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- [发明专利]再生晶圆的制备方法及再生晶圆-CN202310096013.2在审
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刘鹏;戴维廷;马强;王泰元
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晶芯半导体（黄石）有限公司
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2023-01-19
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2023-05-02
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H01L21/02
- 本公开提供了一种再生晶圆的制备方法，其包括如下步骤：采用第一清洗剂对晶圆进行第一清洗处理，采用第二清洗剂对所述晶圆进行第二清洗处理，采用第三清洗剂对所述晶圆进行第三清洗处理，采用第四清洗剂对所述晶圆进行第四清洗处理，在对所述晶圆进行第四清洗处理时，使所述晶圆旋转，朝向旋转的所述晶圆表面喷淋所述第四清洗剂，并使得所述第四清洗剂在清洗过程中于所述晶圆表面形成液膜，所述第四清洗剂包括双氧水；采用第五清洗剂对所述晶圆进行第五清洗处理，在对所述晶圆进行第五清洗处理时，控制所述晶圆旋转，并且朝向所述晶圆表面喷淋所述第五清洗剂。该再生晶圆的制备方法能够有效降低再生晶圆表面的锌残留以及颗粒残留。
- 再生制备方法
- [发明专利]晶圆倒片装置-CN202310099174.7在审
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张炜;张光法;王泰元;汪富强
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晶芯半导体（黄石）有限公司
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2023-01-30
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2023-04-18
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H01L21/677
- 本发明提供一种晶圆倒片装置，包括承载平台、两个转换件及驱动机构。承载平台间隔设有第一放置区及第二放置区。两个转换件间隔设置于第一放置区与第二放置区之间，且第一放置区和第二放置区之间的连线与两个转换件之间的连线相交，两个转换件相互靠近的一侧均对应设有转换部，转换部从转换件靠近第一放置区的一侧延伸至转换件靠近第二放置区的一侧。驱动机构用于驱动晶圆从第一放置区通过转换部并移动至第二放置区。相对于传统通过真空吸笔转换的方式而言，本申请中晶圆与转换件之间的接触面积减小，且晶圆能够顺畅的从载具内通过转换部并移动至晶圆盒内，避免晶圆在转换的过程中因卡顿而导致晶圆表面产生毛刺，提高了晶圆的品质。
- 晶圆倒片装置
- [发明专利]取样装置及取样台-CN202211251481.4在审
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张炜;曾根;汪富强;王泰元
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晶芯半导体（黄石）有限公司
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2022-10-13
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2023-01-24
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B01L3/00
- 本发明提供一种取样装置及取样台，包括间隔设置的承托面及水平放置面，取样台设有穿过承托面及水平放置面的通孔，承托面相对于水平放置面的间距由承托面的边缘朝向靠近通孔的一侧趋于减小，承托面用于承托取样容器。本申请中的取样装置及取样台使用时，将水平放置面放置在废液容器上后，再将取样容器放置在承托面，可不需要取样人员手持取样容器及手扶取样台进行取样，以避免取样溶液溢至取样人员的身上，提高了取样人员取样的安全性。当取样溶液溢至承托面上时，由于承托面相对于水平放置面的间距由承托面的边缘朝向靠近通孔的一侧趋于减小，使得承托面上的取样溶液能够在重力的作用下流至通孔内，以便于对溢出的取样溶液进行清理回收。
- 取样装置
- [实用新型]一种硅片清洗机用干燥装置-CN202221442206.6有效
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王泰元;郭聪;黄琪茵;左鹏
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晶芯半导体（黄石）有限公司
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2022-06-08
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2022-10-04
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F26B11/08
- 本实用新型公开了一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱，所述干燥箱一侧外表面固定安装有抽风机，所述抽风机上端面固定安装有连接管，所述干燥箱上端面活动安装有密封盖，所述密封盖下表面嵌设安装有加热灯，所述干燥箱内部活动安装有硅片储存篮，所述干燥箱下端面固定安装有动力电机，所述抽风机内部固定安装有防尘网。通过启动抽风电机可以带动抽风叶片旋转，抽风叶片旋转会带动空气流动，从而将空气抽入连接管内部，启动加热丝会加热流经的空气，排风口会将加热的空气吹入干燥箱内部，最后从排水孔排出，在不断风干硅片的同时，由于气流是从上而下，会将挂在表面水滴吹落，减少干燥时间。
- 一种硅片清洗干燥装置
- [实用新型]一种可降温的晶圆抛光机-CN202123294415.9有效
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王泰元;张炜;汪富强;杨顺
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晶芯半导体（黄石）有限公司
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2021-12-26
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2022-08-26
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B24B37/10
- 本实用新型公开了一种可降温的晶圆抛光机，包括抛光工作台，所述抛光工作台顶部的后侧固定连接有用于安装抛光机构的焊接定位板，且抛光工作台顶部的中心处固定安装有降温皿，所述降温皿的内底壁固定连接有用于固定晶圆的晶圆定位筒，且降温皿内注入有用于降温的水，所述降温皿内还安装有蛇形驱热导管。该可降温的晶圆抛光机，抛光的同时可启动伺服电机，伺服电机带动定向丝杆转动，使动力移塞在冷水水槽内左右滑动，动力移塞推动冷却水槽内的冷却水，使冷却水通过循环接管进入蛇形驱热导管内，由于蛇形驱热导管位于降温皿内并绕过晶圆定向筒，在冷却水的循环流动冷凝下，继而使晶圆定位筒的降温效果更佳，保证晶圆抛光的质量。
- 一种降温抛光机
- [实用新型]一种财会票据装订机-CN202022727530.X有效
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王泰元
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王泰元
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2020-11-23
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2021-08-03
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B42B5/02
- 本实用新型公开了一种财会票据装订机，包括装订机支撑框架、移动调节式打孔组件、整齐定位组件和按压固定组件，所述装订机支撑框架包括票据放置底板、支撑连接板和固定连接顶板，所述支撑连接板垂直设于票据放置底板一侧，所述固定连接顶板垂直设于支撑连接板上，所述整齐定位组件设于票据放置底板上，所述按压固定组件设于固定连接顶板上，所述移动调节式打孔组件设于票据放置底板和固定连接顶板上。本实用新型属于装订机技术领域，具体是一种通过打孔电机带动打孔钻头代替人工手动按压打孔，不仅打孔效果整齐且节省了体力消耗，而使连接杆将打孔底块、打孔钻头连接同步移动，便于应对不同票据大小的财会票据装订机。
- 一种财会票据装订
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