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[实用新型]喷墨印刷装置-CN202320035207.7有效
发明人：韩政洹;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B41J3/407 文献下载
摘要：喷墨印刷装置包括：框架；设置在框架上的工作台；设置在工作台上的喷墨头；以及设置在框架与工作台之间的测量器。
喷墨印刷装置

[发明专利]用于制造显示装置的沉积装置及使用其的沉积方法-CN202211157828.9在审
发明人：曹踊晧;朴俊河;全洪柱;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：用于制造显示装置的沉积装置包括：腔室；沉积器，布置在所述腔室的内部，并且被配置成喷射沉积物质；以及热成像摄像机模块，其中，所述热成像摄像机模块包括：热成像摄像机，被配置成测量被摄体的温度；透镜，包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，并且与所述热成像摄像机相邻布置；以及热电偶，连接到所述透镜，并且被配置成测量所述透镜的温度。
用于制造显示装置沉积装置使用方法

[实用新型]压印装置-CN202320395326.3有效
发明人：李康源;赵秀范;高东均;闵庚柱;林垠赞;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：根据实施例的一种压印装置包括：平台，支撑基底；压辊，相对于基底挤压膜；第一负荷传感器和第二负荷传感器，设置为分别与压辊的相对两端相对应；以及控制器，基于第一负荷传感器的输出和第二负荷传感器的输出监测膜的剥离状态。
压印装置

[发明专利]喷墨印刷设备-CN202310155244.6在审
发明人：韩政洹;朴锺镐;梁泰镐;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：根据实施方式的喷墨印刷设备包括：设置目标衬底的台；以及将墨排放到目标衬底上的喷墨头。喷墨头包括：储存墨的罐；设置在罐上并排放墨的喷嘴；以及设置在罐中的挡板，以及挡板包括从挡板朝向喷嘴突出的突出部分。
喷墨印刷设备

[发明专利]原子层沉积设备和使用该设备的原子层沉积方法-CN202310136594.8在审
发明人：张喆旼;许明洙;金定坤;朴民奎;郑檭 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：公开原子层沉积设备和使用该设备的原子层沉积方法。所述原子层沉积设备包括：支撑基板的基板支撑部；在基板支撑部上的工艺模块；将第一气体供应到工艺模块的第一气体管道；将第二气体供应到工艺模块的第二气体管道；以及排放供应到工艺模块的第一气体和第二气体的排放部。工艺模块包括：连接到第一气体管道的第一气体供应流路部分；在第一气体供应流路部分下面并且连接到第二气体管道的第二气体供应流路部分；以及连接到排放部的气体排放流路部分。气体排放流路部分与第一气体供应流路部分和第二气体供应流路部分间隔开，基板介于气体排放流路部分与第一气体供应流路部分和第二气体供应流路部分之间，并且第一气体和第二气体以层流穿过工艺区域。
原子沉积设备使用方法

[发明专利]发光元件测试装置-CN202310140389.9在审
发明人：林垠赞;林龙采;赵秀范;高东均;闵庚柱;李康源;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-02-08 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：根据本发明的实施例的发光元件测试装置包括：台，支承包括多个发光堆叠图案的基板；电源部，向多个发光堆叠图案提供电流；第一探头，向多个发光堆叠图案中的一部分发光堆叠图案的p型半导体层提供空穴；第二探头，向多个发光堆叠图案的n型半导体层提供电子；以及光检测部，接收从一部分发光堆叠图案发射的光。第一探头包括：第一主体部；导电弹性聚合物，布置在第一主体部的下端部处；以及导电金属膜，布置在导电弹性聚合物的一表面上。
发光元件测试装置

[发明专利]喷墨印刷装置、偶极子对准方法及显示设备制造方法-CN201980061893.1有效
发明人：郑兴铁;李炳哲;许明洙;郭珍午;李度宪 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B41J2/135 文献下载
摘要：提供了喷墨印刷装置、偶极子对准方法以及显示设备制造方法。根据实施方式的显示设备的喷墨印刷装置包括：台；印刷头单元，位于台上方；以及电场产生构件，向台和印刷头单元之间的空间提供电场。
喷墨印刷装置偶极子对准方法显示设备制造

[发明专利]喷墨装置-CN202310059464.9在审
发明人：韩政洹;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：根据实施例的喷墨装置可以包括：工作台，被安装基板；基板移动部，使所述基板沿着第一方向移动；处理部，与所述基板移动部一起沿着所述第一方向移动；以及喷墨头，位于所述工作台之上，所述处理部包括抽吸部。
喷墨装置

[发明专利]喷墨打印装置和使用该装置制造显示装置的方法-CN202310034345.8在审
发明人：韩政洹;朴钟镐;梁泰镐;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B41J3/407 文献下载
摘要：公开喷墨打印装置和使用该装置制造显示装置的方法。一种喷墨打印装置包括腔室以及多个喷墨喷嘴，所述腔室具有将所述腔室在第一方向上的长度划分为两半的假想的中心线，所述多个喷墨喷嘴联接到所述腔室并且从所述腔室接收墨，所述喷墨喷嘴沿所述第一方向布置为多列。所述喷墨喷嘴包括中心列喷嘴以及外列喷嘴，所述中心列喷嘴邻近所述腔室的所述中心线设置，所述外列喷嘴比所述中心列喷嘴远离所述中心线设置。所述腔室包括比所述外列喷嘴远离所述中心线设置的凸起部分，所述凸起部分包括在所述腔室的内表面上的凸起。
喷墨打印装置使用制造显示装置方法

[发明专利]等离子体喷嘴部以及包括其的蒸镀装置-CN202211684458.4在审
发明人：张喆旼;金定坤;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子体喷嘴部以及包括其的蒸镀装置，可以是，根据实施例的等离子体蒸镀装置包括沿着第一方向配置的多个等离子体喷嘴部和多个气体供应喷嘴部。可以是，所述等离子体喷嘴部的每一个包括：上壁和喷嘴壁，界定气体供应通道；中央壁，位于所述上壁之下，并在所述第一方向上与所述喷嘴壁的一部分相对而界定气体供应管，所述中央壁为绝缘体；等离子体电极，位于所述中央壁之下，并在第一方向上与所述喷嘴壁的一部分相对，并且连接于等离子体电源；以及侧壁，位于所述喷嘴壁的侧面，并与所述喷嘴壁一起界定气体排出管。
等离子体喷嘴以及包括装置

[发明专利]基板处理装置-CN202211363195.7在审
发明人：金定坤;张喆旼;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了一种基板处理装置。所述基板处理装置可以包括：腔室，提供执行针对基板的工艺的空间；第一喷嘴单元，布置于腔室的内部；第二喷嘴单元，布置于腔室的内部，与第一喷嘴单元相邻；远程等离子体发生器，布置于腔室的外部，将清洗气体转换为等离子体状态；公共配管，布置于腔室的外部，与远程等离子体发生器连接，从远程等离子体发生器流入等离子体状态的清洗气体；第一连接管，连接公共配管和第一喷嘴单元；第二连接管，连接公共配管和第二喷嘴单元；源气体供应管，在腔室的外部与第一连接管连接，向所述第一连接管供应源气体；以及反应气体供应管，在腔室的外部与第二连接管连接，向第二连接管供应反应气体。
处理装置

[发明专利]喷墨打印工作台、喷墨打印系统以及喷墨打印方法-CN202210713004.9在审
发明人：韩政洹;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明公开了喷墨打印工作台、喷墨打印系统以及喷墨打印方法，根据本发明的一实施例的喷墨打印工作台可以包括：基板工作台，支承基板；以及测定工作台，结合于所述基板工作台，所述测定工作台包括：支承块；测定膜，至少一部分配置在所述支承块上；辊驱动装置，使所述测定膜移动；以及垂直移动装置，使所述辊驱动装置上下移动，所述辊驱动装置包括：卷绕辊；以及支承辊，引导缠绕到所述卷绕辊的所述测定膜的移动。
喷墨打印工作台系统以及方法

[发明专利]喷墨装置和利用其的制造方法-CN202211524584.3在审
发明人：韩政洹;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B41J3/407 文献下载
摘要：本发明提供一种喷墨装置和利用其的制造方法。实施例涉及的喷墨装置可包括：工作台，安装基板；检查部，形成在所述工作台的一部分中；检查用膜，位于所述工作台的所述检查部上；喷墨头，位于所述检查部上；以及测量部，位于所述检查部的下方。
喷墨装置利用制造方法

[实用新型]喷墨装置-CN202223198953.2有效
发明人：韩政洹;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：实施例涉及的喷墨装置可包括：工作台，支承基板；检查用膜，沿着所述工作台的边缘位置位于所述工作台上；多个微型图案，沿着所述检查用膜的边缘位置设置；喷墨头，位于所述工作台上，与所述检查用膜相向；以及测量部，位于所述喷墨头的侧面。
喷墨装置

[发明专利]基板处理装置-CN202211327405.7在审
发明人：张喆旼;金定坤;朴民奎;李熙龙;郑檭;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板处理装置包括：腔室，具有能够保持真空状态的作业空间，并包括位于作业空间上的上壁；喷嘴组件，位于作业空间中，并包括多个喷嘴；以及升降模组，升降喷嘴组件。升降模组包括位于腔室的外部的框架、能够升降框架的升降机构以及贯通上壁而分别与框架以及喷嘴组件连接并在重力方向上延伸的轴。
处理装置

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