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[发明专利]一种低钪铝钪合金靶材缺陷处理方法-CN202210714592.8有效
发明人：蔡新志;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种低钪铝钪合金靶材缺陷处理方法，属于半导体材料技术领域，所述的低钪铝钪合金靶材缺陷处理方法，包括以下步骤：(1)将浇铸得到的铝钪合金靶坯进行热轧或锻造处理；(2)将步骤(1)热轧或锻造处理后的靶坯进行热处理；(3)将步骤(2)热处理后的靶坯进行C扫描缺陷，并标记缺陷类型和位置；(4)将靶坯有缺陷的位置根据缺陷类型进行选择热轧或锻造；(5)将步骤(4)热轧或锻造处理后的靶坯再次进行C扫描，将靶坯加工至成品。本发明通过在热轧或者再经过HIP处理之后，经过C扫描，确认缺陷，并标记缺陷类型和位置，针对靶坯有缺陷的位置根据缺陷类型进行选择热轧或锻造，能够有效的消除缺陷，提升靶坯的质量。
一种低钪铝钪合金缺陷处理方法

[实用新型]一种防基带翘曲装置及流延机-CN202320494635.6有效
发明人：朱明敏;童培云;王云;徐建洋;陈文英;王权龙;朱绍琪;罗贤科 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B28B17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及流延机技术领域，公开了提供了一种防基带翘曲装置及流延机，所述防基带翘曲装置包括底座、支撑梁、调节组件和压迫块；所述底座用于固定至流延机上；所述支撑梁固定于所述底座的上端并沿第一方向延伸；所述调节组件设于所述支撑梁上；所述压迫块连接于所述调节组件的下端并位于所述支撑梁的下方；其中，所述调节组件能够促使所述压迫块上升或下降，以调节所述压迫块的高度；本实用新型所提供的在应用于流延机时，能够对基带上的翘曲部分进行压迫整平，以有效解决基带的翘曲问题。
一种基带装置流延机

[发明专利]一种硅铝靶材及其制备方法-CN202310925167.8在审
发明人：文崇斌;朱刘;童培云 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅铝靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明所述硅铝靶材的制备方法不同于现有技术，先将硅粉和铝粉进行特定预处理得到均匀的硅铝合金，随后再将硅铝合金破碎成粉末进行等离子喷涂最终得到硅铝靶材，该产品的不仅对设备的要求低，可实现规模生产，同时还有效解决了现有等离子喷涂制备硅铝靶材中铝元素损失且分布不均匀的问题，硅铝靶材不同位点的铝元素分布误差最低只有0.2wt％。
一种硅铝靶材及其制备方法

[发明专利]一种锌镁靶材及其制备方法-CN202111050306.4有效
发明人：黄宇彬;余飞;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及靶材技术领域，公开了一种锌镁靶材及其制备方法，其中，其制备方法包括以下步骤：将单质锌与单质镁投入真空熔炼炉内熔炼，融化后充分搅拌并保温，得到混合熔炼液；将混合熔炼液进行浇注，形成锌镁合金压料；将锌镁合金压料加热，加热后通过一号模具进行挤压，得到第一挤压料；依次采用二号模具、三号模具、···、N号模具进行挤压，得到靶材毛胚；对靶材毛坯进行机加工，得到锌镁靶材。采用本发明的制备方法制作的锌镁靶材，其内部物缺陷，致密度较高，平均晶粒小于200微米，采用此锌镁靶材进行溅射，均匀并细小的晶粒不仅有助于获得膜厚均匀统一的薄膜功能层，且可避免溅射过程中发生放电及点火现象。
一种锌镁靶材及其制备方法

[发明专利]一种陶瓷靶材的绑定模具及绑定方法-CN202111529596.0有效
发明人：沈文兴;白平平;童培云 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种陶瓷靶材的绑定模具及绑定方法，所述模具包括：模具本体，所述模具本体设有第一槽以及在所述第一槽的底部开设的第二槽，所述第二槽用于放置靶坯，所述第一槽用于在焊料加入到所述靶坯上时形成焊料阻碍区；以及至少两个定位卡件，所述定位卡件可移动地设在所述模具本体上，且可移动到所述第二槽内，以定位所述靶坯。
一种陶瓷绑定模具方法

[发明专利]一种碲化铋基合金晶棒的破碎方法及碲化铋基合金粉体-CN202310711579.1在审
发明人：苏紫珊;蔡新志;童培云;申璐琴 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B02C1/14 文献下载
摘要：本发明涉及热电材料技术领域，提供了一种碲化铋基合金晶棒的破碎方法及碲化铋基合金粉体，该方法的步骤依次主要包括固定、锤击破碎、筛分；本发明破碎的粉体颗粒更好地保持了区熔晶棒原有的取向，使成型块体材料的取向度大大提高，从而有益于块体材料性能优化提升的研究。破碎得到的碲化铋基合金粉体颗粒均匀，相比采用粉碎机、球磨机制备的粉体，本发明的粉体更大程度地保持了取向结构。
一种碲化铋基合金破碎方法合金粉

[发明专利]一种小晶粒金属的制备装置及制备方法-CN202210255472.6有效
发明人：黄宇彬;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B22D27/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种小晶粒金属的制备装置，其技术方案：包括定型模具，所述定型模具包括导电底板、设有通槽的绝缘板，所述绝缘板与导电底板紧密配合使通槽的一侧封闭，所述通槽与导电底板配合形成用于容纳液态金属材料的容纳腔；还包括一脉冲电源，所述脉冲电源的正极与一导电柱连接、负极与导电底板连接；所述导电柱用于插入定型腔内的液态金属材料中使脉冲电源的正极、负极形成电回路；还提出一种小晶粒材料的制备方法，属于靶材制备技术领域。
一种晶粒金属制备装置方法

[发明专利]一种合金铸锭缺陷修复方法及一种合金铸锭-CN202310711504.3在审
发明人：岳晓聪;黄宇彬;李明山;童培云 -专利权人：先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B22D27/08 文献下载
摘要：本发明属于合金铸锭废品回收加工技术领域，公开了一种合金铸锭缺陷修复方法及一种合金铸锭，该合金铸锭缺陷修复方法包括如下步骤：步骤1：将内部含有缩松和/或气孔的合金铸锭放入浇铸模具内升温软化；步骤2：待合金铸锭软化后振动浇铸模具，并下压铸锭表面；步骤3：降温，取出合金铸锭；其中，振动的振动频率为35‑40kHZ；所述步骤2下压铸锭表面的具体操作为：采用干净怵头在铸锭表面向下压5次，每次下压的压力为200‑300公斤力，下压时间为2‑4s，相邻的两次下压时间间隔为10‑12s；所述合金铸锭为至少含有镍、铬、铝、钇金属的合金铸锭。本发明通过振动浇铸模具和下压铸锭表面结合对合金铸锭施力，合金铸锭内部的缩松、气孔等缺陷减少，修复合金铸锭的缺陷。
一种合金铸锭缺陷修复方法

[发明专利]高纯铝硅铜靶坯的制备方法-CN202310693689.X在审
发明人：董小雨;黄宇彬;黄娟;童培云 -专利权人：先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C22F1/043 文献下载
摘要：本发明属于金属加工技术领域，公开了一种高纯铝硅铜靶坯的制备方法，包括以下步骤：依次加热预处理、镦粗锻造、多向轧制、热处理高纯铝硅铜铸锭，得到高纯铝硅铜靶坯。通过上述方法处理得到的铸锭组织内部均匀、晶粒尺寸分布均匀、无裂纹。而且本发明提供的工艺流程简单、完成时间短、成本低，利于工业化推广应用。
高纯铝硅铜靶坯制备方法

[发明专利]一种CoFeB合金靶材及其制备方法-CN202310678692.4在审
发明人：欧海玲;马国成;童培云;张壮壮 -专利权人：先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请属于靶材制备领域，公开了一种CoFeB合金靶材的制备方法，包括以下步骤，按CoFeB合金靶材中铁钴硼的配比将硼颗粒投入熔炼坩埚，随后将钴片、铁片投入熔炼坩埚内并覆盖在硼颗粒表面，盖上设备炉盖，进行抽真空、升温加热及雾化操作，待设备冷却后将收集的合金粉末过筛，得到粒径＜150um的CoFeB合金原料；将制得的CoFeB合金原料放入包套内进行热等静压烧结，将烧结后的CoFeB合金材料机加工，得到CoFeB合金靶材；通过上述操作，使得熔炼过程中硼的流失情况得到抑制，进而使得生成的CoFeB合金靶材中各组分的含量得到精准的控制。
一种 cofeb 合金及其制备方法

[发明专利]一种平面靶材的绑定方法-CN202210649943.1有效
发明人：黄宇彬;童培云 -专利权人：先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及平面靶材技术领域，提供了一种平面靶材的绑定方法，包括步骤：S1、在靶坯的连接面和背板的连接面分别开设相对应的锥孔；S2、在靶坯的连接面和背板的连接面各涂抹一层锡层；S3、将靶坯和背板加热，靶坯的锥孔和背板的锥孔受热膨胀；S4、将连接销钉的一端插入靶坯的锥孔，另一端插入背板上对应的锥孔；并将靶坯的连接面和背板的连接面紧贴；S5、将靶坯和背板冷却，靶坯和背板的锥孔收缩，将连接销钉拉紧，实现靶坯和背板自动对心，并实现逐步拉紧，最终完成平面靶材的绑定。本发明工艺简单方便，成本低，且绑定稳固，适用范围广。
一种平面绑定方法

[发明专利]一种CdIn合金靶材及其制备方法-CN202210029388.2有效
发明人：余飞;江佩庭;黄宇彬;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种CdIn合金靶材及其制备方法，属于靶材制备领域。本发明制备CdIn合金旋转靶通过熔炼法制备，简单快速，成本低廉。本发明制备方法不受制于热压烧结设备及烧结模具的限制，可实现尺寸和形状的自由调整。本发明铸造法制备的靶材具有较高的密度，致密度接近100％，明显优于烧结法制备的掺铟氧化镉靶材95％的致密度。铸造CdIn合金靶材较大程度保留了合金的金属性能，具有良好的塑性和韧性，克服了烧结法制备的掺铟氧化镉靶材脆性极大，磕碰及靶材溅射过程工艺控制稍微不良就可能造成开裂导致报废靶材的缺点。
一种 cdin 合金及其制备方法

[发明专利]中空背板的靶材绑定方法-CN202210287868.9有效
发明人：行卫东;董亚栋;黄宇彬;童培云 -专利权人：先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及金属靶材制备技术领域，公开了一种中空背板的靶材绑定方法，包括以下步骤：制作与背板匹配的垫块；将所述垫块和靶坯放置于加热桌，将所述背板套装于所述垫块；打开所述加热桌进行加热，将所述背板和所述靶坯升温至预设温度；在所述加热桌上进行所述靶坯和背板的绑定；将绑定完成的所述靶材冷却至室温，对绑定完成的所述靶材进行检测。上述方法提高了温度传递的效率，可以提高背板绑定面各部位温度的均匀性，减少了空鼓的出现，从而避免靶材绑定失败后的多次退绑、再绑定工序，减少了铟焊料的使用以及人工成本，极大节约了经济成本；有效的减少了铟焊料的氧化，显著提高了焊合率以及焊接强度。
中空背板绑定方法

[实用新型]用于热等静压设备铜电极脱出的夹具-CN202223323201.4有效
发明人：徐铸;马国成;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型属于工装夹具设计领域，公开了一种用于热等静压设备铜电极脱出的夹具。包括提拉结构、动力元件和支撑结构，所述支撑结构包括底座和支撑件，所述支撑件用于支撑所述底座；所述提拉结构包括连接件、导向件和顶板，所述顶板和所述连接件分别设置在所述导向件的上下两端，所述连接件与电极可拆卸连接，所述导向件用于引导所述连接件上下移动；所述动力元件通过推动所述顶板带动所述连接件相对所述底座上下移动。本实用新型的夹具结构简单，在脱出铜电极时不必人工拔取，也不会造成中心偏离导致电极损伤的情况，既减少了人力，也增加了电极的使用寿命。
用于静压设备电极脱出夹具

[发明专利]高钪含量的铝钪合金靶坯的制备方法-CN202310711910.X在审
发明人：蔡新志;张磊;冉成义;苏紫珊;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于合金靶材制备技术领域，公开了高钪含量的铝钪合金靶坯的制备方法，包括以下步骤：（1）按照铝钪合金靶坯中设计的钪含量、铝含量称取金属钪和金属铝，并将金属钪和金属铝混合熔炼，得到合金熔液；（2）将合金熔液浇铸到模具内，然后冷却成型，得到铸坯Ⅰ；合金熔液在模具中冷却的速度为50~100℃/min；（3）铸坯Ⅰ经打磨后再次熔炼，然后浇铸到模具内，冷却成型，得到铸坯Ⅱ；所述冷却的速度为3~12℃/min；（4）真空热处理步骤（3）得到的铸坯Ⅱ。本发明制备得到的高钪含量的铝钪合金靶坯上下面的铝钪粒子晶粒尺寸大小均匀，靶坯成分均匀、纯度高、成品氧含量可以控制小于200ppm且靶坯不易开裂。
含量合金制备方法

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