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[实用新型]一种可等距调节的半导体硅片夹持器-CN202223164451.8有效
发明人：张庆旭;吴雄杰;肖春柳;聂早早;王志雄;白超;余天威;徐佳俊;刘伟;代明明 -专利权人：浙江海纳半导体股份有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体硅片生产技术领域，具体地说，涉及一种可等距调节的半导体硅片夹持器，包括主体支架，还包括：设置于主体支架内部的等距调节机构，包括设置于主体支架顶面的调节螺母、与调节螺母螺纹连接且延伸到主体支架内的调节螺丝以及连接于调节螺丝底端的第一导轨槽，主体支架底端于第一导轨槽正下方处固定有第二导轨槽，第二导轨槽底部连接有支撑架；设置于主体支架底部的用于夹取及释放硅片的夹持机构，包括若干等间距设置于支撑架底端的真空吸笔。本实用新型可以同时夹取和释放多枚硅片，并且可以在夹取后对硅片间的距离进行等距调节，期间不需单枚取放硅片，可以极大地增加工作效率，还可以有效避免硅片划伤、擦伤。
一种等距调节半导体硅片夹持

[发明专利]一种高效的硅片夹取转移装置及其转移方法-CN202210731190.9在审
发明人：吴雄杰;潘金平;肖世豪;沈益军;饶伟星;张立安;肖春柳;冯小娟;苏文霞;白超 -专利权人：浙江海纳半导体股份有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效的硅片夹取转移装置及其转移方法，包括第一部件、第二部件、第三部件和第四部件，所述第一部件包括安装片，所述安装片的一端一体化成型有凸起块，所述凸起块与安装片表面之间形成弧形沟，所述安装片的上部表面开设有方孔，所述第二部件包括手柄和固定块，所述手柄的一端安装有固定块，所述固定块的底部表面依次均匀开设有安装槽，且安装槽的厚度与安装片表面厚度相匹配，所述安装片的一端插接至固定块上的安装槽处。本发明能够一次性夹取整篮硅片，有效提高转移效率，检查转移完成后的硅片表面，没有沾污发生，有效保证产品的质量。
一种高效硅片转移装置及其方法

[实用新型]一种双面抛光机刷盘结构-CN202120994397.6有效
发明人：吴雄杰;张立安;肖世豪;肖春柳;潘金平;余求俊;王伟棱;许琴;沈益军;饶伟星 -专利权人：浙江海纳半导体有限公司
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及抛光机刷盘技术领域，具体为一种双面抛光机刷盘结构，在刷盘上分布设置安装孔，双头毛刷由尼龙刷毛和不锈钢片构成，不锈钢片围绕若干尼龙刷毛的中部，包裹住尼龙刷毛，形成一个不锈钢管，不锈钢管与安装孔适配，不锈钢管与安装孔紧密插接，不锈钢管的直径大于安装孔的孔径，尼龙刷毛两端露在刷盘外。上述结构整个结构紧凑稳定，如果在使用过程中，不易掉毛，更耐腐蚀，不易生锈、腐烂，如果在抛光过程中，尼龙刷毛上沾上抛光物或者有损坏导致抛光不均匀，只要修剪尼龙刷毛头部即可，使用也更方便，大大节省了成本。
一种双面抛光机盘结

[实用新型]一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置-CN202121534549.0有效
发明人：吴雄杰;张立安;肖春柳;高海军;郑欢欣;朱贞军;许琴;王伟棱;余求俊;饶伟星 -专利权人：浙江海纳半导体有限公司
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，包括驱动组件、第一搬运手组件、第二搬运手组件以及与第一搬运手组件、第二搬运手组件相适配使用的两组放置盘组件，驱动组件包括驱动电机和第一传动齿轮，第一传动齿轮键连接于驱动电机的输出轴端，放置盘组件对称设置有两组，且两组放置盘组件之间设置有支撑板，驱动电机通过固定架固定安装于支撑板的下端。本实用新型通过采用一个驱动电机同时驱动第一搬运手组件和第二搬运手组件，并使第一搬运手组件和第二搬运手组件的运行角度完全一致，并且采用摆动式搬运，搬运行程得到缩减，不仅提高了搬运效率，同时采用第一搬运手组件和第二搬运手组件进行搬运，还能增强搬运中平衡性。
一种快速高效抛光机陶瓷搬运装置

[发明专利]一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置-CN202110766980.6在审
发明人：吴雄杰;潘金平;肖世豪;沈益军;饶伟星;张立安;肖春柳;高海军;郑欢欣;朱贞军 -专利权人：浙江海纳半导体有限公司
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，包括驱动组件、第一搬运手组件、第二搬运手组件以及与第一搬运手组件、第二搬运手组件相适配使用的两组放置盘组件，驱动组件包括驱动电机和第一传动齿轮，第一传动齿轮键连接于驱动电机的输出轴端，放置盘组件对称设置有两组，且两组放置盘组件之间设置有支撑板，驱动电机通过固定架固定安装于支撑板的下端。本发明通过采用一个驱动电机同时驱动第一搬运手组件和第二搬运手组件，并使第一搬运手组件和第二搬运手组件的运行角度完全一致，并且采用摆动式搬运，搬运行程得到缩减，不仅提高了搬运效率，同时采用第一搬运手组件和第二搬运手组件进行搬运，还能增强搬运中平衡性。
一种快速高效抛光机陶瓷搬运装置

[实用新型]水泥土桩夯实机-CN201220001911.2有效
发明人：张广路;肖春柳;王栋 -专利权人：张广路
申请日： 2012-01-05 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： E02D3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种水泥土桩夯实机，它包括主支架、滑动支架和设备支架三大部分组成，重锤杆上下贯穿于三个支架的中心，底部装重锤。主支架座落在装置下部，由方钢管焊接而成，下设四个可调高度的铁脚及螺栓。滑动支架安装在主支架上方并可在主支架上左右滑动。设备支架安装在滑动支架上面、可在滑动支架上前后滑动。设备支架上装电机、减速机及两个凹槽偏心轮、重锤杆挡板等。重锤形状为一锥台。通过调整滑动支架和设备支架，能够准确地使重锤落入复合地基的成孔内，并连续夯实孔内填土。本实用新型的夯实机具有工作效率高，结构简单、操作灵活、安拆方便等优点，可广泛用于土木工程水泥土桩和碎石桩方面的夯实工作。
水泥夯实