一种半导体装置的形成方法,包括:形成第一型掺杂层、第二型掺杂层及电性耦合于第一型掺杂层与第二型掺杂层之间的内部电性连接层。在一实施例中,使用四族元素前驱物(group IV based precursor)与氮基前驱物(nitrogen based precursor)以形成内部电性连接层。在另一实施例中,使用含碳材料作为掺杂源以形成内部电性连接层,且内部电性连接层中碳元素的掺杂浓度大于1017原子/立方厘米。在又一实施例中,内部电性连接层的形成温度小于第一型掺杂层的形成温度及第二型掺杂层的形成温度。