螺旋状凸起；进气管设置在靠近折转段的初始端的侧面，进气管沿湍流发生器的螺旋方向且朝向放电段设置，进气管的设置角度与湍流发生器的螺旋角度相同；进气管设置在湍流发生器的相邻两个螺旋状凸起之间；放电段与折转段密闭连接，且放电段的外侧设置有放电电极。本发明使用了螺旋状的湍流发生器使混合气体3的湍流更充分，气体混合更均匀，进气口沿湍流发生器的绕向设置，采用非垂直入射的方式，有效降低了压力损失和温升，本发明的折转段长度短、由利于缩小激光器整机大小，且结构简单，制作成本低。
湍流稳定放电

[发明专利]混合模式的激光放大装置-CN202211259459.4在审
发明人：张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;赵崇霄;于德洋;孙俊杰 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：本发明提供一种混合模式的激光放大装置，包括：N个分频单元、合束单元和放大单元；分频单元包括：激光器、分光镜、第一反射镜、第一延时器、相位波片、第二反射镜和第一偏振合束器；合束单元包括：合束衍射光栅和隔离器；放大单元主要采用激光放大器。本发明通过对种子光进行分频、多波长合束和混合偏振态的处理，有效提升了激光在放大过程中的放大能力和提取效率，有效提升了高重频、短脉冲激光的输出功率，进而提升了LPP‑EUV光源的功率。
混合模式激光放大装置

[发明专利]基于单激光器的预主泵浦激光产生装置-CN202211259983.1在审
发明人：张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;赵崇霄;张鲁薇;张阔 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明提供一种基于单激光器的预主泵浦激光产生装置，包括：激光器、分束单元、主泵浦单元、预泵浦单元、合束单元、主放大器模块和液滴靶室模块；预泵浦单元包括第一预泵浦反射镜、脉冲波形调制模块、半波片、预泵浦激光放大器和第二预泵浦反射镜，通过分束单元对种子光进行分束，对分束后的预泵浦光进行脉冲波形调制、时间延迟和相位延迟，对主泵浦光进行预放大，再对两束光进行合束，产生用于放大和打靶的同轴的预主泵浦激光。在LPP‑EUV光源中，相比于传统的主泵浦光和预泵光独立产生和调控的方式，本发明仅需单台激光器产生种子光，具有光路相对简单、不需要复杂的消色差设计的合束镜、光束指向控制成本低、窗口镜工作寿命更长的优势。
基于激光器预主泵浦激光产生装置

[发明专利]抑制寄生振荡的激光放大装置-CN202211260107.0在审
发明人：张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;赵崇霄;张鲁薇;陈毅;张阔 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明提供一种抑制寄生振荡的激光放大装置，包括：n段非光学连续的气体通道，其内壁设置有噪声光吸收层；每段气体通道的两端设置有窗口镜，窗口镜的偏置角度与激光传输光路成布鲁斯特角；气体通道内设置有放电管，在气体通道外侧设置有放电电极，放电电极与放电管平行对应设置；相邻两段气体通道通过气体循环管道连接；隔离器设置在相邻两段气体通道之间，用于抑制噪声振荡；反射镜设置在激光传输光路上，用于改变激光的传输方向。本发明能够有效消除MOPA系统的寄生振荡，防止单台放大器自身产生的寄生振荡，有效降低了激光放大器起振可能性，并可以通过改变气体通道的数量提升寄生振荡的阈值，提高输出功率的稳定性和系统安全性。
抑制寄生振荡激光放大装置

[发明专利]激光脉冲宽度压缩装置及调控方法-CN202211262996.4在审
发明人：潘其坤;陈飞;郭劲;张冉冉;赵崇霄 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：本发明提供一种激光脉冲宽度压缩装置，种子激光器输出种子光；沿种子光的传播光路，设置有偏振分束片，其将种子光反射入激光放大器；经激光放大器射出的种子光射入相位波片；透射过相位波片的种子光射垂直入射到全反射镜上；时序控制器分别与种子激光器、激光放大器连接，用于调控激光放大器的增益，并匹配种子光与激光放大器增益的时序。本发明通过有效控制激光放大器的激光增益实现激光脉宽的压缩，降低了技术难度和成本，更有利于脉宽压缩的工程化应用。本发明提供的激光脉冲宽度压缩装置的调控方法主要通过时序控制器对种子光的前沿进行有效放大，又抑制种子光的后沿放大，实现种子脉宽的高效压缩。
激光脉冲宽度压缩装置调控方法

[实用新型]一种产生单个球马克等离子体的放电装置-CN202023242451.6有效
发明人：漆亮文;宋健;赵崇霄;赵繁涛 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：一种产生单个球马克等离子体的放电装置，属于磁约束聚变等离子体技术领域。所述的放电装置包括电容组电源、同轴等离子体枪、偏置磁场系统、延时触发系统、脉冲送气系统和真空系统。所述的同轴等离子体枪包括内电极、外电极和半球形钨铜合金块；同轴等离子体枪的外电极上切向开设脉冲送气孔，脉冲送气孔的位置处相应布置脉冲送气系统的电磁阀；内电极端部焊接半球形钨铜合金块。偏置磁场系统的螺线管嵌入同轴等离子体枪的内电极，以提供球马克形成所需要的径向磁场。本实用新型通过调控气体填充、偏置磁场及放电之间的延时获得单个球马克的技术操作简单、灵活、稳定性高，为核物理研究与实际应用中获得单个球马克等离子体提供了一种简便新途径。
一种产生单个马克等离子体放电装置

[发明专利]一种产生单个球马克等离子体的放电装置与方法-CN202011593273.3在审
发明人：漆亮文;宋健;赵崇霄;赵繁涛 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：一种产生单个球马克等离子体的放电装置与方法，属于磁约束聚变等离子体技术领域。所述的放电装置包括电容组电源、同轴等离子体枪、偏置磁场系统、延时触发系统、脉冲送气系统和真空系统。所述的同轴等离子体枪包括内电极、外电极和半球形钨铜合金块；同轴等离子体枪的外电极上切向开设脉冲送气孔，脉冲送气孔的位置处相应布置脉冲送气系统的电磁阀；内电极端部焊接半球形钨铜合金块。偏置磁场系统的螺线管嵌入同轴等离子体枪的内电极，以提供球马克形成所需要的径向磁场。本发明通过调控气体填充、偏置磁场及放电之间的延时获得单个球马克的技术操作简单、灵活、稳定性高，为核物理研究与实际应用中获得单个球马克等离子体提供了一种简便新途径。
一种产生单个马克等离子体放电装置方法

[发明专利]关于强流脉冲高速等离子体的大量程抗干扰便捷式三探针诊断装置及使用方法-CN202011096019.2在审
发明人： 赵崇霄;宋健;漆亮文;赵繁涛 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：关于强流脉冲高速等离子体的大量程抗干扰便捷式三探针诊断装置及使用方法，属于等离子体领域。该装置包括依次连接的等离子体发射器、三探针、三探针电路、示波器和数据处理器；所述的三探针电路包括：两个直流电源、不间断电源UPS、4个电容和2个电阻；UPS直接给直流电源供电以保证直流电源的稳定性。同轴枪放电等离子体具有高密度、高温度、高速度等特点。再加上强流放电具有很强电磁干扰。此三探针诊断装置可以在强流脉冲放电同轴枪环境下诊断等离子体的密度和电子温度随时间的变化。实验中设计的三探针装置可以有效的减少放电过程中放电产生的的干扰，得到了很好的实际应用效果。
关于脉冲高速等离子体量程抗干扰便捷探针诊断装置使用方法

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