专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种直拉硅单晶生长的热场结构-CN200820028427.2有效
  • 李振国;李定武 - 西安隆基硅材料有限公司;西安矽美单晶硅有限公司;西安隆基硅技术有限公司
  • 2008-03-03 - 2008-12-10 - C30B15/00
  • 本实用新型公开了一种直拉硅单晶生长的热场结构,包括炉体、炉体内设置的石英坩埚和加热器,炉体侧壁下部设置有通孔,该通孔与抽气管道连通,抽气管道与机械泵相连接,炉体的顶部与氩气输送装置相连通,炉体的底部设置有炉底盘,炉底盘的上面自下而上依次安装有下保温罩、主保温罩和副保温罩,保温罩外侧均包裹有保温材料,保温材料与炉体的内侧壁之间留有空隙,副保温罩的侧壁设置有排气孔,该排气孔将热场内部和保温材料与炉体的内侧壁之间的空隙连通。避免了“掉渣”现象的发生,提高成品率,并可防止大量挥发物进入抽气管道和机械泵,减轻对机械泵的磨损,延长使用寿命,节约清洗抽气管道和机械泵的时间,提高生产效率。
  • 一种直拉硅单晶生长结构

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