“潘其坤”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果59个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]应用于极紫外光刻光源的CO2-CN202311171796.2在审
发明人： 潘其坤;郭劲;于德洋;陈飞;张冉冉;赵崇霄 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-09-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体提供一种应用于极紫外光刻光源的CO2激光功率稳定方法及装置，激光放大器在重复频率放电激励条件下，由于上能级气体分子弛豫无辐射跃迁，在一个脉冲周期内，停止放电激励后CO2激光增益将逐渐降低，所以利用与种子激光相同重复频率的激光放大器对种子激光进行放大，在不改变激光放大器放电激励功率的条件下，通过精密闭环控制相同频率种子激光注入到激光放大器内的时间延迟，可显著提高种子激光的增益提取效率，提升主振荡功率放大CO2激光器的功率稳定性。本发明在未打破激光系统热平衡的前提下，解决了现阶段脉冲体制主振荡功率放大器功率稳定性调节精度差的难题。
应用于紫外光刻光源 co base sub

[发明专利]小型化非链式脉冲DF/HF激光装置及其激发方法-CN202111232444.4有效
发明人： 潘其坤;郭劲;陈飞;于德洋;张阔;何洋 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明提供一种小型化非链式脉冲DF/HF激光装置及其激发方法，其中的装置包括储气模块、智能快速充气模块、激光放电模块、尾气处理与排放模块和中央控制模块，储气模块用于存储工作气体；智能快速充气模块用于将储气模块内存储的工作气体充入激光放电模块；激光放电模块用于对工作气体进行放电产生激光增益，形成激光输出；尾气处理与排放模块用于对激光放电模块放电时产生的工作尾气进行有害成分吸附处理，并将处理后的工作尾气排放到大气中；中央控制模块用于分别对储气模块、智能快速充气模块、激光放电模块、尾气处理与排放模块进行控制。本发明可有效延长激光装置的稳定工作时间，压缩激光装置的体积。
小型化链式脉冲 df hf 激光装置及其激发方法

[发明专利]一种用于激光器的控温装置及控温方法-CN202310851799.4在审
发明人：何洋;陈飞;刘金岱;张阔;于德洋;潘其坤;孙俊杰;陈毅 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01S3/04 文献下载
摘要：本发明涉及激光技术领域，尤其涉及一种用于激光器的控温装置及控温方法，控温装置包括热沉板、罩体、温度传感器、温度调节管路、温控组件以及控制单元，通过设置温度调节管路、温控组件以及控制单元，将不同温度的第一气体以及第二气体分别通入第一传导管路与第二传导管路中，对热沉板的温度进行调节。通过热沉板与罩体将激光器置于封闭性的空间中，利用热沉板的温度对封闭性的空间中的温度进行调节，并且，激光器设置在热沉板上使得激光器与热沉板之间具有充分的热传递功能，使得激光器的温度调控更加快速且高效。
一种用于激光器装置方法

[发明专利]一种超快激光成丝预电离射频CO2-CN202111658574.4在审
发明人： 潘其坤;郭劲;陈飞;张阔;于德洋;张冉冉;孙俊杰;何洋 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01S3/0977 文献下载
摘要：本发明提出了一种超快激光成丝预电离射频CO2激光放大器，引入了超快激光成丝预电离，能够解决大孔径射频放电点火难题。本发明采用超快激光成丝预电离技术，通过CO2激光放大器窗口向放电增益区导入超快激光，调整聚焦镜参数优化超快激光在增益区内的功率密度，实现放电增益区内沿轴向等离子成丝预电离。工作气体的预电离将在增益区形成一定浓度的初始电子，在交变的射频放电电极激励下，初始电子往返振荡在增益区产生电子崩放电点火，可解决大孔径射频CO2激光放大器放电点火电压高、射频反射功率易导致射频电源损坏等难题，实现大孔径CO2激光放大器高效点火及稳定可靠放电。
一种激光成丝预电离射频 co base sub

[发明专利]一种光学腔镜安装调整机构及安装方法-CN202310077403.5有效
发明人：邵春雷;潘其坤;李姜;于德洋;杨贵龙;郭劲;田耕耘 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-02-08 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G02B7/182 文献下载
摘要：本申请涉及光学机械技术领域，具体涉及一种光学腔镜安装调整机构及安装方法，该安装调整机构包括：光学支架端板、锥面垫、球面连接座、腔镜镜座、腔镜、调整连接板及楔形调整架，锥面垫安装在光学支架端板的中心孔内，球面连接座可转动地安装在锥面垫上，且球面连接座的球面与锥面垫的锥面紧密接触；腔镜镜座固定在球面连接座的一端上，腔镜安装于腔镜镜座内，且腔镜靠近球面连接座的一侧的镜面中心与球面连接座的球心重合；调整连接板固定在球面连接座的另一端上，楔形调整架用于使调整连接板带动球面连接座转动。本申请的光学腔镜安装调整机构能够消除连接间隙并且使弹性变形均匀，进而使得腔镜不会由于受到机械应力作用而产生空间位置变化。
一种光学安装调整机构方法

[发明专利]一种小型化低功耗可调谐脉冲CO2-CN202111203963.8在审
发明人： 潘其坤;陈飞;张阔;于德洋;何洋;孙俊杰;陈毅 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-10-15 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明公开了一种小型化低功耗可调谐脉冲CO2激光器，包括：电控转台、闪耀光栅、光电探测器、控制器、激光增益器、光学斩波器和激光输出镜；闪耀光栅和光电探测器设置在电控转台上，闪耀光栅和光轴之间的夹角满足自准直光栅方程；光电探测器接收闪耀光栅的零级衍射光；控制器分别与电控转台和光电探测器电连接，且接收光电探测器的探测信号，并给电控转台发送转动控制信号；其中，闪耀光栅对CO2激光波长调谐，光电探测器检测CO2激光强度信号；激光输出镜与闪耀光栅形成激光谐振腔，激光增益器为CO2激光提供增益，其设置在激光谐振腔中，且其两端采用窗口镜密封；光学斩波器位于靠近激光输出镜一端的窗口镜和激光输出镜组成的共轴、共焦系统的焦点处。
一种小型化功耗调谐脉冲 co base sub

[发明专利]一种激光脉冲波形净化方法及系统-CN202010745470.6有效
发明人： 潘其坤;郭劲;陈飞;于德洋;张阔;李殿军;谢冀江;何洋;孙俊杰 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光脉冲波形净化方法及系统，第一偏振元件将腔内传播的第一偏振态光透射而将第二偏振态光反射，调制元件用于将通过光的相位角延迟，使得当光调制装置不改变通过光的相位角时，腔内传播光往返通过调制元件后相位角延迟180度，光调制装置用于改变通过光的相位角。首先控制光调制装置改变通过光的相位角并持续预设时间，使光学谐振腔内形成第一偏振态光振荡，在光调制装置停止改变通过光的相位角后，获取由第一偏振元件反射出光的脉冲波形，根据脉冲波形是否存在前沿噪声，控制光调制装置增大或者减小对通过光的相位角改变量，以使获得的脉冲波形的前沿噪声减弱，从而实现抑制输出的激光脉冲的前沿噪声。
一种激光脉冲波形净化方法系统

[发明专利]立体声播放系统及立体声播放方法-CN202211349829.3在审
发明人：何洋;陈飞;张阔;潘其坤;于德洋;孙俊杰;陈毅 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H04R5/02 文献下载
摘要：本发明涉及激光技术领域，尤其涉及一种立体声播放系统及一种立体声播放方法，包括编码激光器，用于发射n路编码激光，编码激光具有时域波形；光声涂层，用于接收编码激光；n个激光发射转台分别与n路编码激光对应设置，n≥2；控制器，用于控制编码激光器，进而控制编码激光的功率和时域波形；还用于控制激光发射转台，进而控制传输至光声涂层的编码激光的光斑大小和光斑位置；本发明提供的是一种基于光声效应的立体声播放系统和方法，相对于传统方法只能在扬声器安装位置发声，无法随时改变发声点位置的情况，本发明的系统和方法可以增加无限多个发声点，只要同时将激光照射到不同的位置即可，立体效果更加明显。
立体声播放系统方法

[发明专利]湍流稳定的放电管-CN202211443479.7在审
发明人：张冉冉;潘其坤;赵崇霄;郭劲;陈飞;于德洋;张鲁薇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明提供一种湍流稳定的放电管，包括：折转段、进气管和放电段；所述折转段的内径为圆形，所述折转段的内径表面设置有湍流发生器，所述湍流发生器为螺旋状凸起；进气管设置在靠近折转段的初始端的侧面，进气管沿湍流发生器的螺旋方向且朝向放电段设置，进气管的设置角度与湍流发生器的螺旋角度相同；进气管设置在湍流发生器的相邻两个螺旋状凸起之间；放电段与折转段密闭连接，且放电段的外侧设置有放电电极。本发明使用了螺旋状的湍流发生器使混合气体3的湍流更充分，气体混合更均匀，进气口沿湍流发生器的绕向设置，采用非垂直入射的方式，有效降低了压力损失和温升，本发明的折转段长度短、由利于缩小激光器整机大小，且结构简单，制作成本低。
湍流稳定放电

[发明专利]混合模式的激光放大装置-CN202211259459.4在审
发明人：张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;赵崇霄;于德洋;孙俊杰 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：本发明提供一种混合模式的激光放大装置，包括：N个分频单元、合束单元和放大单元；分频单元包括：激光器、分光镜、第一反射镜、第一延时器、相位波片、第二反射镜和第一偏振合束器；合束单元包括：合束衍射光栅和隔离器；放大单元主要采用激光放大器。本发明通过对种子光进行分频、多波长合束和混合偏振态的处理，有效提升了激光在放大过程中的放大能力和提取效率，有效提升了高重频、短脉冲激光的输出功率，进而提升了LPP‑EUV光源的功率。
混合模式激光放大装置

[发明专利]基于单激光器的预主泵浦激光产生装置-CN202211259983.1在审
发明人：张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;赵崇霄;张鲁薇;张阔 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明提供一种基于单激光器的预主泵浦激光产生装置，包括：激光器、分束单元、主泵浦单元、预泵浦单元、合束单元、主放大器模块和液滴靶室模块；预泵浦单元包括第一预泵浦反射镜、脉冲波形调制模块、半波片、预泵浦激光放大器和第二预泵浦反射镜，通过分束单元对种子光进行分束，对分束后的预泵浦光进行脉冲波形调制、时间延迟和相位延迟，对主泵浦光进行预放大，再对两束光进行合束，产生用于放大和打靶的同轴的预主泵浦激光。在LPP‑EUV光源中，相比于传统的主泵浦光和预泵光独立产生和调控的方式，本发明仅需单台激光器产生种子光，具有光路相对简单、不需要复杂的消色差设计的合束镜、光束指向控制成本低、窗口镜工作寿命更长的优势。
基于激光器预主泵浦激光产生装置

[发明专利]抑制寄生振荡的激光放大装置-CN202211260107.0在审
发明人：张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;赵崇霄;张鲁薇;陈毅;张阔 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明提供一种抑制寄生振荡的激光放大装置，包括：n段非光学连续的气体通道，其内壁设置有噪声光吸收层；每段气体通道的两端设置有窗口镜，窗口镜的偏置角度与激光传输光路成布鲁斯特角；气体通道内设置有放电管，在气体通道外侧设置有放电电极，放电电极与放电管平行对应设置；相邻两段气体通道通过气体循环管道连接；隔离器设置在相邻两段气体通道之间，用于抑制噪声振荡；反射镜设置在激光传输光路上，用于改变激光的传输方向。本发明能够有效消除MOPA系统的寄生振荡，防止单台放大器自身产生的寄生振荡，有效降低了激光放大器起振可能性，并可以通过改变气体通道的数量提升寄生振荡的阈值，提高输出功率的稳定性和系统安全性。
抑制寄生振荡激光放大装置

[发明专利]激光脉冲宽度压缩装置及调控方法-CN202211262996.4在审
发明人： 潘其坤;陈飞;郭劲;张冉冉;赵崇霄 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：本发明提供一种激光脉冲宽度压缩装置，种子激光器输出种子光；沿种子光的传播光路，设置有偏振分束片，其将种子光反射入激光放大器；经激光放大器射出的种子光射入相位波片；透射过相位波片的种子光射垂直入射到全反射镜上；时序控制器分别与种子激光器、激光放大器连接，用于调控激光放大器的增益，并匹配种子光与激光放大器增益的时序。本发明通过有效控制激光放大器的激光增益实现激光脉宽的压缩，降低了技术难度和成本，更有利于脉宽压缩的工程化应用。本发明提供的激光脉冲宽度压缩装置的调控方法主要通过时序控制器对种子光的前沿进行有效放大，又抑制种子光的后沿放大，实现种子脉宽的高效压缩。
激光脉冲宽度压缩装置调控方法

[发明专利]激光器反射镜调节装置-CN202210963149.4在审
发明人： 潘其坤;徐飞;陈飞;张来明;张冉冉;于德洋;张阔 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01S5/02255 文献下载
摘要：本发明提供一种激光器反射镜调节装置，包括：底座、反射镜、顶盖、紧固螺杆、反射镜支杆、支撑横梁、俯仰调节螺杆和方位调节螺杆，俯仰调节螺杆用于反射镜的俯仰调节，方位调节螺杆用于方向调节。本发明仅通过从顶端调节俯仰调节螺杆和方位调节螺杆即可实现反射镜的俯仰、左右方位的精密调节，有利于在激光器狭小空间内安装与精密调试反射镜。该调节装置中无滚珠、弹簧拉力机构，极大提升了激光器反射镜调节装置在复杂环境下的工作稳定性。同时采用了反射镜的背向的大截面进行散热，有效提升了反射镜的散热能力。
激光器反射调节装置

[发明专利]一体化激光测距装置-CN202210963179.5在审
发明人： 潘其坤;陈飞;张来明;孙俊杰;陈毅 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01S7/483 文献下载
摘要：本发明提供一种一体化激光测距装置，主要包括激光谐振腔、控制器、光电探测器、同轴发射接收单元和控制器，全反射镜与耦合输出镜组成激光谐振腔，在激光谐振腔内，从全反射镜至耦合输出镜方向依次设置有相位波片、激光增益模块、电光普克尔盒和偏振分束片，同轴发射接收单元设置在激光谐振腔外的激光发射方向。本发明通过固体激光器和激光测距单元的一体化设计，将回波激光耦合到一体化激光测距装置的激光增益模块中进行双程放大，实现激光增益模块对回波激光信号的高倍率光学放大，同时回波激光巧妙地和发射激光分时共用同一个激光增益模块，有效压缩了一体化激光测距装置的体积，有利于其在车载、机载、星载环境中的推广应用。
一体化激光测距装置

1
2
3
4
下一页»
尾页
共 59 条