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[发明专利]动态太赫兹波束偏转器和动态太赫兹波束偏转器控制方法-CN202310535475.X在审
发明人： 赵嘉昊;赵晓光;孙振词 -专利权人：清华大学
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01Q15/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种动态太赫兹波束偏转器和动态太赫兹波束偏转器控制方法。动态太赫兹波束偏转器包括：功能层、中间层、衬底层；功能层包括可动结构、超材料结构、边缘区，可动结构上设置有超材料结构；衬底层的表面为金属反射层，金属反射层的面积大于等于超材料结构的面积；超材料结构通过中间层与金属反射层之间形成间隙；其中，间隙的尺寸可变，间隙的尺寸与外部电压相关；在不同的外部电压作用的情况下，超材料结构与金属反射层之间的间隙尺寸不同，入射到功能层的太赫兹波束的反射角度不同。采用该动态太赫兹波束偏转器能够降低太赫兹波束能量的损耗。
动态赫兹波束偏转控制方法

[发明专利]一种硅基太赫兹开关-CN202310701026.8在审
发明人： 赵嘉昊;赵晓光;孙振词 -专利权人：清华大学
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01P1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅基太赫兹开关，包括硅结构、第一电极、超材料结构、绝缘层、衬底和第二电极；所述硅结构包括由外向内依次相连的固支结构、支撑梁和硅板；所述第一电极设置在所述固支结构的上表面上；所述超材料结构设置在所述硅板的下表面上；所述绝缘层覆盖在所述超材料结构上；所述衬底的上表面上设有凹槽，所述固支结构设置在所述衬底的上表面上，所述支撑梁、所述硅板、所述超材料结构及所述绝缘层悬空地位于所述凹槽的凹口处；所述第二电极设置在所述凹槽的凹底面上，所述第二电极与所述绝缘层之间具有空气间隙。本发明硅基太赫兹开关的器件吸收率、调制对比度均高，半高全宽值小，且驱动功耗低，切换速度快、控制简单。
一种硅基太赫兹开关

[发明专利]一种无线晶圆温度原位测量装置和制造方法及测温方法-CN202310563007.3在审
发明人：李玲娜;赵嘉昊 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体测试设备技术领域，且公开了一种无线晶圆温度原位测量装置，该装置包括晶圆腔体结构与检测电路；所述晶圆腔体结构由上层晶圆、中间层晶圆、下层晶圆构成，其中所述上层晶圆和下层晶圆为完整晶圆，所述中间层晶圆被刻蚀形成环状晶圆；所述上层晶圆、中间层晶圆、下层晶圆相互贴合形成的晶圆腔体为真空腔，具有绝热效果以保证检测电路正常工作；所述检测电路包括温度传感器、处理电路和电池，用于晶圆温度数据的采集、处理、存储、通讯及供电；所述温度传感器位于上层晶圆的下表面，可实现晶圆温度原位检测。本发明相比于现有的有线产品，可以实现晶圆温度的无线测量，使用方便。
一种无线温度原位测量装置制造方法测温

[发明专利]零功耗声音自唤醒系统及唤醒方法-CN202210699634.5有效
发明人： 赵嘉昊;杨登 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G06F1/3206 文献下载
摘要：本申请公开了一种零功耗声音自唤醒系统及唤醒方法，其中，系统包括：至少一个负载；电源模块，电源模块的负极与至少一个负载的一端相连；声音自唤醒模块，声音自唤醒模块的一端与电源模块的正极相连，声音自唤醒模块的另一端与至少一个负载的另一端相连，在接收到声音唤醒指令后，声音自唤醒模块由断开状态切换至闭合状态，使得电源模块为至少一个负载供电。由此，可实现各类声音的近零功耗监测，可大幅提高电子系统的能源利用率及续航时间。
功耗声音唤醒系统方法

[发明专利]声共振开关装置-CN202210701693.1有效
发明人： 赵嘉昊;杨登 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01H17/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种声共振开关装置，该声共振开关装置包括共振腔组件、悬臂梁、开关触点和下侧静电电极。共振腔组件设有共振腔和通联孔，通联孔位于共振腔组件的顶部且与共振腔连通；悬臂梁作为上侧静电电极，设置在共振腔组件的顶部处且能绕轴转动，悬臂梁包括位于轴的两侧的第一悬臂部和第二悬臂部，第一悬臂部与通联孔正对；开关触点包括上触点和两个下触点，上触点绝缘地设置在第二悬臂部上；两个下触点设置在共振腔组件的顶部上且间隔开地位于上触点的下方；下侧静电电极设置在共振腔组件的顶部上且位于第二悬臂部的下方。本发明不需要消耗电源能量也可以实时、连续监测目标频率的声音信号，极大地延长了终端声音监测设备的续航时间。
共振开关装置

[实用新型]取样组件以及清洗设备-CN202222801029.2有效
发明人： 赵嘉昊 -专利权人：乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B08B11/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种取样组件以及清洗设备，该取样组件包括支路管道、储存容器和样品容器，支路管道用于与输送管道连接，储存容器与支路管道背离输送管道的一端可拆卸连接，储存容器内具有用于容纳液体的储存容纳腔，储存容纳腔内设置有阻隔件，阻隔件上贯穿开设有第一通孔，储存容纳腔靠近其顶部的一端设置有进液口和出液口，储存容纳腔通过进液口与支路管道连通，样品容器内具有用于容纳液体的样品容纳腔，样品容纳腔与出液口连通。利用储存容器收集从支路管道内流出的液体，以及用于送检的液体直接通过储存容器上的出液口流入样品容器，该结构可避免液体溅撒在地上对车间环境造成污染。
取样组件以及清洗设备

[发明专利]基于重力梯度测量的面内式MEMS隧穿姿态敏感器-CN202110149563.7有效
发明人： 赵嘉昊;曹亚陆 -专利权人：清华大学
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01C21/16 文献下载
摘要：本发明公开了属于角度测量的惯性传感器技术领域的一种基于重力梯度测量的面内式MEMS隧穿姿态敏感器。该面内式MEMS隧穿姿态敏感器由敏感模块、斧形针尖、可动电极模块组成；其中，敏感模块由柔性梁和质量块组成；可动电极模块由连接针尖结构，驱动疏齿，反馈疏齿，四支撑梁组成；并整体置于隔离罩内；然后隔离罩固定在地面单轴转台上，地面单轴转台绕转动轴转动，形成隧穿姿态敏感器测量系统。本发明具有高精度微小位移检测功能，能在保持现有MEMS星载姿态敏感器测角精度的同时实现一体化加工，大大减小传感器的尺寸及组装难度。
基于重力梯度测量面内式 mems 姿态敏感

[实用新型]一种驱动机构及供胶装置-CN202221828851.1有效
发明人： 赵嘉昊 -专利权人：乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及光刻胶涂布技术领域，公开了一种驱动机构及供胶装置，驱动机构装置包括滚珠丝杠、第一导向杆及驱动件，滚珠丝杠包括螺杆及固定件，固定件螺纹连接于螺杆上，固定件的内径与螺杆的直径相适配，固定件的一端设置有安装盘，第一导向杆与螺杆相平行，固定件上设置有与第一导向杆连接并沿其轴向移动的安装板，安装盘与安装板通过若干个螺栓相连，驱动件与螺杆的一端连接并驱动螺杆转动。该驱动机构及供胶装置能够确保供胶压力保持平稳，控制光刻胶均匀供给。
一种驱动机构装置

[发明专利]基于双磁偶极子天线谐振耦合的无线定向方法-CN202210900517.0在审
发明人：尤政;赵晓光;孙振词;张凌云;尤睿;鲁文帅;赵嘉昊;梅子麒 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01S3/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种基于双磁偶极子天线谐振耦合的无线定向方法，应用于磁偶极子天线对，磁偶极子天线对中各磁偶极子天线之间的相位关系为基于预设配置方式配置的，且各磁偶极子天线在入射电磁波作用下产生耦合作用，首先获取各磁偶极子天线在耦合作用下的直流输出电压，然后根据各磁偶极子天线的直流输出电压，确定入射电磁波的入射方向。该方法降低了传统技术中计算电磁波的入射方向时的复杂度，以此减小了无线电测向过程中的功耗。
基于偶极子天线谐振耦合无线定向方法

[发明专利]一种静电式双稳态RF MEMS开关及其制备方法-CN202210796876.6在审
发明人： 赵嘉昊;贺如松;孙振词 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种静电式双稳态RF MEMS开关，包括：自下而上的衬底、硅锚区层、硅结构层及金属层；硅锚区层包括多个锚点，硅结构层与金属层上形成共面波导传输线、开关触点、第一驱动结构及第二驱动结构；第一驱动结构为沿y方向运动的驱动梁结构，其与部分锚点构成第一可动结构，其在静电力驱动下产生y方向的位移，从而推动开关触点与共面波导传输线接触实现开关导通；第二驱动结构为沿x方向运动的驱动梁结构，其与另一部分锚点构成第二可动结构；第二驱动结构在静电力驱动下产生x方向的位移，从而推动第二驱动结构的自锁触点与第一驱动结构的自锁触点接触或断开，实现开关双稳态状态。本公开还提供了一种静电式双稳态RF MEMS开关的制备方法。
一种静电双稳态 rf mems 开关及其制备方法

[发明专利]基于谐振式磁偶极子的能量采集天线-CN202210900519.X在审
发明人：尤政;赵晓光;孙振词;张凌云;尤睿;鲁文帅;赵嘉昊;仲晗 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H02J50/12 文献下载
摘要：本申请涉及一种基于谐振式磁偶极子的能量采集天线。该能量采集天线包括谐振单元、耦合单元和能量整合电路，谐振单元和耦合单元之间存在耦合关系且谐振单元和耦合单元共同构成双开口谐振结构，耦合单元与能量整合电路连接，谐振单元，用于在射频信号作用下产生谐振电流，且耦合单元与谐振单元发生耦合产生感应电流，能量整合电路，用于根据感应电流产生电能。该能量采集天线，通过谐振单元和耦合单元共同构成了双开口谐振结构，减小了能量采集天线所占的总体面积，从而保证了该能量采集天线适用于小体积的微型电子系统或网络节点。
基于谐振偶极子能量采集天线

[实用新型]玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱-CN202221615005.1有效
发明人： 赵嘉昊 -专利权人：乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱,包括箱体和设置在箱体外部的异物收集装置，箱体内设置有用于容纳基板的腔室，腔室的侧壁具有若干排气孔，排气孔上设置排气阀，异物收集装置包括收集装置以及排气管，排气管的一端与排气孔连接，另一端与收集装置连接，收集装置用于收集从排气管排出的异物。设置收集装置和排气管，异物伴随着气体从排气孔排出并经过排气管进入到收集装置内部，在收集装置的作用下，异物被截留在收集装置的内部，从而防止异物排放到箱体的外部而粘附在一侧的防护板上，避免异物重新进入到腔室内而影响基板的光刻质量。
玻璃基板上光刻干燥真空干燥箱

[发明专利]微机械振动开关与无人值守微系统-CN202210897903.9在审
发明人：尤政;韩盈舟;赵嘉昊 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01H35/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机械振动开关与无人值守微系统。该微机械振动开关包括基底、可动结构和保持结构，基底上设有触点，可动结构包括支架和质量块，支架设于基底上，质量块包括：本体层、导通层和磁性层，本体层与支架通过连接部相连，导通层设于本体层的朝向触点的一侧，磁性层设于本体层上，导通层具有与触点接触的闭合位置以及与触点分离开的断开位置；保持结构设于基底，保持结构能够与磁性层配合以使导通层保持在闭合位置，保持结构在通电时使导通层回到断开位置。根据本发明的微机械振动开关，不需要额外电源供电就可以保持闭合状态。
微机振动开关无人值守系统

[发明专利]基于微系统技术的声源定位设备、方法、装置及系统-CN202111581912.9在审
发明人：尤政;熊诚凇;鲁文帅;尤睿;赵嘉昊;赵晓光;阮勇 -专利权人：清华大学
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01S5/22 文献下载
摘要：本申请涉及一种基于微系统技术的声源定位设备、方法、装置及系统。所述设备包括声音微传感器，微处理器，射频收发器，微系统封装体，微系统封装体用于为声音微传感器、微处理器和射频收发器提供机械连接和电气连接，其中：声音微传感器用于检测目标声源的声音信号；微处理器用于确定声音信号的声音到达时间；在声源定位设备非声源定位计算设备的情况下，控制射频收发器向所属声源定位系统中的声源定位计算设备发送包含声音到达时间的定位消息，定位消息用于指示声源定位计算设备根据声源定位系统中的各声源定位设备的声音到达时间计算目标声源的位置坐标。本方案的声源定位设备可用于在数据传输带宽条件有限的场景下进行声源定位。
基于系统技术声源定位设备方法装置

[实用新型]一种液晶面板运输装置-CN202121673222.1有效
发明人：孙岩;赵嘉昊 -专利权人：乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： B65G15/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种液晶面板运输装置，该液晶面板运输装置包括运输带、吹扫组件和拍摄组件，运输带用于运输液晶面板，吹扫组件设在运输带的上方，吹扫组件能够朝向运输带吹气，拍摄组件设在运输带上方，拍摄组件用于拍摄液晶面板的表面。该液晶面板运输装置由于在运输液晶面板的运输带上增加的吹扫组件和拍摄组件。吹扫组件能够将异物吹向与液晶面板的运输方向相反的方向，在清洁过程中被吹走的异物不仅不会造成二次污染，还非常方便收集，确保了整个液晶面板运输装置所在空间的洁净程度。拍摄组件能够将拍摄到的图像信息发送至控制系统，实现了对液晶面板的表面状态进行实时监控，从而确保了液晶面板的表面的洁净度。
一种液晶面板运输装置

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