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[发明专利]图形化聚酰亚胺层工艺-CN202311147714.0在审
发明人： 温斐旻;李海涛;闫丽荣 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2023-09-06 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种图形化聚酰亚胺层工艺包括步骤：S1，在基层上形成钝化层；S2，在钝化层上形成聚酰亚胺层；S3，在聚酰亚胺层上形成硬掩膜层；S4，在硬掩膜层上设置光刻胶；S5，图案化光刻胶以形成沟槽，以使沟槽露出用于形成孔的部分的硬掩膜层而孔周围的硬掩膜层覆盖有光刻胶；S6，主刻蚀，采用CF4、CHF3、Ar的刻蚀气体沿沟槽进行刻蚀，以刻蚀掉沟槽处的硬掩膜层和部分的聚酰亚胺层，主刻蚀刻蚀聚酰亚胺层的厚度为75％～85％；S7，过刻蚀，采用N2和O2的刻蚀气体继续沿沟槽进行刻蚀，将剩余的聚酰亚胺层刻蚀干净并露出钝化层；S8，将硬掩膜层残留的光刻胶去除，以使与沟道对应的部分形成孔；S9，沿着孔以及孔顶部周围的硬掩膜层上生长一层硬掩膜覆层。
图形聚酰亚胺工艺

[实用新型]一种用于港口SLAM的复眼图像提取与地图构建系统-CN202021776510.5有效
发明人：刘鹏;许军;李元振;张鹏;邓祎昕;许涛;温斐旻;赵兴花 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：一种用于港口SLAM的复眼图像提取与地图构建系统，包括：复眼视觉SLAM子系统、DSP数字图像处理模块以及计算机子系统，DSP数字图像处理模块将复眼视觉SLAM子系统构建的地图图像进行数字化处理并传输到计算机子系统。本实用新型在视觉SLAM子系统的基础上采用复眼图像提取，通过视觉SLAM子系统进行数据提取和采集，再将数据传输到DSP数字图像处理模块，采集后的数据由计算机的图像处理模块进行处理后，最后通过人机界面模块提取显示出来，采用复眼结合视觉SLAM子系统的图像提取和特征匹配方式，解决了SLAM中的数据关联问题，提取的图像具有不同的区域有不同表达的可区别性，特征点的数量应远小于像素的数量，相比传统的多眼图像提取方式提高了图像提取效率和效果。
一种用于港口 slam 复眼图像提取地图构建系统

[实用新型]一种基于原子力显微镜的光路集成结构-CN202021537226.2有效
发明人：李克武;邓祎昕;李元振;许涛;温斐旻 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：一种基于原子力显微镜的光路集成结构，包括：基板，用于提供支撑基础；载物台组件，设置在基板上用于放置待测物；激光发生组件，设置在基板上用于发出激光束；第一反射组件，设置在所述基板上用于将激光发生组件产生的激光束反射到载物台组件；第二反射组件，设置在所述基板上用于将载物台组件反射回来的激光束反射到探测器单元；探测器单元，设置在所述基板上用于接收第二反射组件反射来的激光束并感应激光束的落点位置。本实用新型的有益效果在于，本实用新型的结构通过双反射镜精准定位，定位精度可达纳米级，载物台组件和探针调节器可实现对探针的移动控制更加细微精确，省去大量光路调节时间，使得实验效率得到提升。
一种基于原子显微镜集成结构

[发明专利]一种用于港口SLAM的复眼图像提取与地图构建系统-CN202010855999.3在审
发明人：刘鹏;许军;李元振;张鹏;邓祎昕;许涛;温斐旻;赵兴花 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：一种用于港口SLAM的复眼图像提取与地图构建系统，包括：复眼视觉SLAM子系统、DSP数字图像处理模块以及计算机子系统，DSP数字图像处理模块将复眼视觉SLAM子系统构建的地图图像进行数字化处理并传输到计算机子系统。本发明在视觉SLAM子系统的基础上采用复眼图像提取，通过视觉SLAM子系统进行数据提取和采集，再将数据传输到DSP数字图像处理模块，采集后的数据由计算机的图像处理模块进行处理后，最后通过人机界面模块提取显示出来，采用复眼结合视觉SLAM子系统的图像提取和特征匹配方式，解决了SLAM中的数据关联问题，提取的图像具有不同的区域有不同表达的可区别性，特征点的数量应远小于像素的数量，相比传统的多眼图像提取方式提高了图像提取效率和效果。
一种用于港口 slam 复眼图像提取地图构建系统

[发明专利]一种基于原子力显微镜的光路集成结构-CN202010743487.8在审
发明人：李克武;邓祎昕;李元振;许涛;温斐旻 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：一种基于原子力显微镜的光路集成结构，包括：基板，用于提供支撑基础；载物台组件，设置在基板上用于放置待测物；激光发生组件，设置在基板上用于发出激光束；第一反射组件，设置在所述基板上用于将激光发生组件产生的激光束反射到载物台组件；第二反射组件，设置在所述基板上用于将载物台组件反射回来的激光束反射到探测器单元；探测器单元，设置在所述基板上用于接收第二反射组件反射来的激光束并感应激光束的落点位置。本发明的有益效果在于，本发明的结构通过双反射镜精准定位，定位精度可达纳米级，载物台组件和探针调节器可实现对探针的移动控制更加细微精确，省去大量光路调节时间，使得实验效率得到提升。
一种基于原子显微镜集成结构