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[实用新型]清洁工具-CN202223461170.9有效
发明人：赵立刚 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-24 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B08B1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种清洁工具，所述清洁工具包括：旋转件，所述旋转件设有两个以上工作面，两个以上所述工作面沿所述旋转件的周向依次设置；清洗件，所述清洗件为两个以上，且两个以上所述清洁件与所述工作面为一一对应设置，每一所述清洁件与一个所述工作面连接；把手，所述把手与所述旋转件的至少一端转动连接，所述旋转件能够绕自身轴线转动。在工作过程中，使用者操作把手，使得清洁件抵触在残胶位置，对残胶和污渍进行清洁，并且通过转动旋转件，从而能够改变不同的工作面抵触在待清洁位置，当不同工作面设置为不同的清洁材质时，还能够快速改变清洁效果，从而有利于提高本清洁工具对残胶的清洁效果和清洁效率。
清洁工具

[实用新型]辅助拆卸工具-CN202223384495.1有效
发明人：程刚 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种辅助拆卸工具，涉及集成电路制造技术领域。所述辅助拆卸工具用于拆卸PVD设备的环形件，环形件安装于所述加热器上，加热器具有孔位，所述辅助拆卸工具包括膨胀卡座和顶杆，所述膨胀卡座具有变形部，所述变形部能够通过挤压形变卡设于所述加热器的孔位中，所述膨胀卡座上开设有供所述顶杆穿过的第一通孔，所述顶杆能够在所述第一通孔内移动。本实用新型利用加热器本身存在的孔位，无需对PVD设备进行改造，将膨胀卡座通过变形部的挤压形变卡接在加热器的孔位中，为顶杆提供固定支点，从而便于顶杆逐步螺纹旋进并将环形件顶起，实现环形件与加热器的快速拆卸作业，提升了拆卸效率以及安全性。
辅助拆卸工具

[发明专利]磷酸刻蚀残留物的清洗方法、硅晶片及其加工方法、芯片-CN202310533405.0在审
发明人：欧阳文森;王胜林 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种磷酸刻蚀残留物的清洗方法、硅晶片及其加工方法、芯片。该磷酸刻蚀残留物的清洗方法包括：对磷酸刻蚀后的样品进行第一水洗，第一水洗的温度为55℃~70℃；对第一水洗后的样品进行SC1清洗液清洗，SC1清洗液清洗的温度为60℃~70℃；对SC1清洗液清洗后的样品进行第二水洗，第二水洗的温度为55℃~70℃；对第二水洗后的样品进行IPA干燥；对IPA干燥后的样品进行灰化处理；对灰化处理后的样品进行高温硫酸清洗，高温硫酸清洗的温度为110℃~120℃。该磷酸刻蚀残留物的清洗方法对于磷酸残留物的去除效果较好，能够减少样品表面的磷酸残留物的量，同时能够减少样品表面水痕的出现。
磷酸刻蚀残留物清洗方法晶片及其加工芯片

[发明专利]晶圆刻蚀的控制方法、装置、计算机设备和存储介质-CN202310507292.7在审
发明人：伍林;舒思桅 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆刻蚀的控制方法、装置、计算机设备和存储介质。晶圆刻蚀的控制方法包括：获取反应腔的边缘区域的边缘刻蚀参数以及中心区域的中心刻蚀参数；确定反应腔的边缘区域的目标边缘刻蚀参数以及中心区域的目标中心刻蚀参数；根据边缘刻蚀参数、中心刻蚀参数、目标边缘刻蚀参数以及目标中心刻蚀参数调节反应腔内的刻蚀气体流量以及中心比率；其中，中心比率为反应腔的中心区域与边缘区域的刻蚀气体流量之比。本申请提供的晶圆刻蚀的控制方法能够使得边缘刻蚀参数始终保持在目标边缘刻蚀参数附近，并使得中心刻蚀参数始终保持在目标中心刻蚀参数附近，从而能够避免晶圆的刻蚀均匀性下降。
刻蚀控制方法装置计算机设备存储介质

[实用新型]密封圈拆卸工具-CN202223333915.3有效
发明人：李建冲;张建龙 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B25B27/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种密封圈拆卸工具，包括握持手柄及至少一个翘曲件，所述翘曲件设置在所述握持手柄的端部，所述翘曲件背离所述握持手柄的一端设有一插入部，所述插入部的厚度朝背离所述握持手柄的方向逐渐减小。利用本实施例提供的密封圈拆卸工具拆卸机台上的密封圈时，可将所述插入部从所述密封圈与所述机台的缝隙处平直插入，然后向上翘曲所述握持手柄，即可使所述密封圈逐渐松动并脱离所述机台。由于所述插入部的厚度朝背离所述握持手柄的方向逐渐减小，相比于现有技术中的倒钩能够更轻易地插入所述密封圈与所述机台的缝隙处，不容易损坏所述密封圈。
密封圈拆卸工具

[实用新型]螺钉拆卸工具-CN202223354999.9有效
发明人：席晨宇;陈泽杰 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B25B27/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种螺钉拆卸工具，用于拆卸一安装孔内的螺钉，安装孔内具有与螺钉螺纹连接的内螺纹孔，螺钉拆卸工具包括工具主体以及活动套设在工具主体外的定位套、弹性件和限位套，定位套位于工具主体的前端并用于插入安装孔内，限位套位于工具主体的后端，弹性件的两端分别与定位套及限位套连接，螺钉拆卸工具具有自然状态和工作状态；自然状态下，工具主体的前端位于定位套内，弹性件自然伸长；工作状态下，定位套至少部分位于安装孔内，工具主体的前端能够伸出定位套并与螺钉接触，弹性件被压缩。在狭窄空间拆装无法看到的螺钉时，通过定位套能够缩小螺钉的范围，以便工具主体快速定位到螺钉的位置，进而实现对螺钉的快速拆卸。
螺钉拆卸工具

[实用新型]恒温水路监测装置及系统、PVD设备-CN202223420458.1有效
发明人：胡德锴;张会周 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型提供一种恒温水路监测装置及系统、PVD设备，涉及集成电路制造技术领域。所述恒温水路监测装置包括：壳体，内部具有供冷却液流通的腔体，且所述腔体与循环水路连通；传感器组件，置于所述腔体内部，用于监测所述腔体内冷却液的温度和冷却液流出腔体的水压；显示器，与所述传感器组件电连接，用于显示温度参数以及压力参数。本实用新型通过传感器组件监测冷却液的温度和冷却液流出腔体的水压，便于工作人员观察PVD设备工作中冷却液的温度及压力变化，可便于工作人员快速作出应对措施，保证设备的正常运行，提升设备平均使用寿命。
恒温水路监测装置系统 pvd 设备

[实用新型]一种机械手臂的辅助校准工具-CN202320076465.X有效
发明人：陈辉堂;严超雄;李家明 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种机械手臂的辅助校准工具，包括：机械手、校准工具及定位销，其中，机械手位于去胶机台的传送腔内，机械手包括固定柱及固定于固定柱上的机械手臂，机械手臂包括第一机械手臂部及第二机械手臂部，且第二机械手臂部上设有第一校准孔及第二校准孔；校准工具包括校准工具主体及卡板组，卡板组包括至少两个间隔预设距离的卡板，卡板固定于校准工具主体上，两个相邻卡板之间的间隙作为卡槽，且所述卡板上设有多个定位孔，第一校准孔及第二校准孔分别与卡板上的两个不同的定位孔相对应；定位销插入定位孔内。本实用新型的校准工具，提升了机械手臂的校准成功率，间接降低了晶圆的报废率，提高了机械手臂的校准效率。
一种机械手臂辅助校准工具

[实用新型]一种蚀刻氧化机台的辅助装置-CN202223544834.8有效
发明人：王开毅 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01J37/16 文献下载
摘要：本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种蚀刻氧化机台的辅助装置，包括机台主体、与机台主体活动连接的腔体盖板以及设于机台主体和腔体盖板之间的防护主体，机台主体上设有静电吸附盘，在腔体盖板上且与静电吸附盘对应处设有目标电极，腔体盖板通过电极螺丝与目标电极可拆卸连接；防护主体套设在静电吸附盘上，包括基座，以及一体连接在基座上的凸台，凸台上固定连接有承载垫，承载垫与目标电极抵接或保持有一定距离，基座背离凸台的一侧开设有与静电吸附盘相匹配的匹配槽，承载垫与凸台的外轮廓平齐且由聚氯乙烯发泡材料制成。本申请提高了蚀刻氧化机台的电极拆装效率及安全性。
一种蚀刻氧化机台辅助装置

[实用新型]叉盖装置及半导体工艺设备-CN202320113708.2有效
发明人：李金玉;巩雨锋 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种叉盖装置及半导体工艺设备，所述叉盖装置包括：透明保护罩，所述透明保护罩的一端具有一开口；至少两个把手，设置于所述透明保护罩的外壁上；至少两个支撑板，设置于所述透明保护罩的所述开口所在一端的侧壁上。本实用新型的技术方案使得在机台保养时，既能避免晶圆叉受到磕碰，又能避免工作人员受伤。
装置半导体工艺设备

[实用新型]靶材与磁铁间距测量工具-CN202223483599.8有效
发明人：程刚 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种靶材与磁铁间距测量工具，涉及集成电路制造技术领域。所述靶材与磁铁间距测量工具包括支架和至少一个高度计，所述支架用于与腔室上盖可拆卸连接，所述支架的尺寸与所述靶材的尺寸相匹配，所述高度计设于所述支架上并用于测量靶材与磁铁之间的间距。本实用新型中的靶材与磁铁间距测量工具可简化测量步骤，提升测量效率，此外，采用高度计测量靶材和磁铁之间的间距，提升了测量的精度。
磁铁间距测量工具

[实用新型]一种安装工具及辅具-CN202223451954.3有效
发明人：杨震 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B25B27/14 文献下载
摘要：本申请提出了一种安装工具及辅具。该安装工具包括：T型顶针，包括杆体和分别设置于杆体两端的旋拧部和操作部；辅具，包括主体部和设置于主体部的持握部，主体部设置有沿预设方向排布的两个收容孔，各个收容孔允许对应的T型顶针的旋拧部穿过收容孔且T型顶针的操作部抵接于主体部。本申请可以提高内电极装配的便捷性，并减少内电极磕碰报废的概率。
一种安装工具

[实用新型]流体流量检测装置-CN202223328735.6有效
发明人：魏远通;陈国 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01F15/00 文献下载
摘要：本申请提供一种流体流量检测装置，流体流量检测装置包括测量装置，测量装置包括传感器和与传感器连接的固定夹件，固定夹件用于将传感器固定于待检测件上，传感器用于检测待检测件中的流体流量。在本申请中，通过将传感器设置成与固定夹件连接，使得在对待检测件进行检测时，只需将固定夹件固定于待检测件上，就可以将传感器快速固定在待检测件上，从而可以快速检测待检测件中的流体流量，提高了检测效率。
流体流量检测装置

[实用新型]一种静电吸附盘的拆装设备-CN202223522546.2有效
发明人：王开毅 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种静电吸附盘的拆装设备，包括施力转盘、设于所述施力转盘上的固定保护盖、以及设于所述固定保护盖上的T形把手，所述施力转盘的内壁上一体连接有若干个沿所述施力转盘均匀排列的坡度滑块，所述固定保护盖沿所述坡度滑块滑动，所述T形把手穿设所述固定保护盖后与静电吸附盘的基座螺纹固定，所述施力转盘背离所述固定保护盖的一侧转接有若干个下转轮，若干个所述下转轮沿所述施力转盘均匀排列。本申请提高了蚀刻氧化机台静电吸附盘拆装的安全性和稳定性。
一种静电吸附拆装设备

[实用新型]蚀刻金属机台真空管路的防护装置-CN202223531034.2有效
发明人：钟耀轩;陈文捷;庄树举 -专利权人： 粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及半导体刻蚀机台辅助设备技术领域，公开了一种蚀刻金属机台真空管路的防护装置，包括防护主体和设于所述防护主体上的密封件，所述防护主体的顶端开设有安置槽，所述安置槽内设有与所述防护主体可拆卸连接的固定座，在所述固定座上转接有提手拉环，所述防护主体的顶端且绕于所述安置槽一体连接有止挡板，所述密封件包括若干个密封胶圈，若干个所述密封胶圈沿所述防护主体的顶端至底端线性排列，其中，所述防护主体呈圆台体结构设计，若干个所述密封胶圈的外径尺寸由所述防护主体的顶端至底端依次递减。本申请在蚀刻金属机台保养时，能够有效防护真空管口且防护装置取拿方便，提高了蚀刻金属机台的保养安全性。
蚀刻金属机台真空管路防护装置