“芝裕二”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果10个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]曝光装置、曝光方法、器件制造方法及标记-CN201711449501.8有效
发明人： 芝裕二;藤原朋春;马迂伸贵 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-07-09 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供曝光装置、曝光方法、器件制造方法及标记。标记形成方法包含：基于在晶片上曝光而成的标记像形成包含凹部的抗蚀剂标记的步骤；在形成有该抗蚀剂标记的区域的凹部中涂布包含嵌段共聚物的聚合物层的步骤；通过退火使聚合物层形成自组装区域的步骤；通过蚀刻选择性地除去自组装区域的一部分的步骤；以及使用除去了该一部分的自组装区域在晶片上形成晶片标记的步骤。在使用嵌段共聚物的自组装形成电路图案时能够并列地形成标记。
曝光装置方法器件制造标记

[发明专利]燃料喷射泵-CN202010638588.9在审
发明人：南光政树;芝裕二;冈本良辅;服部哲 -专利权人：洋马动力科技有限公司
申请日： 2016-11-11 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： F02M59/28 文献下载
摘要：本发明提供一种燃料喷射泵，该燃料喷射泵设置于发动机，具有支撑于泵壳的传递轴，在所述传递轴形成有油路。
燃料喷射泵

[发明专利]燃料喷射泵-CN201680067156.9有效
发明人：南光政树;芝裕二;冈本良辅;服部哲 -专利权人：洋马动力科技有限公司
申请日： 2016-11-11 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： F02M59/28 文献下载
摘要：本发明的课题在于防止因水分附着于燃料喷射泵的控制齿条进而该水分冻结所导致的发动机启动不良。设置于柴油发动机(30)的燃料喷射泵(1)具有：控制齿条(20)，其配置于在泵头(3)与泵壳(2)之间形成的齿条室(5)、且对料喷射量进行调整；传递轴(49)，其旋转支撑于在泵壳(2)形成的传递轴孔(2C)；以及润滑油通路(2D)，其形成于泵壳(2)、且将润滑油压送至传递轴(49)与传递轴孔(2C)之间，在传递轴(49)形成有供压送至润滑油通路(2D)的润滑油的一部分通过的油路(40)，油路(40)的第一开口部(41A)与润滑油通路(2D)连通，油路(40)的第二开口部(42A)形成于控制齿条(20)附近的传递轴(49)上部的外周面。
燃料喷射泵

[发明专利]标记及其形成方法以及曝光装置-CN201380042441.1有效
发明人： 芝裕二;藤原朋春;马迂伸贵 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-07-09 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：标记形成方法包含基于在晶片上曝光而成的标记像形成包含凹部的抗蚀剂标记的步骤；在形成有该抗蚀剂标记的区域的凹部中涂布包含嵌段共聚物的聚合物层的步骤；通过退火使聚合物层形成自组装区域的步骤；通过蚀刻选择性地除去自组装区域的一部分的步骤；以及使用除去了该一部分的自组装区域在晶片上形成晶片标记的步骤。在使用嵌段共聚物的自组装形成电路图案时能够并列地形成标记。
标记及其形成方法以及曝光装置

[发明专利]燃料喷射泵-CN201380038738.0有效
发明人： 芝裕二;南光政树;木村智行 -专利权人：洋马株式会社
申请日： 2013-03-27 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： F02M53/00 文献下载
摘要：本发明提供一种技术，其防止在燃料喷射泵内产生结露而使得在其结冰的状态下无法启动发动机。本发明涉及具备泵主体和液压头并由发动机驱动的燃料喷射泵，其特征在于，在所述发动机运转过程中，使所述液压头的温度升温到露点温度以上。由此，能在发动机运转过程中使液压头升温，除去燃料喷射泵内的水分。由此，能防止在燃料喷射泵内产生结露而使得在其结冰的状态下无法启动发动机。
燃料喷射泵

[发明专利]燃油喷射泵-CN201480053583.2在审
发明人：南光政树;高岸勋;芝裕二;近藤功一;岩乃亮太 -专利权人：洋马株式会社
申请日： 2014-07-25 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： F02M59/46 文献下载
摘要：本发明所要解决的问题在于提供一种能大幅度减少废气中的白烟的燃油喷射泵。一种燃油喷射泵(100)，将供喷射至柴油发动机的燃烧室内的燃油以高压送出，在从柱塞(104)向燃油喷射喷嘴压送燃油的路径的途中设有输送阀(10)，其中，在输送阀(10)的下游侧设有阻尼阀(17)，阻尼阀(17)具备：阀体(15)，在轴心部形成有阻尼孔(15a)，通过阻尼阀弹簧(18)被向下方(上游侧)施力；以及承受体(16)，在轴心部形成有通路孔(16a)，抵接于阀体(15)，所述阻尼阀(17)在阀体(15)的与承受体(16)对置的面形成有与通路孔(16a)连通的凹部(15b)。
燃油喷射泵

[发明专利]器件制造方法-CN201480027077.6在审
发明人： 芝裕二 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2014-03-25 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明的标记形成方法具有如下的步骤：在晶圆上对掩膜像进行曝光，基于该掩膜像的一部分形成形状相互不同的第一及第二抗蚀剂标记；通过旋转涂敷将包含嵌段共聚物在内的聚合物层涂敷在晶圆上；在所涂敷的聚合物层上形成自组装区域；有选择地除去自组装区域的一部分；和使用第一及第二抗蚀剂标记在晶圆上形成第一及第二晶圆标记。能够在利用嵌段共聚物的自组装来形成电路图案时形成标记。
器件制造方法

[发明专利]燃料喷射泵-CN201080017364.0有效
发明人：田中雅道;芝裕二;柴田义明;高岸勋;吴服荣太;南光政树 -专利权人：洋马株式会社
申请日： 2010-04-16 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： F02M59/44 文献下载
摘要：使来自与泵壳相连设置的齿轮箱侧的润滑油的飞沫不容易进入到该泵壳内，抑制由于该润滑油的飞沫产生的润滑油向燃料的混入。燃料喷射泵(1)具备与齿轮箱(50)相连设置的泵壳(3)，泵壳(3)具备将泵壳(3)内与齿轮箱(50)内连通的润滑油排出孔(3j)、与润滑油排出孔(3j)相连接的槽部以及安装在泵壳(3)上并从齿轮箱(50)侧覆盖润滑油排出孔(3j)和上述槽部的一部分的罩(60)，由润滑油排出孔(3j)、上述槽部以及罩(60)构成将泵壳(3)内与齿轮箱(50)内连通的弯折形状的连通通路。
燃料喷射泵

[发明专利]燃料喷射泵-CN200980153029.0有效
发明人：田中雅道;芝裕二;服部哲;柴田义明;吴服荣太;川上直树;胁坂和亲 -专利权人：洋马株式会社
申请日： 2009-12-28 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： F02M59/10 文献下载
摘要：本发明提供一种解决润滑油通过柱塞(10)与柱塞套筒(11)之间的间隙而混入到燃料中、发生燃料的发黑的问题的燃料喷射泵(1)。燃料喷射泵(1)具备：伸出引导部(12a)，其设置于分隔壁，该分隔壁位于柱塞套筒(11)的下方的挺杆室(16)与设置在挺杆室(16)的下方的凸轮箱(23)之间；滚轮挺杆(20)，其插入在伸出引导部(12a)中，与柱塞(10)的下端相连接；滚轮挺杆(20)能够与凸轮(21)的旋转运动联动地沿泵壳(12)的伸出引导部(12a)往返滑动；滚轮挺杆(20)的上端部在整个滑动行程始终自伸出引导部(12a)的上端面向柱塞套筒(11)侧突出。
燃料喷射泵

[发明专利]余摆线泵-CN200780021641.3有效
发明人： 芝裕二;池田明夫;服部哲 -专利权人：洋马株式会社
申请日： 2007-04-27 - 公布日： 2009-06-24 - 主分类号： F04C2/10 文献下载
摘要：本发明提供的余摆线泵(10)，具有一端固定设置着由锥齿轮构成的驱动齿轮(17)而另一端贯穿内转动体(11)的驱动轴(13)、和中心相对上述内转动体(11)偏心的外转动体(12)。两转动体(11、12)由盖(15)和泵壳(16)包围着。上述驱动轴(13)的轴方向的推力由第一限制构造和第二限制构造限制。上述第一限制构造由上述驱动轴(13)自身或固定在驱动轴(13)上的限制机构来限制相对于泵壳(16)朝一个方向的移动。上述第二限制构造借助上述驱动轴(13)的另一侧端面(13a)与上述盖(15)的一面(15a)相接来限制朝另一个方向的移动。
摆线

1
共 10 条