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[发明专利]一种可动镜片调整机构-CN201510590513.7有效
发明人：彭云平;王洪尊;马很很 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-09-17 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明公开一种可动镜片调整机构，包括：驱动机构组件（100）、可动镜片（200）和支撑座（300），其特征在于，所述驱动机构组件（100）安装在所述支撑座（300）上，所述可动镜片（200）安装在所述驱动机构组件（100）上；通过所述驱动机构组件（100）的运动实现所述可动镜片（200）的三个自由度调整。与现有技术相比较，本发明可动镜片调整机构克服了现有技术中存在的结构复杂、调整时出现窜动等现象，具有结构简单、稳定可靠等优点。
一种镜片调整机构

[发明专利]一种可动镜片调整机构-CN201510590252.9有效
发明人：彭云平;王洪尊;马很很 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-09-17 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明公开一种可动镜片调整机构，包括镜片（100）和镜筒（200），其特征在于，所述镜筒（200）分为内圈（210）、柔性铰链机构（220）和外圈（230）三部分；所述镜片（100）固定在内圈（210）上，所述内圈（210）通过三个均布的柔性铰链机构（220）与外圈（230）相连。与现有技术相比较，本发明通过一种对称的平行四边形铰链机构，保证电机在驱动杆件过程中，电机驱动点与杆件之间不发生径向滑移，可实现可动镜片高精度调整需求。
一种镜片调整机构

[发明专利]一种可动镜片调整机构-CN201410828819.7有效
发明人：彭云平;王洪尊;马很很 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2014-12-29 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明公开一种可动矩形镜片调整机构，包括：支撑基座、2侧的柔性块、所述矩形镜片、至少一个电机和若干的弹簧座和拉簧，所述柔性块固定在所述支撑基座上，所述支撑基座用于支撑所述矩形镜片；其特征在于，所述柔性块为对称结构且有8处开槽。与现有技术相比较，本发明可动镜片调整机构通过在矩形镜片的两条短边处各布置一个双平行四边形铰链机构，保证整个运动机构只有一个自由度，结构简单，稳定可靠。
一种镜片调整机构

[发明专利]一种光刻机机械式快门叶片结构-CN201410011585.7有效
发明人： 王洪尊;高沛;陈宇环 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2014-01-10 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种光刻机机械式快门叶片结构，其特征在于包括快门基板，中间受热区域叶片和弹性固定元件；所述快门基板采用低密度高强度金属，所述中间受热区域叶片采用耐高温非金属，所述快门基板和中间受热区域叶片通过弹性固定元件固定连接。本发明去除镀层需求，采用金属及耐高温非金属组合形式，光照能量集中区域采用耐高温非金属，非光照集中区域采用低密度高强度金属，并且运用柔性固定方式消除因材料热膨胀系数不一而产生的形变影响，可以承受800℃高温，且制造工艺简单，组合形式多样，易于工程实现。
一种光刻机械式快门叶片结构

[发明专利]一种微动变形像差校正装置-CN201310414874.7有效
发明人： 王洪尊;彭云平;马很很 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-09-13 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明公开一种微动变形像差校正装置，用于对一变形镜面形进行调节，其特征在于，包括一变形镜，该变形镜发生面形变化时补偿像差；若干驱动单元，该驱动单元分布于该变形镜边缘，用于从不同位置驱动该变形镜以发生面形变化；镜座，与该驱动单元连接，用于支撑该驱动单元及变形镜。
一种微动变形校正装置

[发明专利]可动镜片微调机构-CN201210587417.3有效
发明人：彭云平;王洪尊;储兆祥;李素平 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明揭露了一种可动镜片微调机构，其驱动单元包括第一电机和第二电机，执行单元包括柔性结构和固定铰链，所述柔性结构包括第一驱动端和第二驱动端，所述柔性结构通过固定铰链与底座转动连接，所述第一电机与所述第一驱动端连接，提供柔性结构水平方向的驱动力；所述第二电机与所述第二驱动端连接，以固定铰链作为支点提供柔性结构转动的驱动力。本发明提供的可动镜片微调机构可以实现可动镜片在水平方向的平移和镜片沿光轴的旋转，实现更优化的调节作用。
镜片微调机构

[发明专利]一种非对称像差补偿装置-CN201210117915.1有效
发明人： 王洪尊;李静 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-04-22 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种非对称微动形变像差补偿装置，包括被补偿镜片和多个驱动器，该多个驱动器能对被补偿镜片的不同位置进行驱动，使得镜片发生形变，从而补偿像差。这种装置具有结构简单，装配难度小；稳定可靠；操作方便等优点。此外，还克服了现有技术中可动镜片对高阶非对称像差无法补偿的难题，通过控制光学元件表面各个区域的面形变化，实现了高阶非对称像差的校正补偿。
一种对称补偿装置

[发明专利]可动镜片调整装置及应用其的可调式光学系统-CN201210062631.7有效
发明人：彭云平;马很很;王洪尊 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-03-09 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种可动镜片调整装置及应用其的可调式光学系统，用于调整可动镜片相对于镜筒的位置。可动镜片调整装置包括驱动元件、杠杆、第一双球轴承以及第二双球轴承。杠杆包括本体与支撑座，支撑座设置于镜筒，本体可转动地设置于支撑座，且本体具有第一支臂与第二支臂。第一双球轴承连接驱动元件与第一支臂。第二双球轴承连接第二支臂与可动镜片。本发明通过两个双球轴承结构，可避免杠杆在转动过程中，其第一支臂与驱动元件以及第二支臂与可动镜片之间发生滑移现象。
镜片调整装置应用调式光学系统

[发明专利]光学平板定位机构-CN201210024609.3有效
发明人：李素平;马很很;王洪尊 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-02-03 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学平板定位机构，包括基座、支撑架、固定楔形块以及调整单元。基座具有凹槽。支撑架固定于基座，支撑架与凹槽形成一个具有开口的容置空间。固定楔形块固定于凹槽内并位于开口相邻的一侧，且具有对应光学平板的第一斜面的第一导向斜面。调整单元设置于凹槽内并位于开口相邻的另一侧。调整单元具有第二导向斜面，第二导向斜面对应第二斜面设置。调整单元、固定楔形块以及支撑架形成燕尾槽结构，用于固定光学平板，在放置或取出光学平板时，通过调整单元调整燕尾槽结构。本发明提供的光学平板定位机构加工精度高，成本较低，且重复定位精度高。
光学平板定位机构

[发明专利]一种三维钻孔的装置及其钻孔方法-CN201210005084.9有效
发明人：吴飞;王邵玉;袁志扬;朱书才;王洪尊;陈军 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-01-09 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： B23B41/02 文献下载
摘要：一种三维钻孔的装置，包括：加工单元，控制单元和三维机械手；所述控制单元包括信息输入器、运算器、第一信息输出器和第二信息输出器；所述第一信息输出器与所述加工单元连接；所述第二信息输出器与所述三维机械手连接。所述的控制单元包括下述控制方法：在信息输入器中输入信息；在运算器内进行计算；在第一信息输出器输出信号至加工单元；同时，第二信息输出器输出信号至三维机械手。本发明将CNC工件台和加工主轴所需的重复运动里程降低到了最低，同时通过三维机械手在刀具中心库和加工主轴间往返运动，以提供换刀的效率，使得CNC加工中心的加工效率达到最优，实现了针对不同规格的加工孔相互之间的转换和过渡，以及提高复杂三维零件的加工效率。
一种三维钻孔装置及其方法

[发明专利]一种光学元件固定装置及其安装方法-CN201010618427.X有效
发明人： 王洪尊;储兆祥;彭云平 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-12-30 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光学元件固定装置及其安装方法，包括：镜座，所述镜座内壁以等间隔设有至少三个凹槽；柔性元件，匹配安装于所述凹槽内；球销，以连接所述柔性元件和镜座。本发明通过控制球销和对应锥形套之间的摩擦系数及过渡配合方式，圆柱销和对应锥形套之间的摩擦系数及过渡配合方式，从而控制所述固定装置径向力，达到控制光学元件或光机组件由于热变形和装配应力变形对光学元件的面型影响；通过采用柔性元件多点胶结支撑结构，达到减小重力对面型的影响，同时，利用柔性元件在垂直光轴方向的低刚度特点，实现环光学元件圆周方向的热应力的释放；本发明的固定装置结构简单，稳定性好，安装方便，定位精确，固定牢固可靠，适用范围广。
一种光学元件固定装置及其安装方法

[发明专利]一种微动马达机构及其驱动方法-CN201010618415.7有效
发明人： 王洪尊;陈明杰 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-12-30 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种微动马达机构，用于调节待调节元件的位置，所述微动马达机构包括框架、设置在所述框架内的驱动轴、一级驱动装置以及二级驱动装置，所述一级驱动装置驱动所述驱动轴相对于所述框架移动；所述二级驱动装置设置在所述驱动轴顶部，所述待调节元件设置在所述二级驱动装置上，所述二级驱动装置驱动所述待调节元件相对于所述驱动轴顶部移动；从而可利用所述一级驱动装置实现大驱动行程，利用所述二级驱动实现高分辨率；同时，本发明还公开了一种上述微动马达机构的驱动方法，该方法利用所述一级驱动装置实现大驱动行程，利用所述二级驱动实现高分辨率，并且简单方便。
一种微动马达机构及其驱动方法

[发明专利]透镜挠性固定装置-CN201010575380.3有效
发明人： 王洪尊;崔建波;储兆祥 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-12-06 - 公布日： 2012-06-06 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明的透镜挠性固定装置用于固定透镜的位置，其包括一镜座、胶、多个挠性元件和多个弹性定位构件；所述多个挠性元件沿所述镜座的圆周方向均匀分布；所述挠性元件通过所述弹性定位构件与所述镜座的内侧壁连接；所述透镜置于所述镜座内；所述挠性元件通过所述胶与所述透镜连接，固定所述透镜的位置。本发明的透镜挠性固定装置能吸收释放透镜在各个方向上产生的应力，很好地实现透镜的挠性装配，提高透镜的定位精确度。
透镜固定装置

[发明专利]可动光学元件调节驱动装置-CN201010256236.3有效
发明人：陈明杰;王洪尊 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-08-18 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种可动光学元件调节驱动装置，包括：主躯干；第一及第二饶性安装座，分别设置于所述主躯干的两端；第一及第二饶性安装座固定块固定于所述主躯干两端的侧面，以限制所述第一及第二饶性安装座上下移动；第一及第二调整螺钉分别通过所述主躯干上的螺纹孔连接到所述第一及第二饶性安装座；驱动机构，固定在所述第一及第二饶性安装座之间；变形块，连接于所述主躯干的一端。其具有低滞后性、承重能力强、重复性稳定性好、精度极高(可以达到纳米级)、维修方便等优点，同时行程较大、结构简单，加工难度低等优点。
光学元件调节驱动装置

[发明专利]可调光学元件的径向调节装置-CN201010256222.1有效
发明人：崔建波;王洪尊;谭长永 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-08-18 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明的可调光学元件的径向调节装置包括一可调镜组、至少一径向调节机构、一固定镜座、至少一电机组件、一弹性柱塞和一轴向支撑机构；所述可调镜组通过所述轴向支撑机构设置在所述固定镜座内，所述轴向支撑机构用于支撑所述可调镜组并保证所述可调镜组轴向位移不变；所述弹性柱塞固定设置在所述固定镜座内，该弹性柱塞的一端与所述可调镜组弹性连接；所述径向调节机构设置在所述固定镜座内，该径向调节机构与所述可调镜组径向移动连接；所述电机组件与所述径向调节机构连接；所述电机组件驱动所述径向调节机构运动，从而带动所述可调镜组径向移动，所述弹性柱塞用于保持所述可调镜组在径向上的平衡。
可调光学元件径向调节装置

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