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[发明专利]对于正交误差和微机械加工不准确性具有降低的敏感性的惯性传感器-CN201510271924.X有效
发明人：邝锦波;约翰·A·吉恩 -专利权人：美国亚德诺半导体公司
申请日： 2010-07-27 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明涉及对于正交误差和微机械加工不准确性具有降低的敏感性的惯性传感器。对于正交误差和微机械加工不准确性的敏感性降低的惯性传感器包括结合用于感测围绕器件平面中的两条正交轴线，即敏感性轴线的旋转的、两个被专门地配置的单一轴线陀螺仪的陀螺仪，其中每一个单一轴线陀螺仪均包括具有被叉子相互连接的两个被以旋转方式颤动的梭子的共振器并且每一个梭子均被配置为沿着垂直于敏感性轴线的倾斜轴线向面外倾斜，并且包括沿着垂直于倾斜轴线，即平行于敏感性轴线的轴线定位的相应的科里奥利感测电极。该两个单一轴线陀螺仪可以被例如将叉子和/或梭子相互连接的一个或者多个同相或者反相耦合件相互连接。
对于正交误差微机加工准确性具有降低敏感性惯性传感器

[发明专利]钨MEMS结构的制造-CN201510158150.X有效
发明人： 约翰·A·吉恩;G·M·摩尔纳;G·S·戴维斯;B·马;K·J·库勒;J·迪莫那;K·弗兰德 -专利权人：美国亚德诺半导体公司
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及钨MEMS结构的制造。在低温下制造厚的(即，大于2微米)精细颗粒的低应力的钨MEMS结构，尤其对于所谓的“MEMS最后”制造处理(例如，在制造了电子电路之后制造MEMS结构时)。公开了用于精确地从沉积的钨层刻蚀出结构细节以及用于坚固地并稳定地将钨层锚定至下面的衬底的手段。而且，公开了用于去除移动钨层下的牺牲层而不破坏钨或允许其被表面拉力向下拉和吸取的手段。
mems 结构制造

[发明专利]包括多个谐振结构的装置和带有正交抑制的显微加工的传感器-CN201210111352.5有效
发明人： 约翰·A·吉恩 -专利权人：美国亚德诺半导体公司
申请日： 2003-02-06 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明涉及包括多个谐振结构的装置和带有正交抑制的显微加工的传感器。此传感器包括正交抑制电极和邻近正交抑制电极定位的、能与正交抑制电极基本平行移动的谐振器质量，该谐振器质量包括槽口，此槽口邻近正交抑制电极的一部分而形成，使得直接邻近正交抑制电极的谐振器质量的长度随着谐振器质量相对于正交抑制电极移动而变化，其中该正交抑制电极能对谐振器质量产生横向力，该横向力根据直接邻近正交抑制电极的谐振器质量的长度而变化。上述谐振结构包括通过第一挠性件连接的第一对质量和通过第二挠性件连接的第二对质量，每个质量均由悬挂挠性件悬挂，第一和第二挠性件允许所述质量在其谐振时稍稍转动，以减小悬挂挠性件中的纵向应力。
包括谐振结构装置带有正交抑制显微加工传感器

[发明专利]六自由度微机械多传感器-CN200910211502.8有效
发明人： 约翰·A·吉恩 -专利权人：模拟器件公司
申请日： 2004-04-27 - 公布日： 2010-05-05 - 主分类号： G01P9/04 文献下载
摘要：一种六自由度微机械多传感器(100)，其在单个多传感器设备中提供3个加速度感测轴和3个角速度感测轴。该六自由度微机械多传感器设备包括：提供2个加速度感测轴和1个角速度感测轴的第一多传感器子结构(103)；以及提供第三加速度感测轴以及第二和第三角速度感测轴的第二多传感器子结构(105)。该第一和第二多传感器子结构在六自由度的多传感器设备内的不同衬底上实现。
自由度微机传感器

[发明专利]交叉四元和垂直接合的惯性传感器-CN200680012422.4有效
发明人： 约翰·A·吉恩;邝锦波 -专利权人：模拟设备公司
申请日： 2006-04-06 - 公布日： 2008-04-09 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种包括四个传感器元件的交叉四元结构的惯性传感器。每一个传感器元件具有框架及悬置在框架内的谐振器。布置传感器元件使得允许框架彼此反相移动，但基本防止框架彼此同相移动。这些传感器元件可以以水平接合的布置方式、垂直接合的布置方式或完全接合(即，水平和垂直接合)的布置方式配置。可以垂直接合一对传感器元件。
交叉垂直接合惯性传感器

[发明专利]带有传感元件的线性阵列的惯性传感器-CN200580015514.3有效
发明人： 约翰·A·吉恩 -专利权人：模拟设备公司
申请日： 2005-04-14 - 公布日： 2007-04-25 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：一种惯性传感器，其包括布置成线性阵列的至少一对传感元件。各传感元件具有框架和悬置在框架内部的可动质量体。各对传感元件的框架可耦合成，允许框架沿平行轴线彼此反相位移动，但基本上防止框架彼此同相位移动。
带有传感元件线性阵列惯性传感器

[发明专利]用于惯性传感器的耦合设备-CN200580015559.0有效
发明人： 约翰·A·吉恩;威廉姆·A·克拉克;邝锦波 -专利权人：模拟设备公司
申请日： 2005-04-14 - 公布日： 2007-04-25 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：一种耦合设备，其允许惯性传感元件框架反相位运动，但基本上防止框架同相位运动。该耦合设备包括耦合在第一和第二传感元件框架之间的至少一个杆和支撑所述杆的至少一个支撑结构。所述至少一个结构耦合到框架下方的基板上。当框架沿基本上平行的轴线彼此反相位移动时，所述结构允许所述杆绕一枢转点旋转，但基本上防止框架同相位运动。
用于惯性传感器耦合设备

[发明专利]六自由度微机械多传感器-CN200480018294.5有效
发明人： 约翰·A·吉恩 -专利权人：模拟器件公司
申请日： 2004-04-27 - 公布日： 2006-08-02 - 主分类号： G01P9/04 文献下载
摘要：一种六自由度微机械多传感器(100)，其在单个多传感器设备中提供3个加速度感测轴和3个角速度感测轴。该六自由度微机械多传感器设备包括：提供2个加速度感测轴和1个角速度感测轴的第一多传感器子结构(103)；以及提供第三加速度感测轴以及第二和第三角速度感测轴的第二多传感器子结构(105)。该第一和第二多传感器子结构在六自由度的多传感器设备内的不同衬底上实现。
自由度微机传感器

[发明专利]提供两个加速度检测轴和一个角速度检测轴的微加工多传感器-CN200480018273.3有效
发明人： 约翰·A·吉恩 -专利权人：模拟器件公司
申请日： 2004-04-27 - 公布日： 2006-08-02 - 主分类号： G01P9/04 文献下载
摘要：一种微加工多传感器(300)，其提供两个加速度检测轴和一个角速度检测轴。该多传感器包括刚性加速计框架(330)、第一检验质量块(332)和第二检验质量块(334)。衬底具有在衬底平面中的两个关联的加速度轴(Y，X)和垂直于加速度轴的一个关联的旋转轴(Z)。检验质量块具有共同的振动轴(x)，该振动轴垂直于旋转轴(Z)。该多传感器还包括使检验质量块反相振动的驱动电极结构(246.1－246.2，248.1－248.2)、沿其中一个加速度轴布置的第一对加速度检测电极结构(A，B)、和沿另一个加速度轴布置的第二对加速度检测电极结构(C，D)。该多传感器(314，318)将由各个检测电极对产生的检测信号相加以提取与沿着加速度轴的加速度检测相关的信息，并且将由各个检测电极对产生的检测信号的差值(316，320)相加(322)以提取与相对于旋转轴的角速度检测相关的信息。
提供两个加速度检测一个角速度加工传感器

[发明专利]提供一个加速度检测轴和两个角速度检测轴的微加工多传感器-CN200480018291.1有效
发明人： 约翰·A·吉恩 -专利权人：模拟器件公司
申请日： 2004-04-27 - 公布日： 2006-08-02 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：一种微加工多传感器提供一个加速度检测轴和两个角速度检测轴。所述多传感器包括多个加速计，每个加速计包括通过多个挠曲锚固到和悬挂在衬底上的质量块。每个加速计进一步包括沿各个质量块的横轴和纵轴布置的加速度检测电极结构。所述多传感器包括叉形元件，该叉形元件联接所述质量块以允许所述质量块的相对反相运动，并且防止所述质量块的同相运动，还包括驱动电极结构，该驱动电极结构用于反相旋转地振动所述质量块。所述多传感器沿各个质量块的横轴和纵轴提供在电学上无关的加速度检测信号，所述加速度检测信号被相加和/或相减以获得一个加速度检测轴和两个角速度检测轴。
提供一个加速度检测两个角速度加工传感器

[发明专利]具有同轴和离轴方位的微机械设备结构-CN200480018404.8有效
发明人： 约翰·A·吉恩 -专利权人：模拟器件公司
申请日： 2004-04-27 - 公布日： 2006-08-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种微机械多传感器，其提供1个加速度感测轴和2个角速度感测轴。制造所述微机械多传感器的方法包括：在衬底的表面上淀积牺牲材料层或结构材料层。随后利用预定掩膜图案来掩蔽牺牲材料层或结构材料层。使用具有多水平和垂直间距的直线栅格来形成所述预定掩膜图案。所述掩膜图案定义所述传感器设备的功能元件。在所述微机械多传感器具有至少一个其对准和/或宽度是所述传感器设备的性能的关键的第一功能元件的情况下，定义所述关键元件，使得其纵轴基本上平行于所述掩膜的水平轴或垂直轴。在所述微机械多传感器具有至少一个其对准和/或宽度不是所述传感器设备的性能的关键的第二功能元件的情况下，定义所述非关键元件，使得其纵轴不平行于所述掩膜的水平轴或垂直轴。
具有同轴方位微机设备结构

[发明专利]显微加工的陀螺仪-CN03803436.0有效
发明人： 约翰·A·吉恩 -专利权人：模拟设备公司
申请日： 2003-02-06 - 公布日： 2005-06-15 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：一种显微加工的陀螺仪利用科氏加速度检测并测量绕垂直于该基片表面的轴线的旋转速率。特别是，各种谐振结构悬挂在框架内。该谐振结构包括机械地连接的相位和反相位质量，以便产生用于整个谐振系统的单一谐振频率。该显微加工陀螺仪绕轴线的旋转产生作用在该框架上的旋转力。该框架以这样的方式悬挂，使其除旋转方向之外沿所有方向的运动被严格地限制。在该框架所有边上的传感器检测该框架的旋转的偏转，用于测量方向的变化。
显微加工陀螺仪

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