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[发明专利]一种基板纠偏和定位方法及相关设备-CN202311081736.1在审
发明人：安宁;陈培培;毕海;李义;杨万里;孙嘉清;秦燕亮 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-08-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B41J11/00 文献下载
摘要：本申请涉及视觉定位技术领域，公开了一种基板纠偏和定位方法及相关设备，该基板纠偏和定位方法：通过获取基板偏转的基准角度以及目标位置，在基板实际纠偏和定位中，获取实时的基板偏转的实际角度和基板的实际位置，根据基准角度和实际角度的角度偏差控制转台对基板进行纠偏，根据目标位置和实际位置的位置偏差控制工作台对基板进行定位，解决了由于现有对多相机无共同视野进行标定的方法成本较高，标定过程复杂，计算繁琐的基板纠偏问题，通过本申请设置的基板纠偏和定位方法，不但可以满足基板纠偏微米级精度，而且相较于利用三维立体坐标系标定更加简单和高效。
一种纠偏定位方法相关设备

[发明专利]半导体元器件转移装置及转移方法-CN202310480227.X有效
发明人： 秦燕亮;于帅北;李义;梁振廷;陈培培;徐成;田德天;王玉;安宁 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种半导体元器件转移装置及转移方法，在使用转移印章对半导体元器件进行转移时对转移印章的运动精度进行准确测量的目的，进而能够提升转移印章与半导体元器件之间的对准精度，保证了制备的产品的良品率，解决了相关技术中转移印章与临时载板或驱动电路背板对齐后，仅依靠导轨的大行程上下运动无法保证Micro LED芯片的精确拾取或者准确放置到驱动电路背板预定位置，从而导致转移的良率下降，影响后续相关制程的技术问题。
半导体元器件转移装置方法

[发明专利]一种电磁加热装置-CN202310337362.9在审
发明人：田德天;李义;梁振廷;徐成;王玉;安宁;陈培培;秦燕亮 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H05B6/02 文献下载
摘要：本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种电磁加热装置，通过在基板上设置有至少一个列电极、至少一个行电极和多个电磁感应单元，并使各个电磁感应单元的第一电极均与一个行电极连接，各个电磁感应单元的第二电极均与一个列电极连接，所有电磁感应单元的第一电极不全连接于同一个行电极，所有电磁感应单元的第二电极不全连接于同一个列电极，通过使对应的电磁感应单元自身的第一电极和第二电极中的一个与外部电源的正极连通，自身的第一电极和第二电极中的另一个与外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极连通，则对应的电磁感应单元即可产生对外加热的交变磁场，因此，可根据实际需要，有针对性地选择单个或多个电磁感应单元进行对外加热。
一种电磁加热装置

[发明专利]一种高精度转台-CN202211243844.X在审
发明人：梁振廷;田德天;李义;徐成;王玉;安宁;秦燕亮;陈培培 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B65G47/80 文献下载
摘要：本发明公开一种高精度转台，所述高精度转台包括承载台、转盘和曲柄滑块驱动机构；所述转盘沿其旋转中心转动安装在所述承载台；所述曲柄滑块驱动机构，设于所述承载台与所述转盘之间，用于驱使所述转盘转动，所述曲柄滑块驱动机构包括直线运动模块组件、旋转运动模块组件和连杆组件，所述连杆组件连接所述直线运动模块组件和所述旋转运动模块组件，所述直线运动模块组件与所述承载台连接，所述旋转运动模块组件与所述转盘连接。本发明提供的高精度转台转角范围小，精度要求高，承载能力强，转动力矩高，转动平稳，适合各种场合。
一种高精度转台

[发明专利]转台运动补偿方法、装置、设备及存储介质-CN202211306426.0有效
发明人：梁振廷;田德天;李义;徐成;王玉;安宁;秦燕亮;陈培培 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台运动补偿方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：确定初始条件参数，并根据初始条件参数构建转台控制函数；获取旋转组件对应的多个分段旋转角度；分别根据各个分段旋转角度驱动曲柄滑块式转台进行旋转，记录各分段对应的测量旋转角度；根据各分段对应的分段旋转角度和测量旋转角度计算转角偏差；根据转台控制函数将转角偏差转换为直线运动误差；根据直线运动误差对各分段下直线运动模块的直线运动位移进行补偿。通过上述方式，对转角进行校准，补偿直线运动模块的直线运动位移，提升了曲柄滑块式转台转角的控制精度。
转台运动补偿方法装置设备存储介质

[发明专利]转台控制方法、装置、设备及存储介质-CN202211237952.6有效
发明人：梁振廷;田德天;李义;徐成;王玉;安宁;秦燕亮;陈培培 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台控制方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：获取旋转组件对应的待旋转角度；基于预设函数关系根据待旋转角度计算目标距离；控制直线运动模块的运动距离达到目标距离。通过上述方式，建立直线运动距离与旋转角度之间的函数关系，利用函数关系结合旋转角度需求，控制直线运动模块的直线运动距离，实现了高精度控制转台的旋转角度。
转台控制方法装置设备存储介质

[发明专利]多相机位置标定方法、装置、系统及存储介质-CN202210723777.5有效
发明人：安宁;李义;徐成;陈培培;秦燕亮;梁振廷;田德天;王玉 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G06T7/80 文献下载
摘要：本申请属于标定领域，提供一种多相机位置标定方法、装置、系统及存储介质。包括以下步骤：移动具有多个特征点区域的标定板，使得多个相机的多个视野范围内分别具有多个特征点区域中的一个特征点区域；采集多个相机对应视野范围内的图像；获取多个图像，得到每个图像中特征点的像素坐标，建立多个图像坐标系；以标定板的平面建立世界坐标系，计算多个图像坐标系与世界坐标系的关系，得到世界坐标系下多个特征点的对应关系；根据世界坐标系下多个特征点的对应关系与标定板上特征点的位置关系，计算得到多个相机之间的位姿关系。本申请多相机位置标定方法、装置、系统及存储介质能够在多相机无共同视野的情况下进行标定，标定过程简单，计算容易。
多相机位标定方法装置系统存储介质

[发明专利]一种微型器件转移装置及转移方法-CN202110628372.9有效
发明人：李义;徐成;梁振廷;秦燕亮;安宁;王玉;田德天;陈培培 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本发明公开一种微型器件转移装置及转移方法，主题一包括控制模块、供给基板和转移头，所述供给基板的第一侧面设有若干列转移头，所述供给基板的第一侧面为朝所述供给基板方向弯曲的曲面，所述控制模块用于控制所述若干列转移头吸附和释放微型器件而转移微型器件。本发明通过转动供给基板使得若干列转移头上的微型器件依次与接收基板相接触，并利用控制模块控制若干列转移头依次释放微型器件，使得若干列转移头上的微型器件依次转移，由于采用分批分列的方式转移微型器件，从而有效提高微型器件巨量转移方式的转移良率，提高微型器件的生成效率。
一种微型器件转移装置方法

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