“茂木弘典”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果7个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]数据收集系统、数据收集装置、数据收集方法以及数据收集程序-CN202280017209.1在审
发明人：守屋刚;茂木弘典;鱼山和哉;松泽贵仁;片冈勇树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：在基板处理中的处理条件的探索中，收集适当的数据。一种数据收集系统，具有：具有第1处理空间的第1基板处理装置、具有第2处理空间的第2基板处理装置、和与所述第1基板处理装置及第2基板处理装置连接的数据收集装置，具有：修正量计算部，比较通过在相同的处理条件下在所述第1处理空间和第2处理空间中分别处理相同或类似形状的基板而观测到的观测数据，计算出对通过在所述第2处理空间中进行处理而观测到的观测数据进行修正的修正量；和收集部，在通过在所述第2处理空间中改变处理条件来处理基板从而探索处理条件时，基于所述修正量来对通过在所述第2处理空间中进行处理而观测到的观测数据进行修正，并收集修正后的观测数据。
数据收集系统装置方法以及程序

[发明专利]参数导出装置、参数导出方法和参数导出程序-CN202180086058.0在审
发明人：加藤隆彦;茂木弘典 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供一种参数导出装置、参数导出方法和参数导出程序，其使用形状模拟器，导出模拟参数的全局性最佳解。参数导出装置包括：生成部，用于生成表示在相同处理条件下处理的基板的处理前形状的数据和表示处理后形状的数据的多个组合，在所述多个组合中，表示处理前或处理后的任意一者的形状的数据不同于其他组合的表示处理前或处理后的形状的数据；以及导出部，用于导出使表示所预测的处理后的形状的数据与表示对应的处理后的形状的数据的各差分值的总和最小的、形状模拟器的模拟参数的值，所述所预测的处理后的形状是通过将所述多个组合中包含的表示各自处理前的形状的数据输入到所述形状模拟器中来预测的。
参数导出装置方法程序

[发明专利]管理装置、预测方法和预测程序-CN202180086072.0在审
发明人：守屋刚;茂木弘典;片冈勇树;鱼山和哉;松泽贵仁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种预测控制对象中处理值的变化并利用预测结果的结构。本发明的管理装置，包括：预测模型部，学习了控制对象中的时刻T时的多变量控制值与所述控制对象中的时刻T+ΔT时的多变量处理值的输入输出关系；以及优化模型部，探索将由所述预测模型部输出的时刻T+ΔT时的多变量处理值与对应的目标值之间的各差值最小化的时刻T时的多变量控制值，并利用所探索出的该多变量控制值对所述控制对象进行控制，其中，在存在来自管理所述预测模型部的代理部的请求时，所述预测模型部对以指定的控制值对所述控制对象进行控制的情况下的所述控制对象中的时刻ΔT后的多变量处理值进行预测，并输出至所述代理部。
管理装置预测方法程序

[发明专利]模型管理系统、模型管理方法和模型管理程序-CN202180073627.8在审
发明人：片冈勇树;茂木弘典 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本公开提供一种模型管理系统、模型管理方法和模型管理程序，用于对应用于基板制造工艺的模型高效地进行管理。该模型管理系统将应用于基板制造工艺的模型分为三层以上的层级进行管理，包括：第一管理单元，用于在规定的层级对模型进行管理；以及一个以上的第二管理单元，用于在所述规定的层级的下一层层级对模型进行管理，其中，所述第一管理单元具有：计算单元，用于在所述第二管理单元所管理的模型的模型参数被更新了的情况下，基于更新了的各模型参数，计算新的模型参数；和控制单元，用于以对由属于所述第一管理单元的最下层的多个管理单元分别管理的模型，设定所述新的模型参数的方式进行控制。
模型管理系统方法管理程序

[发明专利]学习装置、推断装置及学习完成模型-CN201980057338.1在审
发明人：中乡孝祐;本木大资;渡部正树;小松智希;茂木弘典;本田昌伸;加藤隆彦;新关智彦 -专利权人：首选网络株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于提高制造工艺的仿真精度的学习装置。该学习装置包括：取得部，取得对象物的图像数据和关于针对所述对象物的处理的数据；以及学习部，向学习模型输入所述对象物的图像数据和关于所述处理的数据，并且以使所述学习模型的输出接近所述处理后的所述对象物的图像数据的方式，使所述学习模型进行学习。
学习装置推断完成模型

[发明专利]数据处理装置、数据处理方法和程序-CN202010586197.7在审
发明人： 茂木弘典;加藤隆彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供数据处理装置、数据处理方法和程序，提高制造工艺的模拟的精度。具有：第1储存部，其储存有以根据针对与制造工艺的规定的步骤建立了对应的多个数据组分别计算出的在该规定的步骤中的效果，对该多个数据组各自在特征空间中的分布进行分类的方式，对该特征空间进行了分割的情况下的确定各区域的解析结果；第2储存部，其将通过被输入被分类于所述特征空间的各区域的数据组而输出与各区域对应的各个效果的多个模型，与各区域建立了对应并储存；以及执行部，其在新取得与所述规定的步骤建立了对应的数据组并基于所述解析结果而判定出该取得的数据组被分类的1个区域的情况下，使用与该1个区域建立了对应地储存的模型进行模拟处理。
数据处理装置方法程序

[发明专利]信息处理装置、程序、工艺处理执行装置及信息处理系统-CN201980011654.5在审
发明人： 茂木弘典;加藤隆彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： G16Z99/00 文献下载
摘要：一种信息处理装置，包括：记录单元，记录用于对被处理体的变化进行再现的模型数据，模型数据是根据被处理体的开始状态数据与在预定处理条件下对被处理体执行工艺处理后的被处理体的结束状态数据之间的差分数据，作为工艺处理的效果构建而成；输入接受单元，接受被处理体的开始状态数据及作为目标的被处理体的结束状态数据的输入；预测单元，使用记录在记录单元中的模型数据及多个模型数据的组合，对输入接受单元接受的被处理体的开始状态数据的被处理体的结束状态数据进行预测；以及确定单元，基于预测的被处理体的结束状态数据与接受的作为目标的被处理体的结束状态数据之间的接近度，确定对被处理体执行的工艺处理的预定处理条件。
信息处理装置程序工艺处理执行系统

1
共 7 条