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[外观设计]等离子净化消杀器-CN202230327432.9有效
发明人：方衍编;谢斌平;雷国华;张秋军;刘猛 -专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司;费勉仪器科技(南京)有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： 23-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：等离子净化消杀器。2.本外观设计产品的用途：用于净化消杀空气。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
等离子净化消杀器

[外观设计]等离子空气净化模块-CN202230327433.3有效
发明人：雷国华;谢斌平;方衍编;杨亚楠;叶汉彪 -专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司;费勉仪器科技(南京)有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： 23-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：等离子空气净化模块。2.本外观设计产品的用途：用于净化消杀空气。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
等离子空气净化模块

[实用新型]一种可用于XPS检测系统和原位反应系统的样品托-CN201920879695.3有效
发明人：赵嘉峰;高筱 -专利权人：费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： G01N23/2273 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种可用于XPS检测系统和原位反应系统的样品托，用于解决现有技术中在XPS检测系统和原位反应系统之间的样品接口不一，需要在XPS检测系统和原位反应系统之间人工传递样品操作复杂、容易污染样品的技术问题，包括：XPS检测系统样品架、转接托、压片和样品托架；所述转接托设置凹槽，可拆卸地固定于所述XPS检测系统样品架上；所述压片固定至所述转接托，所述压片设置为，当所述样品托架插入所述凹槽时，所述压片压紧所述样品托架，将所述样品托架固定在所述凹槽中。实施本实用新型的技术方案可实现在不同的XPS检测系统或者原位反应系统之间进行进行样品传递的技术效果。
一种用于 xps 检测系统原位反应样品

[实用新型]一种超高真空旋转馈入装置-CN201920869832.5有效
发明人：谢斌平;郭云飞 -专利权人：费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2019-06-11 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： F16H57/021 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超高真空旋转馈入装置，用于解决现有技术中旋转馈入装置有效通径小、承重能力差、密封圈容易损坏、密封性差的技术问题，包括：电机、电机支架、联轴器、固定架、交叉滚子轴承、蜗杆、蜗轮、上法兰和下法兰；固定架包括轴承外圈盖板、蜗杆支架和蜗杆固定件；上法兰包括内圈固定端和延长端，下法兰包括外圈固定端和密封端；实施本实用新型的技术方案，使用蜗杆和蜗轮作为主传动机构，装置结构简单；密封圈设置在下法兰内侧，避免直接承受压力，可延长密封圈的寿命；设置交叉滚子轴承，降低装置工作过程中产生的晃动，提高装置的控制精度；设置多条密封圈并设置差分抽气法兰，装置可适用超高真空腔体。
一种超高真空旋转装置

[发明专利]用于超高真空腔体的等离子体清洗抛光装置-CN201711236830.4有效
发明人：刘大猛;张晨辉;王婷;雒建斌;赵嘉峰;欧宏炜;鹿建;王艳会 -专利权人：清华大学;费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： C25F3/16 文献下载
摘要：本发明提供一种用于超高真空腔体的等离子体清洗抛光装置，其包括放电电极、储气罐和抽气泵，所述放电电极位于待清洗的超高真空腔体内，所述待清洗的超高真空腔体的底壁上嵌设电极座，所述放电电极的一端插设于所述电极座内，所述电极座与直流电源电连接，所述储气罐与所述待清洗的超高真空腔体的一端相连，所述抽气泵与所述待清洗的超高真空腔体的另一端相连。本发明能在超高真空腔体内壁无损的情况下实现清洗和抛光，节能环保。
用于超高空腔等离子体清洗抛光装置

[发明专利]不同真空度腔室间的传样互联装置-CN201711236807.5有效
发明人：刘大猛;张晨辉;王婷;雒建斌;赵嘉峰;欧宏炜;刘鹏 -专利权人：清华大学;费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： B65G51/01 文献下载
摘要：本发明提供一种不同真空度腔室间的传样互联装置，其包括压强均小于标准大气压的第一腔室和第二腔室，第一腔室内的压强小于第二腔室内的压强，第二腔室沿周向依次设有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口，第二腔室通过第一接口与第一腔室相连，第一腔室与第二腔室之间设有闸板阀，第四接口通过能泄压的快门阀与手套箱相连，第二接口密封穿设有能滑动于手套箱与第二腔室之间的第一传样杆，第三接口密封穿设有能滑动于第一腔室与第二腔室之间的第二传样杆。本发明能实现在不同真空度的腔室内进行样品的传递，保证不同真空度腔体环境，安全可靠。
不同真空度腔室间传样互联装置

[发明专利]一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置-CN201911054289.4在审
发明人：赵嘉峰;高筱;谢斌平 -专利权人：费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： G01N35/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，用于解决现有技术中样品停放装置功能单一、停放数量少、操作繁琐、停放台材料放气严重的技术问题；样品停放台、支撑杆、支撑套筒、转接法兰和驱动装置；实施本发明的技术方案，每个样品停放台可放置六个样品托，提高工作效率；通过弹片固定样品托，操作便捷；使用可调的弹片固定样品托，使装置适用不同类型的样品托；使用耐高温低蒸气压材料的弹片，减少放气；设置线性驱动器和旋转驱动器，样品托位置调节灵活。
样品托停放弹片固定停放装置线性驱动器旋转驱动器材料放气超高真空工作效率功能单一进样系统驱动装置位置调节支撑套筒转接法兰可调的耐高温蒸气压支撑杆弹片放气灵活

[发明专利]一种电馈通保护套-CN201911062935.1在审
发明人：赵嘉峰;周波;谢斌平;卞凯凯 -专利权人：费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： H01R13/533 文献下载
摘要：本发明提供了一种电馈通保护套，用于解决现有技术中电馈通容易发生短路、安全性低、容易损坏的技术问题；包括：外保护套和绝缘内保护套；其中，所述内保护套包括电馈通凹槽、电极保护延长端、隔板和热偶通孔；所述外保护套包括形状贴合所述内保护套的内保护套槽和贴合所述电极保护延长端的电极端；实施本发明的技术方案，设置外保护套和内保护套，内保护套无需直接接触电极，同时使用内保护套隔离两电极，避免两电极接触短路、提高电路安全性，并可防止电极受碰撞损坏，延长装置寿命；通过固定环、螺钉等结构连接，外保护套套嵌安装在内保护套中，安装拆卸方便，装置成本低廉。
内保护套外保护套电极电极保护短路电馈贴合隔板电路安全性拆卸方便电极接触结构连接碰撞损坏延长装置装置成本螺钉电极端固定环延长端绝缘馈通热偶通孔隔离

[发明专利]一种原位高温高压反应装置-CN201910923812.6在审
发明人：谢斌平;王冰雷;董金奎;赵嘉峰 -专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： B01J3/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种原位高温高压反应装置，用于解决现有高温高压反应腔产品中的多个缺陷和不足。比如：无法实现与超高真空腔体互联，无法实现液氮快速退火，无法实现局部加热等。该装置包括：真空腔体、反应池、加热装置、制冷装置、加压气路和馈入装置。实施本发明的技术方案，使用激光加热器配合蓝宝石透光腔体，装置可实现激光局域加热，简化反应池结构；使用高强度的蓝宝石透光腔体承压，装置可实现高压气氛；反应池腔体连接至馈入装置可移动，实现反应装置的重复利用；馈入装置与真空腔体间、反应池机械密封，密封效果较好，结构简单。
馈入装置反应池蓝宝石透光腔体真空腔体高温高压反应装置高温高压反应超高真空腔反应池腔体激光加热器反应装置高压气氛机械密封激光局域加热装置加压气路局部加热快速退火密封效果制冷装置重复利用可移动承压液氮加热互联配合

[实用新型]一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置-CN201920759426.3有效
发明人：王冰雷;董金奎;谢斌平 -专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置，用于解决现有技术中更换样品操作复杂、周期长、不适用于空气敏感型样品、测温不准确等技术问题，包括：样品托和样品台；其中，样品托包括托架、固定板、压片、热偶正极、热偶负极和热偶固定架；热偶正极和热偶负极的一端向样品方向延伸，另一端弯折形成热偶连接端；样品台包括定位槽、正极热偶插片、负极热偶插片和热偶插片固定架；定位槽设置为当样品托插入固定时，热偶连接端同时插入正极热偶插片和负极热偶插片；实施本实用新型的技术方案可实现样品的重复利用、以及提高温度检测精度、快速更换样品、降低装置成本的技术效果。
热偶插片正极负极样品托本实用新型定位槽固定架连接端样品台超高真空条件测温装置插入固定技术效果降低装置快速更换温度检测样品方向重复利用准确测量固定板测温托架弯折压片敏感延伸

[发明专利]一种报警电路及适用于真空管道系统的过阀报警系统-CN201910864549.8在审
发明人：张上洋;周波;赵嘉峰;谢斌平;欧宏炜 -专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2019-09-09 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G01D5/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种报警电路及适用于真空管道系统的过阀报警系统，用于解决现有技术中过阀报警系统结构复杂、成本高昂、难以安装在真空管道内部的技术问题；一种报警电路，包括：阀信号电路、第一光电信号电路和第二光电信号电路；一种适用于真空管道系统的过阀报警系统，包括：阀状态检测模块、激光检测模块、报警电路和报警装置；实施本发明的技术方案，设置报警电路，接收阀门状态信息和光电信号，通过逻辑电路控制报警装置，无需设置单片机或工控机，系统结构简单，降低系统成本；真空管道设置视窗，通过光电门监控小车过阀状况，无需改变真空管道结构，易于安装；激光检测装置损坏也会引起报警器报警，系统可靠性高。
报警电路报警系统真空管道光电信号电路真空管道系统报警装置激光检测装置逻辑电路控制系统可靠性报警器阀门状态光电信号激光检测检测模块降低系统系统结构信号电路单片机阀状态工控机光电门视窗小车报警监控

[发明专利]一种具有催化裂解功能的蒸发源-CN201910501672.3在审
发明人：谢斌平;阿力甫·库提鲁克;李浩 -专利权人：费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2019-06-11 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有催化裂解功能的蒸发源，用于解决现有技术中单原子镀膜技术镀膜质量差、原料利用率低、能耗高的技术问题，包括：蒸发模块和催化裂解模块；其中，蒸发模块包括坩埚、加热件和支撑桶，坩埚内盛有待蒸发原料，支撑桶支撑坩埚和加热件，支撑桶设置开口；催化裂解模块包括催化管和蒸气导流件，催化管安装在蒸气导流件上，蒸气导流件安装在支撑桶上，蒸气导流件封闭开口；实施本发明的技术方案，设置催化裂解模块制备单原子蒸气，可获得高纯度单原子蒸气，提高原料利用率；蒸发模块和催化裂解模块独立加热，催化裂解模块设置隔热层，可以提高大原子团催化裂解效率并降低装置整体能耗。
催化裂解导流件支撑桶蒸发模块单原子坩埚原料利用率催化管加热件蒸发源原子团镀膜技术封闭开口降低装置模块独立模块设置模块制备蒸发原料整体能耗高纯度隔热层质量差镀膜加热能耗开口支撑

[发明专利]一种超高真空旋转馈入装置-CN201910502321.4在审
发明人：谢斌平;郭云飞 -专利权人：费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2019-06-11 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： F16H57/021 文献下载
摘要：本发明提供了一种超高真空旋转馈入装置，用于解决现有技术中旋转馈入装置有效通径小、承重能力差、密封圈容易损坏、密封性差的技术问题，包括：电机、电机支架、联轴器、固定架、交叉滚子轴承、蜗杆、蜗轮、上法兰和下法兰；固定架包括轴承外圈盖板、蜗杆支架和蜗杆固定件；上法兰包括内圈固定端和延长端，下法兰包括外圈固定端和密封端；实施本发明的技术方案，使用蜗杆和蜗轮作为主传动机构，装置结构简单；密封圈设置在下法兰内侧，避免直接承受压力，可延长密封圈的寿命；设置交叉滚子轴承，降低装置工作过程中产生的晃动，提高装置的控制精度；设置多条密封圈并设置差分抽气法兰，装置可适用超高真空腔体。
密封圈馈入装置蜗杆交叉滚子轴承超高真空固定架上法兰下法兰蜗轮差分抽气法兰超高真空腔承受压力承重能力电机支架降低装置内圈固定提高装置蜗杆支架有效通径轴承外圈装置结构盖板固定端固定件联轴器密封端密封性延长端法兰晃动电机

[发明专利]一种机械传递臂及真空传递腔-CN201510661875.0有效
发明人：谢英英;池彬;赵嘉峰;欧宏炜 -专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2015-10-09 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： B25J18/02 文献下载
摘要：本发明提出了一种机械传递臂和真空传递腔，所述机械传递臂包括第一级驱动装置、第二级驱动装置和第三级驱动装置，根据需求还可设置第四级驱动装置以及更多；其中第一级驱动装置通过一自动开合的插销机构与第三级驱动装置连接，实现了相互嵌套的三级机械传递臂的依次伸出，最大伸长量可达850mm以上。该装置结构简洁有效，设计上注重不同超高真空实验系统的兼容性，从而简约了成本，简化了操作，增大了应用的范围。
一种机械传递真空

[实用新型]一种机械传递臂及真空传递腔-CN201520801219.1有效
发明人：谢英英;池彬;赵嘉峰;欧宏炜 -专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日： 2015-10-09 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： B25J18/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种机械传递臂和真空传递腔,机械传递臂包括第一级驱动装置、第二级驱动装置和第三级驱动装置，根据需求还可设置第四级驱动装置以及更多；其中第一级驱动装置通过一插销与第三级驱动装置连接，实现了相互嵌套的三级机械传递臂的依次伸出，最大伸长量可达850mm以上。本实用新型还提出一种真空传递腔，该真空传递腔内设置有前述的机械传递臂。该装置结构简洁有效，设计上注重不同超高真空实验系统的兼容性，从而简约了成本，简化了操作，增大了应用的范围。
一种机械传递真空

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