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- [发明专利]烧结炉-CN202210306638.2在审
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闫升虎;苏文华
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伊利诺斯工具制品有限公司
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2022-03-25
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2023-10-03
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F27B9/12
- 本申请公开了一种烧结炉，包括炉膛；焚烧装置，所述焚烧装置被配置能够对所述废气进行加热焚烧处理，以得到净化处理气体；以及换热装置，所述换热装置被配置为，使得所述干净气体在输入所述炉膛前，与所述净化处理气体进行热交换，以加热所述干净气体，并冷却所述净化处理气体。本申请的烧结炉通过设置换热装置，利用从焚烧装置排出的高温气体来加热干净气体，使得干净气体在输入炉膛前，就能够达到预设温度，从而可以减少炉膛中需要的加热元件的数量，并且充分利用了焚烧装置排出的高温气体的余热来节省能耗。
- 烧结炉
- [发明专利]空气净化系统-CN202210192885.4在审
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闫升虎;苏文华
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伊利诺斯工具制品有限公司
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2022-03-01
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2023-09-12
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F27D17/00
- 本申请提供一种气体净化系统，包括：加热装置(201)和支撑装置(202)，所述加热装置(201)包括至少一个加热元件(270)；所述支撑装置(202)具有高度方向和长度方向，所述支撑装置(202)内设有支撑装置流体通道(240)，所述支撑装置(202)包括至少一个支撑块(401)，所述支撑块(401)具有至少一个加热元件容纳槽(405)，所述至少一个加热元件容纳槽(405)用于容纳至少一个加热元件(270)；其中，所述至少一个加热元件(270)位于所述支撑装置流体通道(240)中，进入所述支撑装置流体通道(240)的流体能够被所述至少一个加热元件(270)加热。本申请中加热元件由支撑装置支撑，不易松动。
- 空气净化系统
- [实用新型]一种晶圆low-k膜激光开槽设备-CN202320700650.1有效
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苏佳莹;苏文华
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浙江达仕科技有限公司
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2023-04-03
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2023-08-29
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B05C5/02
- 本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，尤其涉及一种晶圆low‑k膜激光开槽设备，包括大理石机架，大理石机架顶部设有涂胶组件，涂胶组件侧面设有清洗组件，清洗组件一侧设有胶泵，涂胶组件包括胶水收集盆，胶水收集盆底部固定连接有固定连接轴，固定连接轴底端固定连接有旋转电机，胶水收集盆内部中间固定连接有三足支撑架，三足支撑架顶部两侧对称固定连接有支撑连接块，支撑连接块顶部固定连接有固定转盘，固定转盘顶部设有滴胶盘，滴胶盘底面均布有若干滴胶头，解决了晶圆在涂胶过程中被甩出的胶水没有收集以及因胶水从中心向外扩散的距离较远而使涂覆的胶水中溶剂挥发较多造成涂胶不均匀的问题。
- 一种low激光开槽设备
- [实用新型]一种激光隐切设备-CN202320553455.0有效
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苏佳莹;苏文华
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浙江达仕科技有限公司
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2023-03-21
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2023-08-29
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B23K26/38
- 本实用新型涉及晶圆切割设备技术领域，尤其涉及一种激光隐切设备，包括隐切设备主体和光路装置，光路装置包括安装底板，安装底板一端设有激光发生器，激光发生器一侧设有激光头组件，激光头组件另一侧设有光闸组件，光闸组件另一侧设有第一反射镜组件，第一反射镜组件一侧设有第二反射镜组件，第二反射镜组件一侧设有第三反射镜组件，第三反射镜组件一侧设有扩束镜组件，扩束镜组件另一侧设有第四反射镜组件，第四反射镜组件一侧设有功率调节组件，第二反射镜组件和第三反射镜组件之间设有功率检测组件，功率检测组件一侧设有第一偏振组件，第一偏振组件一侧设有第一分光功率检测组件，解决了设备对激光功率不能调节也不能监控和修正的问题。
- 一种激光设备
- [发明专利]一种干燥剂整形推送装置-CN202310433552.0在审
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苏文华;蔡艳坤
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浙江达仕科技有限公司
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2023-04-21
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2023-08-25
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B65B61/24
- 本发明涉及生产包装设备技术领域，尤其涉及一种干燥剂整形推送装置，包括装置底座，装置底座顶面一侧固定连接有横移轨道，横移轨道顶面滑动连接有横移块，横移块顶面固定连接有长连接块，长连接块的一端固定连接有短连接块，短连接块顶面固定连接有整形平台，整形平台顶部设有升降架，升降架两侧固定连接有升降气缸，升降架底面固定连接有夹持气缸，夹持气缸底面两侧固定连接有气缸连接板，气缸连接板底面固定连接有夹板连接板，夹板连接板底面固定连接有夹板，夹板之间设有定位板，定位板前后两端通过定位板连接块固定连接在升降架两侧面，整形平台远离横移轨道的一侧设有推料机构，解决了干燥剂包在未进入铝箔袋就散开和进入封口处的问题。
- 一种干燥剂整形推送装置
- [实用新型]一种晶圆片取放装置-CN202320392594.X有效
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苏佳莹;苏文华
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浙江达仕科技有限公司
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2023-03-06
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2023-08-08
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H01L21/68
- 本实用新型涉及晶圆片加工设备技术领域，尤其涉及一种晶圆片取放装置，包括归正定位机构，归正定位机构上部设有承载架，承载架与归正定位机构中间设有平移机构，平移机构顶部固定连接有夹持机构，归正定位机构包括基座，基座顶部中间固定连接有安装板，安装板两侧分别设有滑板一和滑板二，滑板一和滑板二均与基座滑动连接，滑板一顶部一侧固定连接有竖直构架一，竖直构架一顶端固定连接有支撑滑轨一，滑板二顶部一侧固定连接有竖直构架二，竖直构架二顶端固定连接有支撑滑轨二，承载架滑动连接在支撑滑轨一和支撑滑轨二之间，安装板顶部与平移机构固定连接，解决了设备内部空间浪费，设备内部空间利用率低的问题。
- 一种晶圆片取放装置
- [实用新型]一种晶圆激光隐切装置-CN202320392663.7有效
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苏佳莹;苏文华
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浙江达仕科技有限公司
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2023-03-06
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2023-08-08
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B23K26/38
- 本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，尤其涉及一种晶圆激光隐切装置，包括底座，底座顶部中间架设有龙门架，龙门架顶部设有激光光路系统，所述底座顶部一侧对称设有X轴移动机构，X轴移动机构之间固定连接有Y轴移动气浮机构，Y轴移动气浮机构顶部固定连接有加工放置台，加工放置台与Y轴移动气浮机构之间固定连接有W轴旋转机构，龙门架一侧固定连接有光学箱，龙门架背离光学箱的一侧固定连接有旋转运送机构，旋转运送机构远离龙门架的一侧设有取放机构，取放机构一端设有升降储料盒，取放机构包括设置在承载架底部的平移机构，解决了设备内部空间浪费，设备内部空间利用率低的问题。
- 一种激光装置
- [实用新型]离子发射装置及离子注入设备-CN202223587911.8有效
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苏文华
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杭州富芯半导体有限公司
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2022-12-29
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2023-08-01
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H01J37/08
- 本公开提供了一种离子发射装置及离子注入设备，离子发射装置包括离子源、放电腔和设于离子源和放电腔之间的绝缘套，绝缘套两端分别设有第一连接盘和第二连接盘，还包括绝缘套冷却系统，绝缘套冷却系统包括：冷却液通道，设于第一连接盘和/或第二连接盘内；制冷组件，连接冷却液通道；第一温度传感器和第二温度传感器分别设于冷却液通道的入口一侧和冷却液通道的出口一侧，用于检测进入冷却液通道的冷却液的第一温度和冷却液通道输出的冷却液的第二温度；控制电路，控制电路接收第一温度传感器和第二温度传感器的信号，并在第二温度与第一温度的差大于温度阈值时，使制冷组件增加工作压力。本公开能够改善绝缘套的冷却效果。
- 离子发射装置注入设备
- [发明专利]一种全自动晶圆包装系统-CN202310433613.3在审
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苏文华;蔡艳坤
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浙江达仕科技有限公司
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2023-04-21
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2023-07-28
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B65B61/20
- 本发明涉及生产包装设备技术领域，尤其涉及一种全自动晶圆包装系统，包括晶圆装盒装置，晶圆装盒装置一端固定连接有晶圆盒加盖装置，晶圆盒加盖装置另一侧固定连接有晶圆盒贴标装置，晶圆盒贴标装置另一侧固定连接有铝箔袋上料装置，铝箔袋上料装置另一侧固定连接有铝箔袋开袋定型装置，铝箔袋开袋定型装置另一侧固定连接有干燥剂整形推送装置，干燥剂整形推送装置一侧固定连接有抽真空封口装置，干燥剂整形推送装置另一侧固定连接有装箱打包装置，解决了包装过程中整形后干燥剂包在未进入铝箔袋就散开和干燥剂包回弹进入铝箔袋封口处的问题。
- 一种全自动包装系统
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