“苏恒毅”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果70个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]电感耦合等离子体产生装置及半导体加工设备-CN201810235157.0有效
发明人：郭士选;韦刚;王炳元;苏恒毅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-03-21 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种电感耦合等离子体产生装置，包括：电感线圈；电感线圈的第一端接地，电感线圈的第二端接射频电源；电感线圈的第一端沿远离介质窗的第一方向螺旋缠绕至第二端，且电感线圈在缠绕过程中沿与第一方向垂直的第二方向的尺寸变化，来提高电感线圈和介质窗之间的平均距离。本发明还提供一种等离子体产生装置，可以降低介质窗被刻蚀的程度，降低对腔室的颗粒污染。
电感耦合等离子体产生装置半导体加工设备

[实用新型]影像稳定镜头模块、相机模块与电子装置-CN202222210998.0有效
发明人：曾德生;苏恒毅;周明达 -专利权人：大立光电股份有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G02B27/64 文献下载
摘要：本实用新型公开一种影像稳定镜头模块，包含透镜载体、光线转折元件、可动载体、固定基座、转动元件及驱动机构。透镜载体承载光学透镜。光线转折元件位于光轴上以转折光轴。可动载体承载光线转折元件。固定基座通过弹性元件连接可动载体。转动元件位于可动载体与固定基座之间。转动元件包含本体、位于载体对应面的载体支撑结构和基座辅助结构及位于基座对应面的基座支撑结构和载体辅助结构。载体支撑结构实体接触并支撑可动载体。基座支撑结构实体接触固定基座。驱动机构用以驱动可动载体相对于固定基座转动。载体辅助结构、基座辅助结构和本体一体成型。本实用新型还公开具有上述影像稳定镜头模块的相机模块及具有相机模块的电子装置。
影像稳定镜头模块相机电子装置

[发明专利]成像镜头、相机模块及电子装置-CN202111157082.7在审
发明人： 苏恒毅;陈怡潔;周明达 -专利权人：大立光电股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：一种成像镜头、相机模块及电子装置，成像镜头包含至少一径向缩减透镜与一遮光元件。径向缩减透镜包含一光学有效部与一外周部，其中光学有效部包含一局部缩减。局部缩减由光学有效部的一部分朝向光轴缩减，使光学有效部呈现非圆形。外周部由光学有效部朝远离光轴延伸，并沿环绕光轴的一圆周方向与局部缩减交替设置。遮光元件具有一中心开孔，且包含一承靠结构与一延伸遮光结构，其中延伸遮光结构沿环绕光轴的圆周方向与承靠结构交替设置并与承靠结构连接，使中心开孔呈现非圆形。借此，提供成像镜头微型化的可能性，并可确保成像品质。
成像镜头相机模块电子装置

[实用新型]成像镜头、相机模块与电子装置-CN202221544918.9有效
发明人：许誌文;苏恒毅;潘峻锐;周明达 -专利权人：大立光电股份有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G03B11/00 文献下载
摘要：一种成像镜头、相机模块与电子装置，成像镜头具有一光轴，并包含一成像透镜组以及一透镜保持元件。光轴通过成像透镜组，透镜保持元件容置成像透镜组，使成像透镜组对正光轴。透镜保持元件包含多个遮光结构，设置于成像透镜组的一物侧，且环绕光轴形成一通光孔。各遮光结构呈直线状且具有二端点以及一中点，各中点较各二端点靠近光轴，各遮光结构的各端点附近可定义通光孔的一最大半径，各遮光结构中最靠近光轴的中点附近可定义通光孔的一最小半径。借此，可有效控制鬼影的产生，进而提升成像品质。
成像镜头相机模块电子装置

[发明专利]成像镜头模块、成像镜头驱动模块、相机模块与电子装置-CN202111096031.8在审
发明人： 苏恒毅;周明达;林正峰;张明顺 -专利权人：大立光电股份有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G02B7/09 文献下载
摘要：一种成像镜头模块、成像镜头驱动模块、相机模块与电子装置，成像镜头驱动模块包含镜头载体、第一模造结构、第二模造结构、驱动机构以及力学机构。镜头载体定义光轴。第一模造结构与镜头载体对应设置，并包含第一遮光结构。第二模造结构耦合第一模造结构以形成内部空间，镜头载体容置于内部空间，且第二模造结构包含第二遮光结构。驱动机构用以驱动镜头载体沿光轴移动。力学机构用以将镜头载体与第一模造结构互相连接。第一模造结构与第二模造结构耦合后，使得第一遮光结构与第二遮光结构互相对应设置，进而形成通光孔。通过通光孔可避免非成像光线进入成像镜头或成像面，有利于提升成像品质。
成像镜头模块驱动相机电子装置

[发明专利]一种光模块的灵敏度调试方法及装置-CN201911414459.5有效
发明人：曹婷;夏京盛;苏恒毅 -专利权人：深圳市欧深特信息技术有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H04B10/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种光模块的灵敏度调试方法及装置，所述方法包括步骤：上位机发送控制信号控制APD升压电路产生偏置电压；获取所述偏置电压下的光生电流的Iapd AD值，并根据所述光生电流的Iapd AD值确定最佳偏压范围。本发明根据偏置电压下所产生的光生电流的值来确定最佳偏压范围，简化了最佳偏压的调试步骤，提高了调试效率。
一种模块灵敏度调试方法装置

[发明专利]成像镜头驱动模组、相机模组与电子装置-CN202110739905.0在审
发明人：曾德生;苏恒毅;周明达;许文鸿 -专利权人：大阳科技股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G02B7/04 文献下载
摘要：本发明提出一种成像镜头驱动模组、相机模组与电子装置。成像镜头驱动模组包含镜头载体、框架组件、驱动机构与金属导体组件。框架组件形成一内部空间以容置镜头载体。驱动机构包含金属弹性组件、线圈与磁石组，可驱动镜头载体沿光轴移动。金属弹性组件包含外固定部、内固定部与连接二者的弹性部。外固定部与框架组件耦合。内固定部较外固定部靠近镜头载体且与镜头载体耦合。线圈固定于镜头载体并与磁石组对应设置。金属导体组件与镜头载体耦合。金属弹性组件还包含电性导通部与补偿弹性部。金属导体组件具有与电性导通部对应设置且电性连接的对应面。补偿弹性部连接电性导通部与内固定部。相机模组具有成像镜头驱动模组，且电子装置具有相机模组。
成像镜头驱动模组相机电子装置

[实用新型]成像镜头、相机模块与电子装置-CN202221037235.4有效
发明人：张沛颀;苏恒毅;黄炫钦 -专利权人：大立光电股份有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：一种成像镜头、相机模块与电子装置，成像镜头包含多个光学元件，并定义一光轴通过光学元件，光学元件包含至少一混质光学元件。混质光学元件包含一玻璃光学有效部以及一塑胶外周部。光轴通过玻璃光学有效部，塑胶外周部环绕且实体接触玻璃光学有效部并形成一通光孔。塑胶外周部具有至少三个凹槽结构沿环绕光轴的一圆周方向排列设置，凹槽结构沿平行光轴方向由成像镜头的物侧及像侧中的一侧往另一侧延伸。各凹槽结构包含一外表面、一内表面以及二侧表面。当满足特定条件时，有利于提升混质光学元件的组装精度。
成像镜头相机模块电子装置

[发明专利]成像镜头、相机模组与电子装置-CN202110355732.2在审
发明人：程俊嘉;苏恒毅;周明达;黄澄仪 -专利权人：大立光电股份有限公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明揭露一种成像镜头、相机模组与电子装置，成像镜头包含一塑料透镜、一镜筒以及一光线吸收涂层；塑料透镜具有一物侧表面、一像侧表面以及一外径面；像侧表面与物侧表面的位置相对；外径面连接物侧表面与像侧表面；镜筒容置塑料透镜；镜筒包含一碟状部以及一侧壁部；碟状部具有一通光孔；成像镜头的光轴通过通光孔；侧壁部连接碟状部并沿平行于光轴的方向延伸；侧壁部对应于塑料透镜的外径面；光线吸收涂层具有一内侧表面以及一外侧表面；内侧表面固定于塑料透镜的外径面；外侧表面与内侧表面的位置相对并较内侧表面远离塑料透镜的外径面，且外侧表面接触镜筒的侧壁部。本发明还公开具有上述成像镜头的相机模组及具有相机模组的电子装置。
成像镜头相机模组电子装置

[发明专利]等离子体产生装置和离子注入设备-CN201810555440.1有效
发明人： 苏恒毅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-06-01 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体产生装置和离子注入设备。包括激光产生结构、粒子产生腔室和筛选组件：激光产生结构，用于产生符合预定条件的飞秒脉冲激光，预定条件包括预定波长和/或预定能量；粒子产生腔室，用于接收所述飞秒脉冲激光并照射位于所述反应腔室中的靶材以激发形成高能粒子束；所述筛选组件，用于对所述高能粒子束进行筛选，以形成仅包括离子的等离子体束。可以通过使用高功率飞秒脉冲激光辐照靶材，得到强激光高能粒子束，并经过筛选形成等离体子体束，电离率极高，与传统的电离中性气体等离子源相比，可在较短时间内得到较高剂量、高纯度的等离子体束，提高了生产效率。
等离子体产生装置离子注入设备

[发明专利]等离子体装置-CN201710316726.X有效
发明人： 苏恒毅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-05-08 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体装置，所述等离子体装置包括反应腔室和线圈，所述反应腔室用于容纳待处理晶片，所述线圈设置在所述反应腔室外侧，所述等离子装置还包括导磁件，所述导磁件内部设置有容纳空间，所述线圈设置在所述容纳空间内，以减小所述线圈上的电流，且能够提高耦合到所述反应腔室内的磁场的强度。本发明的等离子装置，能够有效降低线圈中的电流，从而可以降低线圈中的能量损耗，提高了该等离子装置的能量耦合效率，同时，还能够有效降低线圈发热带来的安全隐患，提高该等离子装置的使用寿命。
等离子体装置

[发明专利]脉冲信号控制方法和装置、等离子体刻蚀方法和设备-CN201810791491.4有效
发明人：杨京;韦刚;苏恒毅;成晓阳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于等离子体刻蚀设备的脉冲信号控制方法，等离子体刻蚀设备包括上射频电源和下射频电源，脉冲信号控制方法包括：开启上射频电源，并输出具有第一脉冲频率和第一脉冲占空比的上射频电源信号；延迟预设时间后，开启下射频电源，并输出具有第二脉冲频率和第二脉冲占空比的下射频电源信号；其中，上射频电源信号具有第一脉冲宽度，下射频电源信号具有第二脉冲宽度，预设时间小于第一脉冲宽度；第二脉冲占空比小于第一脉冲占空比；第一脉冲频率与第二脉冲频率相同。所述脉冲信号控制方法可以降低下射频电源的匹配难度，实现快速匹配并提高刻蚀工艺选择比。
脉冲信号控制方法装置等离子体刻蚀设备

[发明专利]成像镜头驱动模块与电子装置-CN202110034811.3在审
发明人： 苏恒毅;周明达;黄澄儀 -专利权人：大阳科技股份有限公司
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G02B7/04 文献下载
摘要：一种成像镜头驱动模块与电子装置，成像镜头驱动模块，包含成像透镜组、载体元件及驱动机构。成像透镜组具有光轴。载体元件用以配置成像透镜组，且包含组装结构。组装结构设置于载体元件的外表面，且沿远离光轴的方向延伸。驱动机构用以驱动载体元件沿平行光轴的方向移动，且包含线圈组与磁石。线圈组设置于组装结构上，且包含底层线圈与顶层线圈。底层线圈缠绕组装结构并与其实体接触。顶层线圈堆叠缠绕于底层线圈之上，较底层线圈远离组装结构，并与底层线圈沿平行光轴的方向重叠。磁石分别与线圈组对应设置。透过同一导线缠绕组装结构，达到节省产品的周期时间。
成像镜头驱动模块电子装置

[发明专利]成像镜头驱动模块、取像装置及电子装置-CN202110817514.6在审
发明人：陈皓然;苏恒毅;周明达;黄澄儀;张明顺 -专利权人：大阳科技股份有限公司
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：一种成像镜头驱动模块、取像装置及电子装置，成像镜头驱动模块包含镜头载体、模造承接底座、滚动元件、模造框架元件及驱动机构。模造承接底座用以承接镜头载体。滚动元件设置于镜头载体与模造承接底座之间，使镜头载体能够沿光轴相对于模造承接底座移动。模造框架元件与模造承接底座耦合，用以定义内部空间以承接镜头载体。驱动机构能够驱动镜头载体沿光轴移动，并包含驱动磁体与驱动线圈。驱动磁体设置于镜头载体上。模造承接底座包含金属元件，金属元件包含铁成分，金属元件埋入射出于模造承接底座，金属元件呈现环状平面。借此，可加强成像镜头驱动模块的刚性。
成像镜头驱动模块装置电子

[发明专利]射频阻抗匹配的方法及装置、半导体处理设备-CN201810515606.7有效
发明人：韦刚;苏恒毅;刘珂 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频阻抗匹配的方法、装置和半导体处理设备。方法包括：步骤S110、向匹配器发送控制信号；步骤S120、判断所述控制信号是否为步骤切换信号，并当判定为步骤切换信号时，执行步骤S130，反之，执行步骤S140；步骤S130、控制匹配器执行保持模式，所述保持模式的维持时间为预设时间t，之后执行步骤S140；步骤S140、控制匹配器开始阻抗匹配，以使得射频电源的输出阻抗与负载阻抗匹配。可以有效避免在步骤切换工艺中由于阻抗不稳定而导致的匹配器的误调整，增加保持模式，有效提高匹配的匹配速度和效率，并且，针对不同的工艺，保持模式所维持的预设时间t可以不同，能够大大拓展工艺的应用。
射频阻抗匹配方法装置半导体处理设备