专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于单晶硅棒样片的抛光装置-CN202320132307.1有效
  • 詹景涛;韩存根;张树峰 - 内蒙古中环晶体材料有限公司
  • 2023-01-17 - 2023-08-25 - B24B29/02
  • 本实用新型属于半导体技术领域,涉及一种用于单晶硅棒样片的抛光装置,包括底盘、夹持组件、抛光组件和第一直线单元,所述底盘通过所述第一直线单元与所述夹持组件连接且所述抛光组件连接,所述第一直线单元可驱动所述夹持组件夹持硅片沿其长度方向位移,所述抛光组件可对所述硅片进行抛光。本实用新型的有益效果是,抛光组件和夹持组件均通过直线单元与底盘连接,使得设备运行过程更加稳定且安全;设置第一支架,能够沿直线带动硅片与抛光轮接触,进行双面抛光,精度更高,整体提升了抛光质量;设置相互垂直的第一直线单元和第二直线单元,将滚珠丝杠的旋转运动转化成直线运动,效率更高,可快速带动硅片与抛光轮接触并进行抛光作业。
  • 一种用于单晶硅样片抛光装置

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