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- [实用新型]基于柔性衬底太赫兹石墨烯谐振器-CN201520121897.3有效
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贺训军;刘静;徐荣超;勾金雷;樊旭尧;于东旭
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哈尔滨理工大学
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2015-03-02
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2015-11-04
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H01L23/14
- 基于柔性衬底太赫兹石墨烯谐振器,它涉及太赫兹石墨烯超材料。本实用新型现有的利用刚性衬底材料制备的太赫兹超材料,由于其不能弯曲成所需要的形状致使实际应用收到极大限制的问题。它包括衬底、柔性衬底、石墨烯谐振器,衬底上依次设置有柔性衬底和石墨烯谐振器层。本实用新型将石墨烯谐振器做在聚酰亚胺上,当光刻实验结束以后,可以将聚酰亚胺连同谐振器一起从硅片上剥离,做成柔性衬底的太赫兹超材料。与传统的刚性衬底相比,具有可弯曲等优点。谐振器所选用的材料是单层石墨烯,石墨烯除了导电、导热性能非常好,电阻率极低,电子迁移速率很快等优点外,其电导率可以通过外加电压有效地控制,这样就能非常方便地控制谐振产生的频率。
- 基于柔性衬底赫兹石墨谐振器
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