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[发明专利]用于制备异质结太阳能电池的设备、系统及方法-CN202310710677.3在审
发明人：王登志;周剑;陈晨;闻二成;彭振维;王青松 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于制备异质结太阳能电池的设备、系统及方法，属于太阳能电池制备技术领域。用于制备异质结太阳能电池的设备，异质结太阳能电池包括硅衬底，设于硅衬底第一表面的第一本征钝化层，及设于硅衬底第二表面的第二本征钝化层，第一本征钝化层包括第一子本征层和第二子本征层，第二本征钝化层包括第三子本征层和第四子本征层；设备包括：第一工艺腔体，用于制备第一子本征层或第三子本征层；第二工艺腔体，所述第二工艺腔体与第一工艺腔体相连通，用于制备第二子本征层或第四子本征层；第一工艺腔体内的工艺温度与第二工艺腔体内的工艺温度不同。本申请能满足异质结电池对本征非晶硅基薄膜的多重要求，有助于提升电池的光电转换效率。
用于制备异质结太阳能电池设备系统方法

[实用新型]一种载板除尘装置及镀膜生产线-CN202320941244.4有效
发明人：刘亚南;徐文涛;王登志;刘欢;王青松 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种载板除尘装置及镀膜生产线。载板除尘装置用于清洁载板，载板包括载板主体及载板导轨，载板主体用于承载待镀膜件，该载板除尘装置包括除尘件，除尘件包括清洁毛刷及清洁安装头，清洁毛刷能与载板导轨抵接，清洁毛刷用于扫刷载板导轨上的粉尘，清洁安装头上开设有吸尘口，吸尘口正对朝向载板导轨设置，以吸取载板导轨上的粉尘，避免粉尘脏污待镀膜件，改善产品良率，并且该除尘件结构简单、清洁效果好。镀膜生产线通过应用上述载板除尘装置，当承载待镀膜件的载板从镀膜腔室中出来后，能将载板导轨上的黄粉和碳粉清理干净，避免粉尘脏污待镀膜件，改善产品良率，并且该除尘件结构简单、清洁效果好。
一种除尘装置镀膜生产线

[发明专利]大面积双频异质结太阳能电池薄膜沉积方法和设备-CN202310384880.6在审
发明人：王登志;田罡煜;王青松;张衡;韩少文;屈庆源 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L31/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种大面积双频异质结太阳能电池薄膜沉积方法和设备，所述大面积双频异质结太阳能电池薄膜沉积方法至少包括：将待镀膜硅片放置于平板耦合化学气相沉积的工艺腔室内；向所述工艺腔室内通入工艺气体，所述工艺气体包含SiH4、H2、CO2、NO2、N2、O2、O3、Ar、NH3中的至少一种；通过所述工艺腔体内馈入的射频电源系统以激发分解所述工艺气体产生等离子体；在电场的作用下将所述等离子体转移到所述待镀膜硅片表面形成硅基薄膜或者对已沉积好的硅基薄膜进行等离子体界面处理。本申请的有益之处在于提供一种能使两种输出频率的电源有效的对放电电极进行叠加馈送从而平衡镀膜的效率和均匀性的大面积双频异质结太阳能电池薄膜沉积设备。
大面积双频异质结太阳能电池薄膜沉积方法设备

[发明专利]微晶硅薄膜沉积工艺的研究方法及其应用-CN202310330648.4在审
发明人：高磊;张衡;屈庆源;王青松;吴海红 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明提供了一种微晶硅薄膜沉积工艺的研究方法，采用微晶硅薄膜晶化率测试样品作为拉曼基底进行拉曼光谱测试，所述微晶硅薄膜晶化率测试样品按照待研究的微晶工艺条件沉积在测试基底上的。所述微晶硅薄膜晶化率测试样品包括衬底和层叠于衬底上的本征氢化非晶硅膜。区别于传统衬底，本发明微晶硅薄膜晶化率测试基底具有本征氢化非晶硅膜，能够有效解决传统衬底影响微晶硅薄膜生长或诱导微晶硅薄膜结晶的缺点。从而本发明微晶硅薄膜晶化率测试样品能够准确地测定微晶硅薄膜的晶化率，进而监控微晶太阳电池硅薄膜的晶化率，为工艺调试中提供数据支撑，从而制备出高光电转化效率的太阳能电池。
微晶硅薄膜沉积工艺研究方法及其应用

[发明专利]一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备-CN202010743608.9有效
发明人：李王俊;曹新民;张斌;王凤明 -专利权人： 苏州迈正科技有限公司
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备，涉及真空镀膜技术领域。本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、阴极内腔抽真空管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔抽真空管道的一端与所述腔体抽真空管道连接，另一端与阴极内腔连接，所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接。本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，通过两路抽真空管道分别对腔体、阴极内腔进行抽真空，能够快速把残留的工艺气体抽干净，为通入新的工艺气体做好准备，极大地缩短切换工艺气体的时间。
一种快速切换镀膜工艺气体方法设备

[实用新型]真空工艺腔体结构件及等离子体增强化学气相沉积设备-CN202223339009.4有效
发明人：李王俊;陈晨;蒋建新 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空工艺腔体结构件及等离子体增强化学气相沉积设备。该腔体结构包括下腔体和上腔盖，下腔体的至少一个表面设有下腔体加强结构，且下腔体和下腔体加强结构为一体铸造件，上腔盖扣合在下腔体上以形成腔体，上腔盖背离下腔体的端面上设有上腔盖加强结构，腔体用于等离子体增强化学气相沉积，且等离子体增强化学气相沉积的工艺区域面积大于1平方米。该真空工艺腔体结构件可减少原材料的用量，减少制作过程的机加工量，降低制作成本。
真空工艺结构件等离子体增强化学沉积设备

[发明专利]回传传输装置及太阳能电池生产系统-CN201911146058.6有效
发明人：徐文涛;张斌 -专利权人： 苏州迈正科技有限公司
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供了一种回传传输装置及太阳能电池生产系统，涉及太阳能电池制备技术领域，所述回传传输装置包括：保温腔体和传送带机构，所述传送带机构位于所述保温腔体内；所述保温腔体靠近所述传送带机构的上料端和下料端的位置处均设置有开口，所述保温腔体通过所述开口与外界连通；所述开口均设置有可开闭的密闭门。只有当物品进入或者离开保温腔体时，对应开口的密闭门才会开启，其余情况密闭门都是关闭的，这样可以尽量减少保温腔体内的待运输物品与外界的热交换，从而缓解了运输过程中物品温度降低过多的问题。
传输装置太阳能电池生产系统

[发明专利]等离子体工艺设备中用于解决寄生等离子体的结构及方法-CN202210224150.5有效
发明人：王登志;王凤明;陈晨;屈庆源;何学勇;李王俊 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体工艺设备中用于解决寄生等离子体的结构及方法，属于等离子体工艺设备领域。该结构的第一气体通道上连通有细孔绝缘管和第二气体通道，细孔绝缘管用于向布气盒组件内馈入工艺气体；第二气体通道与第一气体通道之间设置有通断阀，第二气体通道用于向布气盒组件内馈入清洗气体。因此，一方面，在加工前可将通断阀关闭，并向粗孔绝缘管道及第二气体通道内通入预设压力的清洗气体，以在粗孔绝缘管道及第二气体通道内形成相对高压环境；另一方面，将工艺气体和清洗气体的气路分开设置，使得工艺气体气路可以设置很小的内径，从而抑制工艺气体在进入工艺腔体前发生电解并产生寄生等离子体，有效地降低了因寄生等离子体而发生的绝缘管爆裂、损坏的概率。
等离子体工艺设备用于解决寄生结构方法

[发明专利]用于清洗工艺腔室的方法及其应用-CN202211482170.9在审
发明人：屈庆源;何学勇;周剑;闻二成;房现飞;王登志 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于清洗工艺腔室的方法及其应用，属于真空镀膜生产设备技术领域。一种用于清洗工艺腔室的方法，包括：(a)启动远程等离子体系统，清洗工艺气体被激发成等离子体，远程等离子体供应至工艺腔室；(b)当远程等离子体系统工作达到稳定状态后，再开启工艺腔室内的射频电源系统，射频电源系统对位于工艺腔室中的远程等离子体再次激发增强，在清洗时间段期间使用远程等离子体系统和射频电源系统两者共同作用清洁工艺腔室；(c)当清洗工艺腔室完毕后，先关闭工艺腔室内的射频电源系统；(d)再关闭远程等离子体系统。本申请可以缓解当前清洗方式存在的刻蚀速率慢、刻蚀范围窄或不能全面覆盖的问题，可以提升清洗刻蚀效率及速率。
用于清洗工艺方法及其应用

[实用新型]抽气管道和真空镀膜设备-CN202221985338.3有效
发明人：李王俊;周剑;张斌;蒋建新;王凤明;刘亚南 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了抽气管道和真空镀膜设备，抽气管道包括由分汇流管和多根并联的支管构成的分管道、与真空泵连通的总汇流管和适于安装于所述壳体上且与所述抽气腔室连通的抽气盒，所述支管的出口与所述分汇流管的进口连接；所述分汇流管的出口与所述总汇流管的进口连接；所述抽气盒内设有空腔，所述空腔具有至少一个出气口和多个间隔分布的进气孔，多根所述支管的进口与所述出气口一一对应连接。通过在支管的进口端连接有抽气盒，抽气盒上开设有多个间隔分布的且与所述抽气腔室连通的进气孔，通过调节进气孔的尺寸、分布密度或分布位置，从而使得多个出气口处的气体流速均衡可控，进而提高镀膜的均匀性。
管道真空镀膜设备

[实用新型]一种真空腔体用升降结构及系统-CN202222158423.9有效
发明人：李王俊;王凤明;房现飞;蒋建新;王青松 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空腔体用升降装置及系统，属于真空镀膜领域。包括支撑机构以及升降机构，支撑机构设置在腔体内部，支撑机构下端固定连接升降机构，支撑机构包括上平台、密封件以及导向柱，密封件设置在升降机构与支撑机构连接处，密封件上设有导向柱，上平台上设有导向孔，导向柱贯穿导向孔与上平台滑动连接，密封件下端固定连接在腔体的底部；以及，升降机构，升降机构上端伸入腔体内部固定连接上平台。本实用新型的目的在于克服现有技术中由于升降设备而限制功能板的尺寸大小且安装维护操作困难、调平不便的不足，提供了一种真空腔体用升降装置及系统升降装置，结构紧凑，可根据需要自由组合，方便调平、安装维护。
一种空腔体用升降结构系统

[发明专利]真空镀膜装置-CN202010676902.2有效
发明人：徐文涛;陈晨;李王俊;孙健;周剑;刘亚南 -专利权人： 苏州迈正科技有限公司
申请日： 2020-07-14 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空镀膜装置，包括真空腔室以及固定于真空腔室的导电机构、多个滚轮机构，真空腔室内具有输送方向，其中：多个滚轮机构沿输送方向阵列分布，每一滚轮机构包括第一驱动单元及滚轮，第一驱动单元具有穿过真空腔室的侧壁的第一输出轴，滚轮安装于第一输出轴位于真空腔室内侧的端部，且具有至少一个环绕第一输出轴的缓冲圈；导电机构包括第二驱动单元、导电部及多个接地带，导电部与第二驱动单元传动连接，具有可与载板相接触的导电面，每一接地带的一端固定于第二驱动单元且与导电部在处于镀膜状态时电连接，另一端固定于真空腔室且与真空腔室在处于镀膜状态时电连接，具有收缩状态和展开状态；载板震动较小，镀膜放电稳定性较好。
真空镀膜装置

[实用新型]视窗模组和真空镀膜设备-CN202222813010.X有效
发明人：李王俊;张斌;孙健;徐文涛;刘亚南;李鑫 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了视窗模组和真空镀膜设备，视窗模组安装于真空镀膜设备的腔体上，视窗模组包括中空固定件，所述中空固定件上设有外层玻璃，所述外层玻璃的远离所述中空固定件的一侧设有至少一个内层玻璃，所述外层玻璃的面积大于所述内层玻璃的面积；所述视窗模组还包括与所述外层玻璃和所述内层玻璃相配合的密封圈。视窗模组具有多层玻璃，当任一层玻璃破裂，其余玻璃与腔体之间仍存在密封，则腔室仍处于真空密封状态，而多层玻璃同时破裂的概率极低，因此，本申请可以很大程度上改善视窗玻璃破裂的问题，使得设备可以长时间稳定生产，也很大程度上保障了设备安全及人员安全。
视窗模组真空镀膜设备

[发明专利]一种镀膜载板运输系统-CN202211024679.9在审
发明人：申曌奉;徐文涛;陈晨;周剑;路坤 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀膜载板运输系统，该镀膜载板运输系统包括行走轨道和周转行走装置，周转行走装置可活动地设在行走轨道上，周转行走装置用于装载镀膜载板，周转行走装置包括周转小车和周转驱动模组，周转小车可活动地设在行走轨道上，周转小车用于装载镀膜载板，周转驱动模组与周转小车配合以驱动周转小车沿行走轨道的长度方向运动。该镀膜载板运输系统的结构较为简单，使用成本较低，且能够较好地避免镀膜载板在运输过程中出现磨损，在延长镀膜载板使用寿命的同时，降低对镀膜工艺造成的污染。
一种镀膜运输系统

[实用新型]镀膜装置-CN202222052348.8有效
发明人：王登志;张斌;何学勇;周剑;田罡煜;李王俊 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C16/509 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜装置。包括：固定支撑板和设置在所述固定支撑板上的镀膜电极，所述镀膜电极包括与所述固定支撑板平行设置的多个电极板，所述多个电极板之间相互绝缘设置；设置在所述固定支撑板上的多个电源及匹配器馈入系统，所述多个电源及匹配器馈入系统与所述多个电极板一一对应连接。与现有技术相比，本实用新型实施例所提供的镀膜装置具有在提升镀膜速率的同时保证镀膜均匀性、完整性和安全性的优点。
镀膜装置

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