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- [发明专利]一种可靠的低耗银太阳能电池片-CN202210017462.9在审
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陈伟文;杨与胜;庄辉虎;张津燕
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福建金石能源有限公司
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2022-01-07
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2023-07-18
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H01L31/0216
- 本发明提供了一种可靠的低耗银太阳能电池片的制造方法,其包含如下步骤:制造完成PN结层结构的太阳能电池片;分别在受光面PN结层和背光面PN结层表面制备减反射膜层;在电池片背面的减反射膜层上制备阻挡层;在阻挡层上依次制备金属导电膜层及金属保护层;依设计需要在上述电池叠层结构的正反面制备栅线形成单面发电的太阳能电池片或双面发电的太阳能电池片。通过在太阳能电池片背面的减反射膜层表面设置阻挡层,可以有效阻挡金属的扩散,有效提升低耗银太阳能电池片的可靠性,又可以增加减反射膜层成份的选择性。同时,该可靠的低耗银太阳能电池片适用于单面发电的电池片,也适用于双面发电的电池片结构,满足电池片设计需求。
- 一种可靠低耗太阳能电池
- [实用新型]一种直线式PECVD设备-CN202222647490.7有效
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杨与胜;庄辉虎;练小洪
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福建金石能源有限公司
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2022-10-08
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2023-04-07
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C23C16/54
- 本实用新型提供了一种直线式PECVD设备,其包含多个腔室,从进料端依次包含:进料腔,预热腔、多个反应腔、冷却腔和出料腔;所述进料腔、预热腔、反应腔、冷却腔和出料腔均为独立的腔室,进料腔进料口和出料腔出料口及相邻腔室之间均设有密封隔断组件。当相邻两反应腔进行不同的沉积反应时,该两个反应腔之间还设有独立的缓冲腔;所述缓冲腔与反应腔之间也设有密封隔断组件。该直线式PECVD设备通过各个独立腔室的设置,及进料腔和出料腔的设置可以优化预热腔和冷却腔的功能,将稳定反应腔工艺气体和压力的时间节拍放在预热腔和冷却腔进行,减少反应腔的工艺沉积时间,从而大大缩短了整体节拍,有效提升设备产能。
- 一种直线pecvd设备
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