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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]高纯度分配单元-CN201710687320.2有效
发明人：安东·J·德维利耶;罗德尼·L·罗宾森;罗纳德·纳斯曼;大卫·特拉维斯;詹姆斯·格罗特格德;小诺曼·A·雅各布森 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-08-11 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种高纯度分配单元。本文的技术包括一种基于囊状部的分配系统，该分配系统使用了构造成选择性地扩张及收缩以帮助进行分配动作的长形囊状部。该分配系统对通常伴随着用于微型品制造的流体过滤而出现的过滤器滞后进行补偿。该分配系统还提供了一种高纯度和高精度的分配单元。模块化液压单元容置长形囊状部以及与囊状部的外表面接触的液压流体。当加压的过程流体位于长形囊状部中时，液压控制可以选择性地使囊状部上的压力减小以引起扩张并且随后选择性地使液压压力增大，以帮助进行分配动作。
纯度分配单元

[发明专利]用于基板的后侧沉积的系统和方法-CN201880049587.1有效
发明人： 罗纳德·纳斯曼;赫里特·勒斯因克;罗德尼·罗宾森;姜浩英;丹尼尔·富尔福德 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本文的技术包括用于将薄膜沉积到晶片的后侧表面以减少晶片弯曲和晶片变形的处理室。基板支承件提供围绕晶片的底部和/或侧面的环形周边密封，该基板支承件允许大部分基板后侧暴露于处理环境。被支承的晶片将室分成提供不同处理环境的下室和上室。处理室的下区段包括被配置成施加和移除薄膜的沉积硬件。上区段可以保持化学惰性环境，保护晶片顶部表面上的现有特征。使用多个排气部和压力差来防止沉积气体接近晶片的工作表面。
用于沉积系统方法

[发明专利]具有高流量和高均匀性的使用点动态浓度输送系统-CN202080032161.2在审
发明人： 罗纳德·纳斯曼;利奥尔·胡利;安东·德维利耶;罗德尼·罗宾森;诺曼·雅各布森;詹姆斯·格罗特格德 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：描述了一种用于在给定的分配期间以极高的均匀性和可重复性按动态变化或静态的比率混合液体化学品的方法和系统。混合器包括多个流体供应管线，该多个流体供应管线包括细长囊，这些细长囊限定线性流动路径且被配置为横向地扩展以收集过程流体并且横向地收缩以将选定体积的过程流体输送到该混合器。
具有流量均匀使用动态浓度输送系统

[发明专利]直列式分配容器系统-CN201680044469.2有效
发明人：安东·J·德维利耶;罗纳德·纳斯曼;詹姆斯·格罗特格德;小诺曼·A·雅各布森 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-06-22 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：公开了一种流体分配装置和方法。系统包括直列式或直线形囊状部装置阵列，该囊状部装置阵列被构造成膨胀以收集一定量的流体并且收缩以协助流体输送和分配。该囊状部阵列被布置在具有压力控制流体的室内，该压力控制流体对囊状部阵列中的每个囊状部的外表面是公共的。同时，直线形囊状部阵列内的一些囊状部可以正分配流体或保持流体，而一些囊状部正在收集流体。给定的过滤速率可以小于分配速率，并且因此本文中的系统补偿通常伴随着用于微制造的流体过滤的过滤滞后，同时提供减少缺陷产生的机率的大致直线形构造。使用多个囊状部，可以准备多种不同类型的流体来进行选择性的分配。
直列式分配容器系统

[发明专利]用于使用经校准的修整剂量校正关键尺寸的方法-CN201980019971.1在审
发明人：安东·德维利耶;罗纳德·纳斯曼;杰弗里·史密斯 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本文中的技术包括处理和系统，通过所述处理和系统可以减轻或校正可再现的CD变化图案，以经由分辨率增强从微加工的图案化工艺中产生期望的CD。识别跨一组晶片的CD变化的可重复部分，然后生成校正曝光图案。直写式投射系统使这种校正图案作为分量曝光、增强曝光或部分曝光而曝光在基板上。常规的基于掩模的光刻系统执行作为第二分量曝光或主要分量曝光的初级图案化曝光。两个分量曝光在组合时增强图案化曝光的分辨率以在无需对每个晶片进行测量的情况下改善正在被处理的基板上的CD。
用于使用校准修整剂量校正关键尺寸方法

[发明专利]直列式分配容器-CN201580005571.7有效
发明人：安东·德维利耶;罗纳德·纳斯曼;詹姆斯·格罗特格德;小诺曼·A·雅各布森 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2015-01-21 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：公开了一种流体分配装置。系统包括直列式或直线形囊状部装置，该囊状部装置构造成扩张以收集一定量的流体并且收缩以有助于流体输送及分配。在分配关闭期间，在过程流体被推动通过精细过滤器(微过滤器)之后，过程流体可以收集在该囊状部中。给定的过滤速率可以比分配速率小，并且因而本文中的系统对通常与微型品制造的流体过滤相伴随的过滤器滞后进行补偿，同时提供能够减小缺陷形成的机会的大致直线形构型。
直列式分配容器

[发明专利]具有弯液面控制的高精度分配系统-CN201710687321.7在审
发明人：安东·J·德维利耶;罗德尼·L·罗宾森;大卫·特拉维斯;罗纳德·纳斯曼;詹姆斯·格罗特格德;小诺曼·A·雅各布森;大卫·黑策;利奥尔·胡利;乔舒亚·S·霍格 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-08-11 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于分配流体的装置。本文中的技术方案包括使用长形囊状部的基于囊状部的分配系统，该长形囊状部扩张以及收缩以辅助分配动作。该分配系统对通常与微型品制造的流体过滤相伴随的过滤器滞后进行补偿。该分配系统还提供了高纯度且高精度的分配单元。弯液面传感器检测过程流体在喷嘴处的弯液面的位置。长形囊状部单元通过使囊状部选择性地扩张或收缩而用于使弯液面的位置保持在特定位置处，从而移动弯液面位置或保持弯液面位置。长形囊状部的扩张还用于在完成分配动作之后的回吸动作。
具有液面控制高精度分配系统

[发明专利]高纯度分配系统-CN201710687322.1在审
发明人：安东·J·德维利耶;罗德尼·L·罗宾森;大卫·特拉维斯;罗纳德·纳斯曼;詹姆斯·格罗特格德;小诺曼·A·雅各布森;大卫·黑策;利奥尔·胡利;乔舒亚·S·霍格 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-08-11 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：文中的技术包括一种基于囊状部的分配系统，该分配系统使用了构造成选择性地扩张及收缩以帮助进行分配动作的长形囊状部。该分配系统对通常伴随着用于微型品制造的流体过滤而出现的过滤器滞后进行补偿。该分配系统还提供了一种高纯度和高精度分配单元。过程流体过滤器位于过程流体源以及系统阀的下游。过程流体过滤器的下游未设置阀门。分配动作可以在系统阀打开时通过利用长形囊状部而开始及停止。该长形囊状部可以扩张以使分配动作停止或暂停，以及可以收缩以帮助进行分配动作。
纯度分配系统

[发明专利]高温静电卡盘和使用方法-CN200980128987.2有效
发明人： 罗纳德·纳斯曼;罗德尼·李·罗宾森;藤里敏章 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2009-07-13 - 公布日： 2011-06-22 - 主分类号： B23B31/28 文献下载
摘要：本发明描述了一种为高温减压处理所构造的静电卡盘。静电卡盘包括具有静电夹紧电极和可选加热元件的卡盘主体，和具有传热表面的散热器主体，所述传热表面被布置为与卡盘主体的内表面呈密切关系，其中静电夹紧电极被构造为将衬底夹紧在卡盘主体的外表面上，并且其中由于内表面和传热表面的密切关系，散热器主体被构造为从卡盘主体移除热量。静电卡盘还包括构造为支撑卡盘主体和散热器主体的平台组件，和膨胀接头，所述膨胀接头设置在卡盘主体和平台组件之间，并且被构造为在适应卡盘主体和平台组件的差异热膨胀的同时将卡盘主体密封连接到平台组件。
高温静电卡盘使用方法

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