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[发明专利]高精密运动台不同精度模式之间的切换方法和装置-CN202210103080.8在审
发明人： 甄玉旺;胡海;陈海宁;李晓通 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种高精密运动台不同精度模式之间的切换方法和装置，方法包括：在运动台处于伺服模式s1运行的过程中，运动台接收模式切换指令并传送到模式状态机，其中伺服模式s1对应第一精度传感器和控制器A，伺服模式s2对应第二精度传感器和控制器B；模式状态机在当前伺服周期T1内完成伺服模式s1切换到伺服模式s2对应的状态切换，并将所述模式切换指令传送给控制器输出保持器，控制器输出保持器将T1周期内伺服模式s1的控制器A的输出CtrA(T1)锁存一周期；从第一精度传感器切换为第二精度传感器，从控制器A切换为控制器B，控制器B在控制器A的T1周期输出CtrA(T1)基础上进行伺服控制。本发明切换后的控制器将在继承的输出信号上继续输出，实现无延迟切换。
精密运动不同精度模式之间切换方法装置

[发明专利]光刻机平面电机动子悬浮高度测量系统的电涡流切换算法-CN201811572535.0有效
发明人：朱煜;杨开明;成荣;张鸣;李鑫;王磊杰;孙浩博;甄玉旺;鲁智铭 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻机平面电机动子悬浮高度测量系统的电涡流切换算法，该测量系统包括十二个Z向电涡流传感器，其中的四组为非切换组，两组为切换组，每组设定主传感器和辅传感器；该算法对磁钢表面进行分区；将有效测量动子悬浮高度的四组Z向电涡流传感器等效到第一分区内；若主传感器的靶区与散热孔重合，则选取补偿后的辅传感器读数，否则选取主传感器的读数；将四组传感器组成的信号分别进行低通滤波处理，得到四组动子悬浮高度信号；最后根据动子的不同运动位置，将四组信号取加权平均得到最终的动子质心悬浮高度信号。本发明能够减小传感器切换过程中产生的测量值跳变，实现动子全运动范围内悬浮高度的精确测量。
光刻平面机动悬浮高度测量系统涡流切换算法