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[发明专利]一种多气路吸附装置-CN202210844473.4有效
发明人：杜江;江旭初;袁嘉欣;董亚聪 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种多气路吸附装置，装置包括：框架基座、旋转支座、吸盘、驱动组件和用于吸附的气路通道。本发明通过旋转支座带动吸盘相对框架基座旋转运动的连接结构设计、旋转支座的“T”形结构设计及旋转支座与框架基座的连接设计，使装置能够实现高速平稳运动；同时通过驱动结构与框架基座、旋转支座的连接设计精简轴承，使装置结构紧凑，尺寸缩小；另外利用在旋转支座和吸盘上设计备用连接孔、加工孔，使装置可以适应多种规格吸盘的多气路应用；最后，配合连接槽和气路位置设计，实现了多气路装置的自由旋转运动。
一种多气路吸附装置

[外观设计]运动台-CN202230222160.6有效
发明人：吴火亮;江旭初;董亚聪 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：运动台。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于精密定位平台。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
运动

[发明专利]在绕线圈的电感测量系统、方法及线圈绕制方法-CN202210131646.8有效
发明人：马甲帅;杨庆华;董亚聪;梁德志;胡灿然;王坤 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01F41/079 文献下载
摘要：本申请公开了一种在绕线圈的电感测量系统、方法及线圈绕制方法。该系统包括：导电液体，盛放于绝缘材料的容器中；夹具，用于将预设长度的漆包线浸没在导电液体内，其中，夹具的材料为绝缘材料，预设长度的漆包线为在绕线圈和线轴之间的一段漆包线，预设长度的漆包线呈直线，预设长度的漆包线和导电液体形成目标电容，目标电容和在绕线圈构成测试回路；阻抗测量设备，阻抗测量设备的一端与在绕线圈的起始端连接，阻抗测量设备的另一端电连接至导电液体，用于测量测试回路的阻抗参数。通过本申请，解决了现有技术中在绕制目标电感值的线圈的过程中，需要多次剪断漆包线或刺破漆包线，耗费人力物力，且得到的线圈精度不高的问题。
线圈电感测量系统方法

[实用新型]一种双层气浮运动装置-CN202122693950.5有效
发明人：吴火亮;江旭初;董亚聪;陈啸虎 -专利权人：苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体芯片制造技术领域，具体公开了一种双层气浮运动装置。该装置包括基座、第一运动台和第二运动台，基座的顶端设有在基座的高度方向间隔设置的第一气浮轨道和第二气浮轨道，第一气浮轨道高于第二气浮轨道，第一气浮轨道与第二气浮轨道的长度方向均为第一方向，第一方向垂直于基座的高度方向；第一运动台包括第一支撑架和第一气浮组件，第一支撑架与第一气浮组件相连，第一气浮组件与第一气浮轨道之间形成气浮；第二运动台包括第二支撑架和第二气浮组件，第二支撑架与第二气浮组件相连，第二气浮组件与第二气浮轨道之间形成气浮。上述结构改进将两个运动台整合到同一装置，且通过选用气浮组件的方式提高了装置动作的精度。
一种双层运动装置

[发明专利]一种晶圆对准装置及其对准方法-CN202111304461.4在审
发明人：吴火亮;江旭初;董亚聪;陈椿元 -专利权人：苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及半导体芯片加工制造技术领域，公开一种晶圆对准装置及其对准方法。其中晶圆对准装置包括基座组件、下运动系统和上运动系统，其中下运动系统，包括下移动基座、设置于下移动基座上的下精动台和用于驱动下移动基座在基座组件上沿Y方向移动的下气浮模块，下精动台能相对于下移动基座移动，下精动台用于放置下晶圆；上运动系统包括上移动基座、设置于上移动基座上的上精动台和用于驱动上移动基座在基座组件上沿Y方向移动的上气浮模块，上精动台能相对于上移动基座移动，上精动台用于放置上晶圆。本发明通过下精动台实现下晶圆相对于下移动基座的移动，减少了驱动重量，具有对位精度高、结构简单、扁平化、驱动质量小等优点。
一种对准装置及其方法

[发明专利]传感器检测电路以及传感器检测方法-CN202111264531.8在审
发明人：马甲帅;杨庆华;董亚聪;王坤 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01B7/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种传感器检测电路以及传感器检测方法。该传感器检测电路包括：依次连接的脉冲信号发生模块、线圈模块、信号传输模块和处理模块；脉冲信号发生模块包括脉冲发生电路和脉冲放大电路；线圈模块包括激励线圈和谐振回路；谐振回路包括传感线圈、谐振电容和采样电阻；信号传输模块包括依次连接的信号放大电路、第一滤波电路、整流电路和包络线提取电路；处理模块用于获取信号传输模块输出的信号数据，并根据获取到的信号数据计算传感线圈的电感值。通过本申请，解决了相关技术中采用振荡衰减式的电涡流传感器测距时，由于涡流信号衰减速度较快，难以准确获取传感线圈的电感值，导致测距结果准确性低的问题。
传感器检测电路以及方法

[实用新型]微动台和运动装置-CN202121617919.7有效
发明人： 董亚聪;袁嘉欣;江旭初;唐艳文 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微动台和运动装置。微动台包括：载台装置、微动底座、柔性连接件和多个磁浮重力补偿装置，载台装置包括：载台、旋转底座和旋转驱动装置，旋转底座位于载台下方。载台装置相对于微动底座垂向可滑动地连接至微动底座；柔性连接件包括弹性片，弹性片水平延伸，且弹性片的一端连接至旋转底座，弹性片的另一端连接至微动底座；各磁浮重力补偿装置设置于旋转底座下方，磁浮重力补偿装置构造成能够对载台装置进行垂直方向力的补偿，且磁浮重力补偿装置还构造成能够驱动载台装置垂直移动。磁浮重力补偿装置既可以对载台装置进行垂向方向力补偿，又可以驱动载台装置垂直移动，因此一个驱动装置可以实现两个目的。
微动运动装置

[实用新型]一种硅片交接吸附装置-CN202121427145.1有效
发明人：吴火亮;江旭初;董亚聪;徐腾肖;唐海明;李仲禹 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体制造设备领域，公开了一种硅片交接吸附装置，其包括吸盘和底座，吸盘端面上设置有吸附孔，吸盘还包括设在内部的第一管道机构和若干个交接机构，第一管道机构包括互不连通的第一交接管道组件和第一吸附管道组件，第一交接管道组件与交接机构连通，第一吸附管道组件与吸附孔连通；底座设置在吸盘远离吸附孔的一侧，底座内部设有第二管道机构，第二管道机构包括互不连通的第二交接管道和第二吸附管道，第二交接管道一端与第一交接管道组件连通，另一端与供气源连接，第二吸附管道一端与第一吸附管道组件连通，另一端与供气源连接，根据交接机构内所通气体的气压不同，硅片支撑杆能够相对吸盘端面做上下移动。
一种硅片交接吸附装置

[实用新型]一种气浮垂向运动装置-CN202120507243.X有效
发明人：陈啸虎;江旭初;吴火亮;袁嘉欣;唐艳文;董亚聪 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B25H3/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气浮垂向运动装置，包括托盘、电机、气浮轴以及套设于气浮轴的气浮套，气浮轴连接于托盘，气浮轴与气浮套形成气浮导轨，电机设置于气浮轴内，电机的输出端连接于气浮轴，电机驱动气浮轴带动托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。气浮轴的外壁与气浮套的内壁之间的间隙配合形成一层稳定的气膜，从而形成了气浮导轨，气浮导轨对气浮轴垂向运动起到导向作用。本实用新型的电机设置在气浮轴内，结构紧凑，减小了整个装置的结构，减小了装置占用空间的大小。再将电机的输出端连接于气浮轴，通过电机驱动气浮轴使气浮轴和托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。
一种气浮垂运动装置

[实用新型]一种运动装置及工作平台-CN202120737306.0有效
发明人：陈啸虎;江旭初;吴火亮;袁嘉欣;唐艳文;董亚聪 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;唐人制造（嘉善）有限公司
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种运动装置及工作平台，涉及集成电路制造技术领域。该运动装置包括座体、垂向运动机构和旋转运动机构，垂向运动机构设置于座体内，且能够沿座体的高度方向上下运动；旋转运动机构设置于垂向运动机构内，旋转运动机构能够相对垂向运动机构旋转，且能够在垂向运动机构的带动下沿座体的高度方向上下运动。本实用新型提供的运动装置，将垂向运动机构设置于座体内，并沿座体的高度方向上下运动，垂向运动机构的垂向行程可根据需求设置，满足了垂向运动的长行程需求。将旋转运动机构设置于垂向运动机构内，使得旋转运动机构不占用运动装置的垂向空间，满足运动装置的扁平化设计。
一种运动装置工作平台

[发明专利]吸附机构及吸附系统-CN202110708390.8在审
发明人：吴火亮;江旭初;徐腾肖;董亚聪 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种吸附机构及吸附系统。本发明中，吸附机构包括：吸盘，吸盘内开设有第一气道和第二气道，且吸盘的底部开设有与第一气道相通的进气孔；吸盘内还设有与第二气道相通且贯穿吸盘的顶部的走气通道；交接装置，交接装置设置在吸盘中；交接装置具有支撑杆，且支撑杆用于在第一气道内通入气体时被气体顶出吸盘的顶部；以及；单向控制阀，设置在吸盘内，连接第一气道和第二气道；其中单向控制阀用于在第一气道内通入气体时关闭，还用于在抽出第一气道内气体时打开。与现有技术相比，使得吸附机构结构简单轻巧、整体尺寸小、且在转动中无线缆干扰，可实现大角度旋转。
吸附机构系统

[发明专利]一种气浮垂向运动装置-CN202110262175.X在审
发明人：陈啸虎;江旭初;吴火亮;袁嘉欣;唐艳文;董亚聪 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： B25H3/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种气浮垂向运动装置，包括托盘、电机、气浮轴以及套设于气浮轴的气浮套，气浮轴连接于托盘，气浮轴与气浮套形成气浮导轨，电机设置于气浮轴内，电机的输出端连接于气浮轴，电机驱动气浮轴带动托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。气浮轴的外壁与气浮套的内壁之间的间隙配合形成一层稳定的气膜，从而形成了气浮导轨，气浮导轨对气浮轴垂向运动起到导向作用。本发明的电机设置在气浮轴内，结构紧凑，减小了整个装置的结构，减小了装置占用空间的大小。再将电机的输出端连接于气浮轴，通过电机驱动气浮轴使气浮轴和托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。
一种气浮垂运动装置

[发明专利]模拟微重力环境中金属液滴3D打印的物理系统及模拟方法-CN201810378200.9有效
发明人：罗俊;董亚聪;齐乐华;黄杰光;张康 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： B22F3/115 文献下载
摘要：本发明涉及一种模拟微重力环境中金属液滴3D打印的物理系统及打印方法，静电场产生电极正极施加静电场产生电压，两个电极之间形成一静电场；金属液喷嘴位于静电场产生电极正极一侧，三维沉积平台于静电场区域末端；金属微滴通过充电电极后初入静电场区域时运动方向呈现水平状态，在地面环境下通过小邦德数金属液滴的喷射、加速飞行(Fr数的匹配)与沉积、反重力静电场加载以实现不同微重力条件下的微滴喷射、飞行、沉积成形过程微重力条件按物理模拟，为微重力环境下金属液滴3D打印技术前期技术开发和后期成形工艺地面验证提供有效手段。
模拟重力环境金属打印物理系统方法

[实用新型]一种散养鸡舍鸡粪清理及粪毛分离一体机-CN201520306844.9有效
发明人：李卫;段云宏;董亚聪 -专利权人：西北农林科技大学
申请日： 2015-05-06 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： A01K1/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种散养鸡舍鸡粪清理及粪毛分离一体机，包括机架、动力传输机构、铲粪机构、提升装置、粪毛分离机构、集粪箱、集毛箱，所述铲粪机构包括铲斗、绞龙、拨粪总成、前刮板、后刮板，铲斗固定在机架上，所述拨粪总成包括拨粪轮轴、拨粪轮组成，所述前刮板通过螺母固定在铲斗上，其倾斜角度可以调整。所述粪毛分离机构包括曲柄轴、连杆、销钉、振动筛、振动筛轴，所述曲柄轴与皮带轮通过皮带与发动机皮带轮连接，所述振动筛空套在振动筛轴上，振动筛轴固定在机架上。本散养鸡舍鸡粪清理及粪毛分离一体机的结构简单、设计合理，能同时满足对散养鸡舍鸡粪的清理和粪毛分离的操作，为后续对鸡粪的加工处理提供便利。
一种散养鸡舍清理分离一体机

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