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- [发明专利]气体产生装置-CN201680091718.3有效
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田畑要一郎;小野祐司;佐藤贵翔
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东芝三菱电机产业系统株式会社
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2016-12-19
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2022-08-30
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C01B13/11
- 本发明的目的在于，提供一种实现装置整体的结构紧凑化、而且安装了多个气体产生器单元的气体产生装置。本发明的气体产生装置具有：6台气体产生器单元(4a～4f)，各个气体产生器单元具有气体产生器(43)；一个单位的多交流电源部(3001)，对6台气体产生器单元(4a～4f)供给6个高频交流电压；一个单位的气体控制部(3003)，控制6台气体产生器单元(4a～4f)的原料气体及输出气体；以及一个单位的控制操作部构成部(3002)，执行交流电力控制动作，使得分别供给彼此独立的具有期望的电量的6种高频交流电压。并且，6台气体产生器单元(4a～4f)、一个单位的多交流电源部(3001)、气体控制部(3003)及控制操作部构成部(3002)被设置成一体。
- 气体产生装置
- [发明专利]活性气体生成装置-CN201880084691.4有效
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渡边谦资;西村真一;有田廉;山田义人;田畑要一郎
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东芝三菱电机产业系统株式会社
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2018-01-10
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2022-08-19
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H05H1/24
- 本发明的目的在于提供一种能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。然后，本发明具有特征(一)～特征(三)。特征(一)为“以接地侧电极构成部(2X)支承高压侧电极构成部(1X)的方式构成活性气体生成用电极组(300)”。特征(二)为“具有设置在高压侧电极构成部(1X)的电介质电极(110)的放电空间外区域、向下方突出的台阶部(115H，115M，115L)，通过这些台阶部的形成高度(S15)来规定放电空间(68)的间隙长度”。特征(三)为“高压侧电极构成部(1X)及接地侧电极构成部(2X)分别将放电空间形成区域(R68)的厚度形成得比较薄，并且将上述放电空间外区域的厚度形成得比较厚”。
- 活性气体生成装置
- [发明专利]放电发生装置-CN201480083011.9有效
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田畑要一郎;渡边谦资;西村真一
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东芝三菱电机产业系统株式会社
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2014-10-29
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2020-08-04
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H05H1/46
- 本发明提供一种即使是大面积的被处理体也能够实施均匀的使用了自由基气体的处理的放电发生器及其电源装置。本发明所涉及的放电发生器及其电源装置具备自由基气体生成装置(100)、处理室装置(200)和n相逆变器电源装置(9)。在处理室装置(200)相邻配置自由基气体生成装置(100)，自由基气体生成装置(100)具有多个(n个)放电单元(70)。n相逆变器电源装置(9)采用具有能够对n相的交流电压进行输出控制的手段的电源电路结构，对应于所述放电单元(70)的设置位置对各相的交流电压进行可变控制。
- 放电发生装置
- [发明专利]原子团气体产生系统-CN201480082514.4有效
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渡边谦资;田畑要一郎;西村真一
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东芝三菱电机产业系统株式会社
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2014-10-29
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2019-11-15
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H05H1/46
- 本发明的目的在于，在远程等离子体型成膜处理系统中，提供一种即便为例如大面积的被处理体、也能够均匀地实施使用原子团气体的处理的原子团气体产生系统。而且，在本发明的原子团气体产生系统(500)中，处理室装置(200)具有使被处理体(202)旋转的转台(201)。原子团气体生成装置(100)具有多个放电单元(70)。此外，放电单元(70)具有开口部(102)，该开口部(102)与处理室装置(200)内连接，且与被处理体(202)相面对，并且输出原子团气体(G2)。而且，在俯视观察下，越是远离所述被处理体的旋转的中心位置而配设的放电单元(70)，越增大第一电极构件(1)与第二电极构件(31)对置的区域即对置面积。
- 原子团气体产生系统
- [发明专利]电源装置-CN201380080010.4有效
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田畑要一郎;冲原雄二郎;中村纪幸;西村真一
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东芝三菱电机产业系统株式会社
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2013-10-04
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2018-09-28
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H05H1/46
- 本发明提供一种在包含等离子产生装置以及电源装置的系统中自动地决定逆变器的驱动频率的电源装置。本发明所涉及的电源装置(10)具有：在电源装置(10)与等离子产生装置(5)之间创建谐振状态的谐振单元(7)；和进行如下动作的控制部(6)。即，控制部(6)在被指示相对于额定电力为100％的投入电力值(或100％以下且阈值％以上的投入电力值)时，使逆变器频率变化，按照每个逆变器频率分别求取逆变器输出功率因数。然后，控制部(6)基于成为最高的逆变器输出功率因数的逆变器频率来将其决定为逆变器的驱动频率。
- 电源装置
- [发明专利]未添加氮的臭氧产生单元-CN201180073951.6有效
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中村纪幸;田畑要一郎
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东芝三菱电机产业系统株式会社
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2011-10-04
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2014-06-11
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C01B13/11
- 本发明目的在于得到一种能够更多地输出臭氧气体的未添加氮的臭氧产生单元。并且，在本发明中，未添加氮的臭氧产生单元(7)将包含冷却为低温的未添加氮的臭氧产生器(1)、臭氧电源(2)、MFC(3)、APC(4)、隔热冷却水输入用配管(31I)、及隔热冷却水输出用配管(31O)的多个功能机构汇集而构成1单位的封装单元。并且，未添加氮的臭氧产生器(1)将由绝缘物等隔热材料构成的隔热层(8)覆盖臭氧产生器外框(1x)的大致整面而形成。而且，冷却水系统(30)经由隔热冷却水输入用配管(31I)向未添加氮的臭氧产生器(1)供给的冷却水(33)的温度设定为5℃以下，从而使未添加氮的臭氧产生器(1)本身成为低温化结构。
- 添加臭氧产生单元
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