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[发明专利]利用Bow与TTV差值于再生晶圆制作超平坦芯片的方法-CN202310804676.5在审
发明人： 苏晓平;单希基;涂婳 -专利权人：浙江厚积科技有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明提供的利用Bow与TTV差值于再生晶圆制作超平坦芯片的方法，所述再生晶圆具有相对设置的第一表面与第二表面，包括以下步骤：选取再生晶圆，量测再生晶圆的Bow值与TTV值；根据量测的Bow值与TTV值，计算出再生晶圆TTV与Bow的差值；对再生晶圆的第一表面涂抹粘性介质后，依靠粘性介质将第一表面固定在平坦基板上；利用研磨设备对平坦基板上的再生晶圆的第二表面进行研磨，研磨的去除量为TTV与Bow的差值，得到参考面；对获得的参考面进行抛光，去除研磨时产生的研磨痕；将抛光后的参考面固定在平坦基板上，利用研磨设备对第二表面进行抛光，抛光的移除量在3‑8um，获得超平坦芯片。本发明可在低移除量的前提下获得较好的TTV，且制程简单，便于进行生产。
利用 bow ttv 差值再生制作平坦芯片方法

[实用新型]一种管道外表面处理装置-CN202320406658.7有效
发明人：燕小丹;宋拥军;魏少颖;许春艳;苏晓平;李英成 -专利权人：中科智汇中小企业服务中心（山东）有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管道外表面处理装置，涉及电力工程施工技术领域，包括安装底板，安装底板的顶部安装有支撑机构，两组支撑机构内腔设置有贯穿支撑机构的管道本体，安装底板顶部的右侧位置固定安装有第一气缸，且第一气缸设置在支撑机构的右侧位置，第一气缸顶部输出端固定安装有套设在管道本体右壁的驱动机构，安装底板顶部的右侧位置固定安装有安装架。该电力工程施工过程中管道外表面处理装置通过将管道本体放置在支撑机构内，然后启动第一气缸收缩带动连接皮带分别与管道本体和安装轮紧密贴合，启动电机在摩擦力的作用下使得连接皮带带动管道本体转动，启动喷漆嘴对管道本体进行均匀喷漆处理，降低工作人员劳动强度。
一种管道外表处理装置

[发明专利]一种光电结合的CMP用研磨垫及其制作方法-CN202310813089.2在审
发明人： 苏晓平;单希基;涂婳 -专利权人：浙江厚积科技有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B24B37/20 文献下载
摘要：本发明提供的一种光电结合的CMP用研磨垫，包括：一基垫，所述基垫上设置有呈十字形分布的多条第一容置区域与第二容置区域，所述第一容置区域与第二容置区域将基垫的一个端面分割成棋盘状分布的多个研磨部，所述第一容置区域用以设置发光灯条，所述第二容置区域用以设置或者露出金属件，所述金属件与发光灯条之间不发生干涉。本发明利用光电场效应，提高研磨效率，并且通过合理的棋盘状的结构，分配金属件的露出面积与研磨面积，避免二氧化硅的沉积，保证SiC的抛除，提高抛光效率。
一种光电结合 cmp 研磨及其制作方法

[发明专利]利用再生晶圆的翘曲度来制作超平坦芯片的系统-CN202310810710.X在审
发明人： 苏晓平;单希基;涂婳 -专利权人：浙江厚积科技有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明提供的利用再生晶圆的翘曲度来制作超平坦芯片的系统，所述再生晶圆具有相对设置的一第一表面与一第二表面，其特征在于，所述系统包括：低损研磨单元，包含一研磨垫与一研磨头，所述再生晶圆在经过低损研磨之后会在第二表面上形成向第二表面方向凹陷的蝶形翘曲；低损抛光单元，包含一抛光头与一抛光垫，所述抛光头用以带动再生晶圆的具有均匀粗糙度第一表面与抛光垫进行摆动的旋转接触，并对第一表面进行抛光去除损伤；自动减薄单元，包括减薄研磨机组与基板，所述减薄研磨机组用以对固定在基板上的再生晶圆的第一表面进行减薄研磨，去除第二表面上的蝶形翘曲。本发明制程简单可控，可实现超平坦芯片的成型。
利用再生曲度制作平坦芯片系统

[发明专利]一种光电结合的化学机械抛光设备及其方法-CN202310063494.7在审
发明人： 苏晓平;单希基 -专利权人：浙江厚积科技有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明提供的一种光电结合的化学机械抛光设备与相应的方法，用以对硅片进行研磨，包括：一用以吸附硅片的真空吸盘，所述真空吸盘可带动硅片发生转动运动；一用以提供电压与电流的电源，所述电源接入真空吸盘并作用于硅片；一用以承载研磨垫的基座，所述基座可带动研磨垫发生转动运动；一用以对硅片进行研磨的研磨垫，所述研磨垫具有：一用于与硅片转动接触的研磨垫体，一个端面上具有两条呈螺旋线状分部且相互之间不发生交接的容置槽体，并在两个容置槽体之间形成与硅片接触的研磨部；一发光灯体，铺设在其中一个容置槽体内；一与电源电性连接的导电体，铺设在另一个容置槽体内。本发明通过电厂与光感效应结合于现有的CMP制程中，提高加工效率。
一种光电结合化学机械抛光设备及其方法

[发明专利]一种IGBT用硅晶片的制备方法-CN202211722423.5在审
发明人： 苏晓平;单希基 -专利权人：浙江厚积科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/225 文献下载
摘要：本发明提供的一种IGBT用硅晶片的制备方法，通过依次进行的制备CZ硅片步骤、制备扩散片步骤、制备堆叠扩散片组步骤、单边扩散处理步骤、NTD处理步骤、表面处理步骤，由此对CZ方式获得的硅片进行磷杂质扩散与中子嬗变处理之后，可以获得复合IGBT使用需求的硅晶片。本发明提供了一种可实现大批量的质量稳定可控的适用于IGBT的硅晶片的制备方法，为高品质的硅晶片的生产提供新的方向与可能。
一种 igbt 晶片制备方法

[发明专利]一种硅晶片的抛光系统及其方法-CN202211723483.9在审
发明人： 苏晓平;单希基 -专利权人：浙江厚积科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明提供的一种硅晶片的抛光系统与相应的抛光方法，包括：一用以吸附硅晶片的真空吸具，所述真空吸具可进行抽气或者喷气并在其内部形成负气压或者正气压；一贴合设置在真空吸具内的具有弹性的隔离层，所述隔离层上设置有供空气通过的气孔；一环绕设置在隔离层外侧的防护环，所述防护环与真空吸具相连接；所述硅晶片可被真空吸具吸附在隔离层上，且此时硅晶片被限制在防护环内侧。本发明可以对边缘翘曲的较薄的硅晶片进行安全有效的吸附，同时方便硅晶片在研磨完成之后的分离，具有更高的加工效率同时提高了硅晶片的质量，避免白边瑕疵、破片等不良情况的发生。
一种晶片抛光系统及其方法

[发明专利]一种用于具有光滑表面的圆片的非真空夹持装置-CN202211722522.3在审
发明人： 苏晓平;单希基 -专利权人：浙江厚积科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供的一种用于具有光滑表面的圆片的非真空夹持装置，用以将圆片与支撑圆片的载体进行分离并夹持，所述非真空夹持装置包括：一直线模组，用以支撑和引导夹持部件并使其按给定的方向做出往复运动；夹持部件，具有：一用以容纳圆片的支持盘体；数个均匀分布在支持盘体的下端的夹持器，所述夹持器受驱动器控制在支持盘体上发生开合运动并可对圆片进行托持；其中，所述夹持器上具有供空气流通的通气口，所述通气口朝向圆片与载体之间并通过空气喷出破除圆片与载体之间的黏连，继而驱动器带动夹持器运动至圆片下方进行托持。本发明适用于湿式传输,可直接传输硅晶片/晶圆,节省时间及成本，且可避免破片情况发生，保证硅晶片/晶圆质量完好。
一种用于具有光滑表面真空夹持装置

[实用新型]一种具有限位固定功能的减震型分波器-CN202222606563.8有效
发明人：俞霖;尹时杰;苏晓平 -专利权人：常州宏富电子科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G02B6/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有限位固定功能的减震型分波器，包括防护盒，防护盒内两侧连接有固定机构，防护盒内两侧连接有减震机构，减震机构与固定机构一侧连接有分波器，防护盒一侧开设有多个安装孔，防护盒靠近安装孔一侧安装有限位机构，本实用新型通过上述各个机构的相互配合，在防护盒内设置的固定机构不仅可以对分波器进行固定降低晃动，还可以便于后续工作人员对分波器进行拆卸维护，同时在防护盒设置的限位机构不仅可以对分波器的连接线进行限位固定，还可以对分波器的连接线的连接处进行防护，降低分波器连接的损伤，提高使用寿命，在防护盒设置的减震机构可以对分波器更好的进行防护，降低分波器的晃动。
一种具有限位固定功能减震型分波器

[实用新型]一种带有接头保护功能的功分器-CN202222060012.6有效
发明人：俞霖;尹时杰;苏晓平 -专利权人：常州宏富电子科技有限公司
申请日： 2022-08-06 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H01P5/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有接头保护功能的功分器，涉及功分器技术领域，包括功分器本体以及多个安装在功分器本体上的接头，功分器本体对应每个接头的外壁位置上均设置有接头套座，接头套座内部呈对称分布开设有内滑槽，内滑槽内部滑动安装有拉伸板，拉伸板末端安装有多个拉伸弹簧，每个拉伸弹簧末端均安装有内滑槽的内壁位置上，两个拉伸板相互靠近的一侧位置上以胶水粘黏的方式安装有橡胶套。本实用新型在使用的过程中，主要是对功分器上的接头起到了保护的作用，在不改变接头与传输线之间连接方式的前提下，改变了传输线接在接头上的着力点，在发生意外问题时，产生的意外效果（松脱）不会直接作用在接头位置上。
一种带有接头保护功能功分器

[实用新型]一种防撞击的可拆式分配器-CN202222841516.1有效
发明人：俞霖;尹时杰;苏晓平 -专利权人：常州宏富电子科技有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： B65D59/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种防撞击的可拆式分配器，包括防撞保护壳、分配器本体、转动板、活动杆、防滑橡胶垫、活动推板、复位弹簧、滑动槽以及滑动块，滑动块固定在分配器本体下端面四个角，滑动槽开设在防撞保护壳内部，防撞保护壳内部安装有活动杆，活动杆上端面固定有转动板，转动板下端面左右两侧固定有防滑橡胶垫，防撞保护壳内部下端面固定有复位弹簧，复位弹簧上端面固定有活动推板，该设计具备防撞功能，保护分配器不受撞击损坏，且能够对分配器进行快速拆卸，便于工作人员维修。
一种撞击可拆式分配器

[实用新型]一种具有减震功能的分配器防护外壳-CN202222497308.4有效
发明人：俞霖;尹时杰;苏晓平 -专利权人：常州宏富电子科技有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： H05K5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有减震功能的分配器防护外壳，涉及分配器技术领域，包括支撑架，支撑架的横截面呈正三角形，且支撑架上呈对称分布分割出两个分装板，两个分装板上端位置与支撑架之间转动连接，且两个分装板外壁中心点位置固定安装有螺纹定位块，螺纹定位块上螺纹连接有螺纹顶杆，螺纹顶杆末端位置上设置有橡胶块，支撑架三角位置的内壁位置上安装有橡胶卡条，支撑架两端呈开口状，且支撑架两端均焊接有防护架。以橡胶材料为主体作为其中的保护结构，在对分配器进行固定的同时，即可以解决整体结构跌落时造成的问题，也不会干涉到分配器正常散热的作用。
一种具有减震功能分配器防护外壳

[实用新型]一种具有稳定吸附功能的分波器-CN202222669380.0有效
发明人：俞霖;尹时杰;苏晓平 -专利权人：常州宏富电子科技有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： H01P1/213 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具有稳定吸附功能的分波器，包括硅胶吸盘、支撑片、支撑筒、外螺纹杆、连接竖杆、定位压板、海绵片以及活塞块，承托台板下端面左右两侧对称焊接有支撑筒，支撑筒内部设置有外螺纹杆，支撑筒内部下侧设置有活塞块，支撑筒底部焊连有支撑片，支撑片下端面安装有硅胶吸盘，承托台板上端面左右两侧对称焊接有连接竖杆，分波器主体上端面贴合有海绵片，海绵片上端面安装有定位压板，该设计解决了原有分波器用固定结构稳固性欠佳的问题，本实用新型结构合理，吸附稳固性好，并且便于对分波器进行安装固定，实用性好。
一种具有稳定吸附功能分波器

[实用新型]一种功分器用贴签设备-CN202222245631.2有效
发明人：俞霖;尹时杰;苏晓平 -专利权人：常州宏富电子科技有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： B65C9/06 文献下载
摘要：本实用新型属于功分器贴签设备技术领域，用于解决贴签设备在贴签时不能对功分器进行限位导致功分器上标签粘贴不规范的问题，具体是一种功分器用贴签设备，包括标签机本体，标签机本体的下方设置有两组传动轮，两组传动轮之间传动连接有传送带，传送带的外壁上设置有若干组限位机构，限位机构的一侧设置有调节机构，本实用新型是通过限位机构中活动杆向上移动顶出被两组固定凸块固定的功分器，便于功分器的收集，在功分器贴签的过程中确保功分器贴签的规范，避免外在因素对功分器的贴签造成影响，且调节机构具有对不同宽度功分器限位固定的功能，增加设备的实用性。
一种器用设备

[实用新型]一种防水防尘式有线电视用分配器-CN202221841768.8有效
发明人：俞霖;尹时杰;苏晓平 -专利权人：常州宏富电子科技有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01R31/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防水防尘式有线电视用分配器，涉及分配器技术领域，包括分配器本体以及在分配器本体外侧位置上安装的多个接头座，每个接头座的外部以螺纹连接的方式安装有辅助接头套，辅助接头套上安装有活动套板，活动套板内部开设有卡位槽，且活动套板位于卡位槽的上侧部分呈开口状，活动套板上表面中心点位置固定安装有定位块，定位块上转动安装有三项卡板，三项卡板上设置有一个闭合部和两个通过部，闭合部和通过部均呈圆形；本实用新型在使用的过程中，针对分配器上的接头位置，并分别针对已安装或未安装电缆、光纤两个状态下，对接头进行防水防尘保护。
一种防水防尘有线电视分配器

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