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[发明专利]一种高可靠沿面击穿放电触发式脉冲引弧电源-CN201911353705.0有效
发明人：蒋钊;肖更竭;周晖;郑军;赵栋才;杨拉毛草;魏广;张腾飞;张延帅;贵宾华 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H02M9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种沿面击穿放电触发式脉冲引弧电源，并设计了触发式脉冲引弧电源包括整流电路、电容充放电电路和触发控制电路三部分；当电弧主电源的输出电压高于空载输出电压的75％，或输出电流低于30A时，触发控制电路判定阴极电弧源处于熄弧状态，并触发脉冲信号，整流电路同步将交流电220V转换成直流电360V，并开始对电容充电，当充电电压达到360V，光晶闸管VS1自行关断，光晶闸管VS1可靠关断2ms后，触发控制电路给光晶闸管VS2发出一个导通触发脉冲信号，电容的电压通过光晶闸管VS2施加到阴极电弧源的陶瓷触发极上，为陶瓷表面的沿面击穿提供脉冲放电电压。
一种可靠击穿放电触发脉冲电源

[发明专利]一种沿面击穿触发式引弧结构-CN202011468247.8有效
发明人： 肖更竭;蒋钊;周晖;赵栋才;杨拉毛草;魏广;骆水莲;张延帅;贵宾华;马占吉;张腾飞 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开一种沿面击穿触发式引弧结构，包括阴极靶、屏蔽盘、触发极陶瓷、导电片、引弧电极触头、内法兰套、外法兰套、密封圈、接线柱及触发式脉冲电源；阴极靶旁边的真空腔室壁上开一个法兰口，接线柱穿过内外法兰套和密封圈，形成端面压紧密封结构，接线柱细端连接引弧电极触头，接线柱粗端和屏蔽盘固定端通过一个导电片搭桥连接，触发极陶瓷表面涂覆石墨涂层，三个触发极陶瓷均布通过定位销安装在屏蔽盘上，触发极陶瓷一端台阶面要搭载在阴极靶外沿上有效接触，触发式脉冲电源的正极与引弧电极触头连接，负极与阴极电杆连接；本发明引弧结构简单，便于实现和产品小型化，经济成本低，同时提高触发放电的可靠性和引弧稳定性。
一种击穿触发式引弧结构

[发明专利]一种磁路可控式真空阴极电弧离子源-CN201911353751.0有效
发明人：蒋钊;肖更竭;周晖;赵栋才;杨拉毛草;许戩;张延帅;贵宾华 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁路可控式真空阴极电弧离子源，包括电弧离子源壳体，电弧离子源壳体内安装阴极靶座、阴极靶和磁铁，且阴极靶固定于阴极靶座；电弧离子源壳体外壁安装磁轭；所述磁轭由具有顶面的圆筒形磁轭A和圆环形磁轭B组成；磁轭B装在磁轭A内部，且二者接触；磁轭A与电弧离子源壳体之间为自由公差配合，可沿电弧离子源壳体滑动。该弧源的磁轭位置可以调整，通过调整磁轭位置可以调节阴极靶面的磁场强度，并可同步优化阴极靶面的磁场位形分布。
一种磁路可控真空阴极电弧离子源

[发明专利]碳纤维复合材料表面薄膜沉积过程防止层间放气的方法-CN202011464917.9在审
发明人：赵栋才;周晖;吴春华;武生虎;何延春;杨拉毛草;李学磊;马占吉;肖更竭;王虎;杨淼 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳纤维复合材料表面薄膜沉积过程防止层间放气的方法，镀膜过程采用间歇性控制策略，间歇性的检验依据是气压检测，和初始工作气压相比，镀膜过程中真空室内气压升高设定比例为镀膜暂停判据，暂停镀膜至温度降低，然后重新启动镀膜，直至完成整个镀膜过程；本发明能够有效的防止镀膜过程中的升温，而导致的复合材料出气污染介质膜层，保持膜层的性能。
碳纤维复合材料表面薄膜沉积过程防止放气方法

[发明专利]一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置-CN201811565357.9有效
发明人：郑军;杨拉毛草;周晖;赵栋才;马占吉;肖更竭 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置，属于真空镀膜装备制造技术领域。所述装置包括所述装置包括摆动气缸、磁流体、保护挡板、旋转轴和旋转轨道；所述保护挡板为分片式挡板，包括固定挡板和旋转挡板；固定挡板包括左固定挡板和右固定挡板；旋转挡板包括左旋转挡板和右旋转挡板；旋转轴包括左旋转轴和右旋转轴；所述装置利用分片式挡板结合旋转轨道的方法，一方面实现镀膜腔体阴极保护挡板的伸展，完全保护靶材表面，另一方面，所述挡板收缩时折叠于腔体侧壁，仅占据镀膜腔体内的较小空间，不会发生与相邻阴极同时工作时的挡板干涉问题。
一种伸展收缩真空镀膜阴极保护装置

[发明专利]一种装配阴极溅射环的阳极层离子源-CN201811565354.5在审
发明人：郑军;周晖;赵栋才;肖更竭;徐嶺茂;蒋钊 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种装配阴极溅射环的阳极层离子源，属于离子源清洗、刻蚀和薄膜辅助沉积技术领域。所述离子源是在现有通用结构的阳极层离子源的阴极外环上紧密贴合安装阴极外环溅射环和/或在阴极内环上紧密贴合安装阴极内环溅射环获得；所述溅射环安装在阴极的溅射损伤面上，保障阴极不受溅射损害；通过采用场电子发射率高的材料、溅射产额低的材料和/或镀膜待掺杂的材料作为所述溅射环的材料，可实现提高离子源的离子束强度、延长了阳极层离子源的使用寿命以及薄膜掺杂辅助沉积。
阴极溅射阳极层离子源紧密贴合阴极溅射离子源内环装配辅助沉积技术电子发射率离子源清洗薄膜掺杂辅助沉积使用寿命通用结构掺杂的离子束镀膜刻蚀薄膜损伤损害

[发明专利]一种聚焦式阳极层离子源装置-CN201611177539.X在审
发明人： 肖更竭;周晖;赵栋才;马占吉;武生虎;郑军;徐嶺茂;桑瑞鹏 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2016-12-19 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚焦式阳极层离子源装置，包括壳体，在所述壳体内间隔相对设置有阳极环与阴极环，在所述壳体上还固定设置有进气管，所述阳极环与所述阴极环表面均为圆锥面，所述阴极环包括外阴极环与内阴极环，所述外阴极环与所述内阴极环设置在同一圆锥面内，所述阳极环表面锥面与所述阴极环表面锥面相互平行。本发明技术方案结构设计科学合理，将阳极环与阴极环均设置为平行的圆锥面，使产生的离子束向轴心方向聚焦，在聚焦点以远的距离范围形成截面为实心圆的离子束，束流密度集中且截面均匀性好，多组水冷系统的设计，保证对磁路和内阴极环的冷却效果，可延长内阴极环的使用寿命，增加离子源连续高强度工作时间和可靠性。
一种聚焦阳极离子源装置

[发明专利]一种复合材料表面抗冷热冲击导电涂层结构设计方法-CN201510576428.5在审
发明人：武生虎;马占吉;刘孝丽;肖更竭;赵栋才;牟先凯 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合材料表面抗冷热冲击导电涂层结构设计方法，包括确定导电涂层材料、涂层应力模拟仿真分析、涂层结构设计、过渡层材料选择和涂层结构设计优化五个步骤。本发明解决了复合材料表面涂层经过多次冷热交变后产生裂纹，甚至脱落等问题，同时也指导了涂层的工艺制备过程，缩短了研制周期，节约了研制成本。
一种复合材料表面冷热冲击导电涂层结构设计方法

[发明专利]超轻反射镜表面制备反射膜的方法-CN201510576536.2在审
发明人：马占吉;肖更竭;武生虎;牟先凯 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种超轻反射镜表面制备反射膜的方法，包括以下步骤：⑴、镜面处理：用干燥气体对超轻反射镜的表面吹尖处理，用乙醇或丙酮清洗镜面；⑵、真空除气：将经步骤⑴处理后的超轻反射镜固定在真空下加热；⑶、离子束清洗：在真空状态下通氩气或氩气和氧气混合气，对超轻反射镜进行离子束清洗；⑷、沉积反射膜：在超轻反射镜的镜面上镀铬或镍铬合金层，再镀镍或银层。本发明利用对反射镜镜坯化学清洗、真空除气、离子束清洗和沉积反射膜等技术手段，有效提高了反射膜的致密性和附着力，解决了在碳纤维增强树脂基复合材料反射镜镜坯表面制备反射膜的技术难题。
反射表面制备方法

[发明专利]一种缓解复合材料表面金属涂层微裂纹扩展的方法-CN201510576319.3在审
发明人：武生虎;马占吉;肖更竭;赵栋才;刘孝丽;牟先凯 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： C23C14/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种缓解复合材料表面金属涂层微裂纹扩展的方法，包括下列步骤：(1)化学清洗：首先采用棉布蘸丙酮对复合材料表面进行擦洗，然后采用无水乙醇对复合材料表面进行脱水处理；(2)离子束清洗：在真空室通入氩气，确保真空室真空度大于等于1.0×10^-2Pa小于等于5.0×10^-2Pa，离子束清洗时间大于等于30min小于等于60min；(3)梯度过渡层制备：在介质为Ar等离子体气氛中，在复合材料表面制备梯度过渡层；（4）多层结构金属功能涂层制备：在介质为Ar等离子体气氛中，在过渡层表面制备多层结构的金属功能涂层。本发明提高了涂层与复合材料基底之间的匹配性，降低了涂层内应力，缓解了复合材料表面金属涂层在冷热交变下产生裂纹和裂纹扩展问题。
一种缓解复合材料表面金属涂层裂纹扩展方法

[发明专利]超轻反射镜的制造方法-CN201510576349.4在审
发明人：马占吉;武生虎;肖更竭;牟先凯 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种超轻反射镜的制造方法，包括以下步骤：⑴、反射镜坯体成型：采用热压固化法成型碳纤维树脂基复合材料反射镜坯体；⑵、反射镜坯体抛光：采用机械抛光技术对碳纤维树脂基复合材料反射镜坯体表面进行抛光处理；⑶、反射膜沉积：采用真空离子镀技术在反射镜坯体表面沉积反射膜；⑷、反射膜抛光：采用机械抛光与离子抛光技术对反射膜进行抛光处理。本发明利用热压固化法成型碳纤维复合材料反射镜坯体，利用真空镀膜方法在反射镜坯表面沉积反射层，利用抛光技术获得反射镜光学要求，解决了超轻碳纤维复合材料反射镜制造的技术难题。
反射制造方法

[发明专利]一种滚珠表面镀膜的装置-CN201410834542.9有效
发明人：赵栋才;肖更竭;马占吉;武生虎;任妮 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种滚珠表面镀膜的装置。本发明采用将上转盘通过限位孔与固定架固定，而下转盘与旋转轴相连的方式，即下转盘转动，上转盘固定不动，使得滚珠的各表面与旋转轴的旋转中心的距离不一样，进而导致滚珠的自转，使得直线传播的膜料均匀沉积在滚珠表面，使得滚珠表面的膜层更加均匀。
一种滚珠表面镀膜装置

[发明专利]一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置与方法-CN201010523120.1有效
发明人：赵栋才;肖更竭;马占吉;武生虎;任妮 -专利权人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所
申请日： 2010-10-26 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置，包括激光器、平面镜、凸透镜，真空室、靶材、水冷管，还包括连动装置，工件架，导轨，其中导轨与真空室壁连接，工件架设有可沿导轨运动的滚轮，工件架一端与连动装置相连接，通过连动装置可以带动工件架在导轨上运动。本发明还涉及一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的方法。使用本发明所述装置和方法可以实现脉冲激光内腔镀膜，且能实现多种薄膜沉积。
一种使用脉冲激光在内表面镀膜装置方法

[发明专利]采用电弧离子镀技术在聚四氟乙烯表面镀导电薄膜的方法-CN201010522808.8有效
发明人：马占吉;肖更竭;武生虎;赵栋才;任妮 -专利权人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所
申请日： 2010-10-26 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： C23C14/20 文献下载
摘要：本发明涉及采用电弧离子镀技术在聚四氟乙烯表面镀导电薄膜的方法，属于表面工程技术领域。利用电弧离子镀技术，依次采用加热工件、离子束清洗和镀过渡层的方法，在聚四氟乙烯表面镀导电薄膜，将聚四氟乙烯工件放入到真空室内，加热；导入Ar和O2的混合气体；打开离子源对聚四氟乙烯工件进行离子束清洗；关闭离子源和供气系统，打开Cr或NiCr电弧源，镀Cr或NiCr过渡层；关闭Cr或NiCr电弧源；加脉冲偏压，打开Al、Cu或Au电弧源，镀Al、Cu或Au导电薄膜。本发明在聚四氟乙烯表面镀金属导电薄膜具有薄膜致密、附着牢固、厚度均匀可控和可以实现复杂曲面工件镀膜等优点，达到了工程应用水平。
采用电弧离子镀技术聚四氟乙烯表面导电薄膜方法

[发明专利]一种电弧离子镀CN薄膜的方法-CN201010522818.1有效
发明人：马占吉;赵栋才;武生虎;肖更竭;任妮 -专利权人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所
申请日： 2010-10-26 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种电弧离子镀CN薄膜的方法，属于表面工程技术领域。在石墨电弧源工作的过程中，通过离子源辅助引入N元素，从而制备了CN薄膜；通过调节N2气流量和石墨电弧源的工作频率，可以改变CN薄膜中的N含量，获得综合性能优异的耐磨损CN薄膜；CN薄膜为非晶态，薄膜厚度可以达到3μm；采用电弧离子镀技术制备的CN薄膜可以应用于复杂曲面精密工件表面的耐磨损处理；本发明采用电弧离子镀技术制备的CN薄膜硬度大于30GPa；CN薄膜中的N元素含量可控，易于实现CN薄膜性能优化；采用电弧离子镀技术可以在复杂曲面工件表面镀CN薄膜。
一种电弧离子镀 cn 薄膜方法

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