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[发明专利]体声波谐振器及其制备方法-CN202310165706.2在审
发明人：刘炎;丁志鹏;任沁;詹道栋;孙博文;孙成亮 -专利权人： 苏州敏声新技术有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域。该体声波谐振器包括衬底，衬底设有空腔，空腔具有相对的侧壁和底面；衬底上设有谐振结构，谐振结构与空腔相对设置；谐振结构包括层叠设置的下电极、压电层和上电极；下电极在底面上的投影面积小于底面面积；压电层靠近衬底的一侧设有环绕下电极外周，并与空腔相通的环形结构，通过环形结构阻挡谐振结构产生的横向声波泄露。该体声波谐振器能够减少声波泄漏，提高器件品质。
声波谐振器及其制备方法

[发明专利]一种体声波谐振器及其制备方法-CN202310179840.8在审
发明人：曲远航;孙成亮;孙博文;刘炎 -专利权人： 苏州敏声新技术有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请公开了一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，本申请的体声波谐振器的制备方法，包括：提供衬底；在衬底的上表面采用磁控溅射工艺沉积压电薄膜；其中，磁控溅射工艺包括将待沉积压电薄膜的衬底放在磁控溅射系统的阳极上；获取溅射靶材并将溅射靶材放在磁控溅射系统的阴极上；向磁控溅射系统的真空腔体内通入稀有气体；对阳极、阴极施加驱动电压以使腔体内产生等离子体；控制驱动电压的幅值以改变等离子体沉积于衬底上的速率，通过改变速率获取不同应力的压电薄膜。本申请提供的体声波谐振器及其制备方法，能够通过调节压电层的应力值调节机电耦合系数，从而简化了工艺难度。
一种声波谐振器及其制备方法

[发明专利]一种声学谐振器、滤波器和多工器-CN202310171963.7在审
发明人：谷曦宇;刘炎;孙成亮;国世上;孙博文;丁志鹏 -专利权人： 苏州敏声新技术有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H03H9/15 文献下载
摘要：本申请提供一种声学谐振器、滤波器和多工器，涉及声学器件领域，包括衬底及设置在衬底上的谐振结构；谐振结构包括层叠设置的电极结构和复合压电层；复合压电层包括至少两层子压电层，至少一层子压电层中掺杂钪元素(作为掺钪压电层)，可以通过控制掺钪压电层的厚度处于较为适宜的厚度区间，避免掺钪压电层的厚度过厚，从而降低膜内温度随薄膜厚度的变化所产生的差别，减少不同取向晶粒的生长，使得最终制备得到的掺钪压电层的晶粒取向较为一致，有效提高复合压电层的质量，以便于使得具有该复合压电层的声学谐振器能够具有较好的品质因数，由其所搭建的滤波器不仅能够实现带宽的调节，而且还能够具有较低的滤波器的带内插损。
一种声学谐振器滤波器多工器