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[发明专利]一种采用化学蚀刻裸露第一导电区的背接触异质结太阳能电池制造方法-CN202111070161.4在审
发明人：张超华;谢志刚;黄巍辉 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L31/0236 文献下载
摘要：本发明涉及一种背接触异质结太阳能电池制造方法，它包括步骤A，其具体工艺如下：步骤a1，在第一导电区依次设置第一导电型膜层和第一绝缘层；步骤a2，在经步骤a1处理后的半导体基板的第一主面上依次设置第二导电型膜层和第二保护层；步骤a3，在需要保留第二导电型膜层区域的第二保护层表面设置第二抗腐蚀层；步骤a4，先采用化学蚀刻方式除去裸露在外的第二保护层，再采用化学蚀刻方式除去裸露在外的第二导电型膜层和第二抗腐蚀层；步骤a5，采用化学蚀刻方式除去剩余第二保护层和裸露在外的第一绝缘层。本发明的目的在于提供一种背接触异质结太阳能电池制造方法，采用化学蚀刻方法实现对第一导电区的开口，使底部半导体层损伤降至最小。
一种采用化学蚀刻裸露第一导电接触异质结太阳能电池制造方法

[发明专利]一种实现局部制绒的背接触异质结太阳能电池的制造方法-CN202111070167.1在审
发明人：谢志刚;黄巍辉;张超华 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L31/0236 文献下载
摘要：本发明涉及一种实现局部制绒的背接触异质结太阳能电池的制造方法，它包括步骤A，其具体工序包括如下：a1，在半导体基板的第一主面依次形成第一导电型膜层和第一绝缘层，a2，采用激光蚀刻方式或化学蚀刻方式除去第一导电区以外区域的第一绝缘层和第一导电型膜层，以形成表面附着有第一绝缘层的第一导电区；a3，对半导体基板的第一主面和第二主面进行双面制绒，以在半导体基板的外露表面形成金字塔绒面。本发明的目的在于提供一种实现局部制绒的背接触异质结太阳能电池的制造方法，仅在第二导电区进行制绒，从而减少第二导电区光照的反射，增加背面的光照吸收。
一种实现局部接触异质结太阳能电池制造方法

[发明专利]一种采用形成电极、开槽绝缘二步法的背接触异质结太阳能电池制造方法-CN202111070379.X在审
发明人：黄巍辉;张超华;谢志刚 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明涉及一种采用形成电极、开槽绝缘二步法的背接触异质结太阳能电池制造方法，它的具体步骤如下，步骤A，在半导体基板的第一主面设置第一导电区，和第二导电区；步骤B，在第一导电区和第二导电区表面设置导电层；步骤C，在第一导电区与第二导电区的交界处采用印刷方式设置抗沉积层；步骤D，在导电层的未遮盖抗沉积层的区域表面形成电极；步骤E，在抗沉积层对导电层采用激光蚀刻方式或激光蚀刻与化学蚀刻相结合方式进行开槽；所述开槽在第一导电区和第二导电区之间形成分隔绝缘。本发明的目的在于提供一种采用形成电极、开槽绝缘二步法的背接触异质结太阳能电池制造方法，缩短制程，并减少绝缘分隔对导电层的影响。
一种采用形成电极开槽绝缘步法接触异质结太阳能电池制造方法

[实用新型]一种PVD靶座布气装置-CN202121273572.9有效
发明人：谢艺峰 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型的目的在于提供一种PVD靶座布气装置，该PVD靶座布气装置采用单层或多层结构设计，有利于反应气体的充分混合，同时通过布气孔位的排布(中间与四周位置进行差异化设计)有效解决气体不均匀的问题，单层或多层结构设计采用错位方式设计布气孔，此方式可避免因长时间溅射导致的气孔堵塞。从而使此布气装置能使气体更加混合充分，有更大面积且更均匀的作用于靶材表面，提升溅射镀膜成膜质量，提高太阳能电池片转化效率。
一种 pvd 靶座布气装置

[实用新型]一种载板位置检测装置-CN202121200335.X有效
发明人：倪鹏玉;张建德;徐尔强;陈墩权 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种载板位置检测装置，它包括穿设固定于真空腔室壁面上的固定管座组件、设于固定管座组件外端的反射式激光传感器以及将反射式激光传感器与固定管座组件固定连接以收发进入真空腔室的激光信号的传感安装组件。本实用新型的目的在于提供一种载板位置检测装置，其结构简单，降低设备成本，有效避免碎片等物遮挡的问题，且便于维护。
一种位置检测装置

[实用新型]一种带有缓冲吸振部件的载板-CN202120705411.6有效
发明人：杨与胜;赖礼铭;倪鹏玉;郭礼贤 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： F16F15/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种带有缓冲吸振部件的载板，它包括载板边框以及固设在载板边框两侧底部的一对辊轮接触件，所述辊轮接触件的两端分设有悬臂，所述悬臂不与载板边框相接触且向上翘起。本实用新型的目的在于提供一种带有缓冲吸振部件的载板，利用缓冲部件减小或消除载板在载板输送过程中发生的振动。
一种带有缓冲部件

[实用新型]可在线清洁的载板-CN202120928857.5有效
发明人：林锦山;谢志刚;王树林;廖培灿;黄天福 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可在线清洁的载板，它包括主载板和嵌设于主载板上的子载板；所述主载板上设有若干个用于容置子载板的子载板凹槽；所述子载板设有一个以上用于承载基片的基片凹槽，所述基片凹槽底面的中部镂空；所述主载板包括主要由碳纤维复合材料制成的主体以及包覆在主体外且主要由类金刚石膜或复合陶瓷膜制成的保护膜；所述子载板主要由铝合金制成。本实用新型的目的在于提供一种可在线清洁的载板，既能在腔室进行在线清洁，延长生产时间，提高设备利用率，且保证载板长期运行不容易变形，又能在保养后快速恢复膜层质量。
在线清洁

[发明专利]一种多主栅背接触异质结太阳电池及其制作方法-CN202111070147.4在审
发明人：张超华;黄巍辉;谢志刚;林朝晖;林桂婷;林振鹏 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明涉及多主栅背接触异质结太阳电池，它包括半导体基板、设置在半导体基板的第一主面上交替设置的多个第一半导体区和第二半导体区、设置在各个第一半导体区和第二半导体区之间的隔离槽、水平设置在各个第一半导体区上的一列以上第一绝缘层阵列、水平设置在各个第二半导体区上的一列以上第二绝缘层阵列、与各个第二绝缘层阵列相同水平位置进行对应设置的一列以上第一可焊接主栅线以及与各个第一绝缘层阵列相同水平位置进行对应设置的一列以上第二可焊接主栅线；第一绝缘层阵列与第二绝缘层阵列从上到下错开设置。本发明的目的在于提供一种多主栅背接触异质结太阳电池，在显著降低细栅线的导电性要求的同时，实现多主栅结构，降低生产成本。
一种多主栅背接触异质结太阳电池及其制作方法

[发明专利]一种多主栅背接触异质结太阳电池及其制作方法-CN202111077279.X在审
发明人：张超华;黄巍辉;谢志刚;林朝晖 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明涉及一种多主栅背接触异质结太阳电池的制作方法，它包括以下步骤：步骤A，在半导体基板的第一主面上从左到右交替设置第一半导体区和第二半导体区，且在第一半导体区和第二半导体区之间设置隔离槽；步骤B，在第一主面上从上到下错开设置的两列以上焊带连接区段；设置在第一半导体区同一水平位置上的为第一焊带连接层阵列，设置在第二半导体区同一水平位置上的为第二焊带连接层阵列；步骤C，在各个第一半导体区表面上设置第一焊带绝缘层阵列，在各个第二半导体区表面上设置第二焊带绝缘层阵列。本发明的目的在于提供一种制作方法，可以极大地降低金属化成本，规避较复杂的湿法铜电镀方案，更加有利于太阳能电池技术的生产、应用。
一种多主栅背接触异质结太阳电池及其制作方法

[发明专利]一种采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法-CN202110992690.3在审
发明人：林锦山;廖培灿;黄天福 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法，它包括如下步骤，步骤A，对半导体基板进行倒金字塔制绒；步骤B，对经步骤A处理的半导体基板进行表面钝化。本发明的目的在于提供一种采用倒金字塔绒面的太阳能电池的制造方法，其有别于传统倒金字塔绒面制备方法，提高了制绒效果。
一种采用金字塔太阳能电池制造方法

[实用新型]一种太阳能电池金属电极网-CN202023048647.1有效
发明人：林朝晖;张超华;谢志刚;杨与胜 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种太阳能电池金属电极网，它包括卷状载体、设于卷状载体表面的金属种子层、设于金属种子层表面且具有镂空栅线图形的绝缘层、设于镂空栅线图形处且与金属种子层相连接的金属栅线以及设于金属栅线表面的低温金属涂层。本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池金属电极网，能进行卷对卷生产，实现将金属电极网从电池生产线中分离出来进行独立生产，生产效率高，生产成本低廉。
一种太阳能电池金属电极

[实用新型]一种线式PECVD系统-CN202120045607.7有效
发明人：杨与胜;倪鹏玉;张建德;赖礼铭 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种线式PECVD系统，它包括第一沉积装置、第二沉积装置以及第三沉积装置；所述第一沉积装置与第二沉积装置之间设有用于基片翻面、转运的第一基片翻面移转装置，所述第二沉积装置与第三沉积装置之间设有用于基片翻面、转运的第二基片翻面移转装置；所述第一沉积装置与第二沉积装置之间设有用于基片载板升降回转的第一载板回转装置，所述第二沉积装置与第三沉积装置之间设有用于基片载板升降回转的第二载板回转装置。本实用新型的目的在于提供一种线式PECVD系统，在各沉积工序中载板独立循环，防止载板上沉积不同的物质，避免在反应腔中载板沉积物对太阳能电池片造成掺杂。
一种 pecvd 系统

[实用新型]一种制绒清洗设备的隔离转送装置-CN202120285733.X有效
发明人：胡连旺;郭彦恒;倪鹏玉 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种制绒清洗设备的隔离转送装置，它包括位于制绒清洗设备两工作区域之间的固定隔离板、位于固定隔离板下方横跨制绒清洗设备两工作区域的潜送清洗槽、设于潜送清洗槽外侧的驱动组件以及由驱动组件驱动沿潜送清洗槽左侧壁延伸方向往复移动的花篮固定承载臂；所述固定隔离板下端位于潜送清洗槽工作液面以下，且固定隔离板下端左侧开设有容花篮固定承载臂穿过的槽口；所述花篮固定承载臂伸入潜送清洗槽内。本实用新型的目的在于提供一种制绒清洗设备的隔离转送装置，隔离板进行固定设计，避免了隔离板开合使不同工作区域的气体的流窜引起的药液交叉污染。
一种清洗设备隔离转送装置

[实用新型]一种太阳能电池片-CN202120832075.1有效
发明人：陈伟文;罗骞;黄家容;周泗海 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池片，包括：电池片主体；电池片镀有TCO及导电膜层；在电池片正面、背面形成导电栅线；栅线包含主栅线、副栅线、副栅连接线；主栅线与副栅线垂直相交；正面主栅线位于电池片正面的两侧；背面主栅线位于电池片背面中间，与正面主栅平行方向。本实用新型电池片为两主栅图形，具有较大的吸光面积，可以有效提高电池片的短路电流和转换效率。
一种太阳能电池

[实用新型]一种优化腔室设置的线式PECVD设备-CN202120705369.8有效
发明人：杨与胜;倪鹏玉;张振波;徐尔强 -专利权人： 福建金石能源有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种优化腔室设置的线式PECVD设备，它包括预热室、与预热室出料端相连的反应室以及与反应室出料端相连的冷却室；所述预热室进料端设有预热室第一密封隔断组件；所述预热室与反应室之间设有反应室第一密封隔断组件；所述反应室与冷却室之间设有冷却室第一密封隔断组件；所述冷却室出料端设有冷却室第二密封隔断组件；所述预热室由依次连接的两个以上预热腔构成；相邻预热腔之间设有预热室第二密封隔断组件。本实用新型的目的在于提供一种优化腔室设置的线式PECVD设备，缩短放置在载板上的待沉积基片暴露在空气中的时间，使各腔室的衔接节拍获得调整，提升设备整体产能。
一种优化设置 pecvd 设备